微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及传感器封装,特别涉及一种传感器封装结构及方法。压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems;MEMS)传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新...
  • 本发明涉及传感器封装,特别涉及一种传感器封装结构、方法及封装模具。压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems;MEMS)传感器是采用微电子和微机械加工技术...
  • 本公开涉及具有权利要求1的特征的装置以及具有权利要求15的特征的方法。所述类型的装置具有不同的MEMS封装形式是已知的。布置在衬底上的电子元件,例如MEMS结构组(微机电系统)在这种情况下由壳体包围,该壳体保护MEMS结构组免受外部影响,例如灰尘和污垢。一些壳体还可以屏蔽MEMS结构组免受...
  • 本发明涉及一种新型的电极结构或电极结构阵列和基于该电极结构阵列的传感器阵列,以及包括它们的电子皮肤或可穿戴装置。人类躯体感觉系统是一个复杂的网络,它将外界环境刺激通过各种感官受体(机械刺激感受器、温度感受器、痛觉感受器等)转化为电脉冲经过神经通路传导,使人的皮肤可以感受触觉、温觉和痛觉等。...
  • 本实用新型涉及机械设备,具体为一种微电子机械系统芯片的封装结构。微电子机械系统(MEMS——MicroElectroMechanicalsystems),是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、...
  • 本发明涉及纳米加工的,更具体地,涉及一种精确控制的纳米孔制造方法。在过去的20年里,纳米孔技术由于其可以以低成本实现无标记的单分子DNA测试,进而引起了人们的高度关注,并成为一项重要的研究课题。除此之外,利用纳米孔进行DNA测试的另一个优点在于其读取长DNA序列的可能性,将纳米孔用...
  • 本发明涉及芯片领域,具体是一种微流控芯片数控加工仪。近年来,微流控芯片技术作为一种新型的分析加工台具有微型化、自动化、集成化、便捷和快速等优点,已经在很多领域获得了广泛研究和应用,例如细胞生物学、分析化学、环境监测与保护、司法鉴定、药物合成筛选、材料学和组织工程学等领域。微流控芯片是微流控...
  • 具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法与流程
    本发明涉及一种微机电装置,且特别是涉及一种气密式的整合型微机电装置。一般而言,设置于微机电感测器(MEMSsensor)中的感测元件(sensingelement)需在特定的环境下操作,才能具有最佳的作动方式。因此,不同功能的微机电感测器,其感测元件所处的环境也需随之变化,才能确保微机...
  • 本发明涉及一种微机电感测装置封装结构及制造工艺。在常规封装结构中,关于感测模块的封装,通常利用预先开模(pre-mold)设计,依据客制化的设计,于衬底上形成封胶,再进行后续封装制程。一般来说,常规预先开模设计的封装结构,其封装尺寸较大,成本也较高。发明内容本揭露的一方面涉及一种微...
  • 用于操纵双量子位量子态的技术及相关系统和方法与流程
    本申请按照35U.S.C.§119(e)要求于2016年1月15日提交的标题为“MethodsandApparatusforManipulationofMulti-CavityQuantumStates”的美国临时专利申请第62/279,624号以及于2016年5月12号提交的标题...
  • 用于光学驱动的对流和移位的微流体设备、试剂盒及其方法与流程
    本申请是一项非临时申请,根据35U.S.C119(e)要求2015年12月30日提交的第62/273,104号美国临时申请、2016年3月29日提交的第62/314,889号美国临时申请、和2016年12月1日提交的第62/428,539号美国临时申请的权益,其中的每个公开内容通过引用整体并入本...
  • MEMS器件及电子设备的制作方法
    本发明涉及微机电,更具体地,涉及一种MEMS器件以及电子设备。微发光二极管技术是指将小尺寸的LED阵列以高密度集成到衬底上。例如,2013年4月13日授权的美国专利US8426227B1公开了一种形成微发光二极管阵列的方法,该专利在此全部引入作为参考。目前,微发光二极管技术主要用于...
  • 板弹簧的制作方法
    根据美国法典第35条第119(e)款,本申请要求2015年9月18日提交的美国临时申请No.60/220,768的优先权,其全部内容通过引用而并入于此。微电机系统(MEMS)技术实现了使用硅晶片沉积技术的诸如麦克风等的声换能器的发展。这种方式制造的麦克风通常被称为MEMS麦克风,并且可被制...
  • 本发明涉及有机和生物分子的分析检测领域,尤其涉及一种金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料及其制备方法和应用。表面增强拉曼散射(surface-enhancedRamanscattering,SERS)信号不仅可以给出分子结构信息,实现分子的指纹辨识,而且还具有谱峰清晰、分析速度...
  • 本发明涉及半导体,尤其涉及一种带结构图形的衬底与玻璃的阳极键合方法。阳极键合技术是微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS)加工领域中一种经典常用的加工技术,可以用于实现MEMS器件的真空密封、圆片级封装等。圆片阳极键合一般在高温...
  • 本发明属于半导体器件,更具体地说,是涉及一种压力传感器。随着科学技术的迅速发展,人类社会进入了高度信息化的智能时代,压力传感器在很多应用领域起着非常重要的作用。目前广泛使用的MEMS压力传感器普遍采用硅薄膜,由于材料物理特性的限制,薄膜尺寸较大,灵敏度有限。石墨烯是一种蜂巢状的二维...
  • 本发明涉及多孔氧化铝薄膜的后加工和应用领域,具体涉及一种基于多孔氧化铝的薄膜组件及其制备方法。多孔氧化铝薄膜制备技术已经相对成熟,但是在其应用方面相对不足。目前多孔氧化铝薄膜的应用主要集中在两个方面,一是利用膜的多孔结构研制出新型超精密分离膜;二是利用膜的纳米级有序孔作为模板应用,在孔内沉...
  • 本实用新型涉及真空晶圆级封装以及相关电子元器件的结构设计和应用,特别提供了一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件。真空封装对于MEMS来说是一个必不可少的环节,MEMS器件通常具有可活动的部件,为了保证这些敏感的可动部件和敏感部件机械性能,需要让这些敏感部件和可动部件工作在真空环境中,为此...
  • 本实用新型涉及微电子领域,更具体地,涉及一种MEMS组件。MEMS组件是在微电子技术基础上发展起来的采用微加工工艺制作的微电子机械器件,已经广泛地用作传感器和执行器。例如,MEMS组件可以是加速度计、陀螺仪、硅电容麦克风。MEMS惯性传感器是利用质量块的惯性力测量物理量的传感器,包括质量...
  • 本发明属于金属材料功能化领域,具体涉及一种以石墨烯材料修饰的针尖及其制备的方法。随着纳米材料和纳米技术的兴起,纳米材料功能化针尖的制备及其在不同领域的应用引起了全世界研究人员的广泛兴趣。基于纳米材料本身的特殊结构和性质,这些功能化纳米针尖通常拥有优异的力学和电学性能。例如,纳米金刚石针尖因...
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