微观装置的制造及其处理技术
  • 一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置的制作方法
    本发明属于微型机械电子系统,特别涉及一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点,使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说,其内部微结构的微小位...
  • 一种带有可动底座结构的MEMS微结构三轴式激励装置的制作方法
    本发明属于微型机械电子系统,特别涉及一种带有可动底座结构的MEMS微结构三轴式激励装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点,使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说,其内部微结构的微小位移...
  • 一种基于底座激励方法的MEMS微结构四轴式激振装置与流程
    本发明属于微型机械电子系统,特别涉及一种基于底座激励方法的MEMS微结构四轴式激振装置。由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点,使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说,其内部微结构的微小位移...
  • 一种MEMS压电传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及半导体制造,更具体地说,涉及一种MEMS压电传感器及其制作方法。压电传感器是指利用某些电介质的压电效应制成的传感器。其中,压电效应包括正压电效应和逆压电效应。利用正压电效应的压电传感器,例如压力传感器,在受到外力作用时会输出电信号,采用信号处理电路对该电信号进行分...
  • 封装的形成方法与流程
    本发明实施例涉及一种封装的形成方法。微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)装置(例如加速计、压力传感器及陀螺仪)在现代的许多电子装置中已得到广泛使用。举例来说,微机电系统加速计常见于汽车中(例如,安全气囊展开系统中)、平板计算机中、或智能电话...
  • 基于硅玻璃阳极键合的圆片级高真空无引线封装方法与流程
    本公开涉及微纳电子器件加工、圆片级高真空封装、无引线封装领域,尤其涉及一种基于硅玻璃阳极键合的圆片级高真空无引线封装方法。MEMS封装技术作为MEMS技术中的一大难点,多年来一直制约着MEMS技术的发展。据国外多项统计表明,MEMS封装的成本占MEMS产品的70%-90%,之所以出现这种情...
  • 一种微纳弯曲结构的制备方法与流程
    本发明涉及微纳米,特别是涉及一种微纳弯曲结构的制备方法。随着电子器件以及光学器件的发展,三维弯曲结构已经越来越多的用到我们使用的器件中。例如在光学超材料中,二维的或者平面的光学超材料由于很难与光的磁场分量产生耦合,所以在许多情况下无法发挥光学超材料的调控优势,而三维的光学超材料对于...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
  • 本发明涉及膜片截止阀,尤其涉及一种膜片截止阀及其制造方法。在微流控领域(尤其是MEMS微阀领域)中,截止阀已逐渐开始配合着微泵结构投入应用,以实现流体分流和流体控制。现有的截止阀都体积巨大,无法满足微流体微米级的尺寸需求和精细控制,使用不方便,制造成本高,加工效率低。发明内容本发明...
  • 一种传感器及其制备方法与流程
    本发明涉及传感器领域,尤其一种传感器及其制备方法。当今社会生产过程自动化不断扩展到各个领域,功能单一的传感器已经不能满足人们日益增长的测量需求,更不能满足自动化测控系统的需求。随着人类迈入工业4.0时代,传感器小型化、智能化以及标准化是大势所趋,减小传感器体积和重量,提高灵敏度,抗干扰和多...
  • 金属电极结构的制造方法与流程
    本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种金属电极结构的制造方法。金属电极结构用于实现器件的导通和器件与其他器件之间的互连,因此,金属电极结构的制备成为了生产器件的主要工序之一。比如,MEMS(MicroElectroMechanicalSystem,微机电系统)技术,MESM技术作为一项新...
  • 金属纳米颗粒结构阵列及其制备方法与流程
    本发明属于金属纳米结构领域,具体涉及一种金属纳米颗粒结构阵列及其制备方法。表面增强拉曼光谱(SERS)是一种新兴的生物分子检测技术,具有很高的检测灵敏度,可以实现单分子量级的检测,并且能够提供丰富的分子结构信息。将SERS发展成为一种具有实际应用意义的分析技术,其关键是制备灵敏度高、稳定性...
  • 一种MEMS器件及其制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体领域,具体地,本发明涉及一种MEMS器件及其制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是...
  • 一种半导体器件的制备方法与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种半导体器件的制备方法。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模更小的尺寸,...
  • 本发明涉及半导体制造,尤其涉及一种晶圆键合方法。晶圆键合技术是指将两片晶圆互相结合,并使表面原子相互反应产生共价键,使两表面间的键合能(BondingEnergy)达到一定强度,而使这两晶圆片结为一体。随着MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems...
  • 一种高深宽比金刚石微纳米结构的制作方法与流程
    本发明涉及一种高深宽比金刚石微纳米结构的制作方法,属于光学器件制作领域。金刚石在宽光谱带具有高折射率、低吸收率,其极高的硬度、热导率和抗腐蚀性使得金刚石器件在极端环境中有广阔的应用空间。金刚石的微纳加工工艺是金刚石器件研发、生产的一个主要瓶颈。目前国内的微纳加工工艺,主要针对的是硅、锗、砷...
  • 基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器的制备方法与流程
    本公开涉及石墨烯制备及应用器件加工、微纳电子加工、MEMS制作及压力测量领域,尤其涉及一种基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器的制备方法。大量基础研究表明,石墨烯具有优异的光、电、机械性能,例如,单层石墨烯在可见光波段有97%以上的透光率,导电性及柔韧性均优于ITO薄膜;室温下电子迁...
  • MEMS传感器线阵、触诊探头及其制造方法与流程
    本发明涉及医疗器械,具体地涉及一种MEMS传感器线阵、触诊探头及其制造方法。近年来,中国乳癌具有发病率增速高、死亡率高、治疗难度高、发病年龄早的趋势,但相比其它肿瘤,乳癌的早诊早治效果较好,如原位癌近100%可治愈。乳癌的主要检查方法有临床触诊、钼靶X线、超声、核磁、乳管镜等,他们...
  • 本发明涉及半导体封装,尤其涉及一种OLED面板及其制作方法。OLED即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode),具备自发光、高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲、低能耗等特性,因此受到广泛的关注,并作为新一代的显示方式,已开始逐渐取代传统液晶显示器,被...
  • 本发明涉及微米纳米制造领域,尤其涉及一种低温掺杂调控热熔Ag金属纳米粒子微纳互连线性能的方法。金属互连线在半导体集成电路、太阳能电池、主动矩阵显示器件、超材料微纳结构等领域具有广泛的应用。从铝互连技术到目前常用的铜互连技术,推动着相关产业的发展,但伴随着集成电路特征线宽的进一步减小,利用大...
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