技术特征:
技术总结
本发明涉及一种微机械构件,具有沿着所述微机械构件的主延伸平面延伸的衬底,其中,所述微机械构件包括通过所述微机械构件的驱动弹簧相对于所述衬底能运动地悬挂在所述衬底上的驱动质量,其中,所述微机械构件包括相对于所述驱动质量能运动地悬挂的检验质量,其特征在于,所述驱动弹簧这样布置,使得所述驱动质量和/或所述检验质量至少部分基本上平行于所述主延伸平面地围绕所述驱动弹簧。
技术研发人员:S·卡尔达诺比莱;R·艾德
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2017.05.10
技术公布日:2019.01.04