微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及半导体材料加工技术,特别是涉及一种MEMS器件用多层结构硅片的制作方法。多层结构硅片是MEMS器件制作过程中一种常见的结构,一般包括两层:低阻重掺浓硼层和高阻层,低阻重掺浓硼层作为器件层,利用体硅工艺制作MEMS结构,高阻层作为支撑层,在器件结构完成后,利用自腐蚀停止技术去除高阻...
  • 一种单一取向碳纳米管喷印排布方法与流程
    本发明属于纳米加工领域,具体涉及一种单一取向碳纳米管喷印排布方法。碳纳米管是由石墨烯卷曲形成的一维管状分子,它不仅具有石墨烯优异的力学性能、热学性能、高的载流子迁移率等特点,而且由于其一维管状特性、SP2杂化的C-C键结构以及独特的螺旋结构,表现出优异的光电特性,在光电器件、集成电路、功能...
  • 一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法与流程
    本发明涉及一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法,属于微电子机械系统。随着物联网、智能设备、军事装备等领域对高性能MEMS传感器的需求不断的增加,使得MEMS技术的发展方向沿着全硅化、圆片级封装以及异构集成的方向发展。典型的MEMS器件结构一般包括,衬底层、MEMS可动结...
  • 一种采用MEMS电容阵列的电压比较法放大电路及其制作方法与流程
    本发明属于硅微机械加工技术,具体涉及一种采用MEMS电容阵列的电压比较法放大电路及其制作方法。随着物联网的发展,对MEMS传感器的需求也日益增长,当前又有许多传感器会采用电容式结构对环境因素进行检测,诸如气体传感器、测距传感器、超声成像传感器、电容式麦克风等等。但是电容结构MEMS传感器的...
  • 用于传感器元件的微机械弹簧的制作方法
    本发明涉及一种用于传感器元件的微机械弹簧。本发明还涉及一种用于制造用于传感器元件的微机械弹簧的方法。现今,在z-或xz-加速度传感器中的扭转弹簧(作为可转动的摆杆)要么设计有简单的梁,其中,长度和宽度作为设计自由度使用,要么当除了一般要求(关于检测灵敏度等的要求)之外还要附加地满足振动要求...
  • 本发明涉及真空晶圆级封装以及相关电子元器件的结构设计和应用,特别提供了一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件及其封装方法。真空封装对于MEMS来说是一个必不可少的环节,MEMS器件通常具有可活动的部件,为了保证这些敏感的可动部件和敏感部件机械性能,需要让这些敏感部件和可动部件工作在真空环境...
  • 本发明涉及一种光学及微加工技术,尤其是一种PDMS变周期环形微褶皱结构的制备方法。褶皱现象在自然界、工业界和日常生活处处可见,比如地质构造中的褶皱、造纸工艺中的褶皱和人类皮肤上的褶皱等。在过去十几年里对褶皱形成的理解有了很大的发展,最常用的模型是双层膜,它是由一层软的弹性体厚基底(如聚二甲...
  • 本发明涉及一种传感器,该传感器包括至少一个传感器元件、至少一个信号处理元件、具有至少一个固定件的壳体以及用于传感器的电连接的电接口,并且本发明还涉及这种传感器在机动车中的应用。通常,微机械传感器元件或MEMS传感器元件和专用集成电路或者是ASIC——其首先设计为未封装的半导体器件—...
  • 用于微流体设备的无源泵的制作方法
    本申请要求于2015年9月4日提交的美国临时申请62/214,352的权益,该美国临时申请据此全文以引用方式并入本文。关于联邦资助的研究或开发的声明本发明是在政府支持下进行的,授权UL1TR001111,由美国国立卫生研究院(NationalInstitutesofHealth)提供资金。美...
  • 一种仿生草履虫的微纳驱动器的制作方法
    该发明涉及微纳机器人领域,尤其涉及磁场驱动的仿生微纳驱动器领域。微纳米机器人指的是尺度在微纳米级别(几纳米至几百微米)的小型机器人,在生物医学和环境保护等领域有非常重要的潜在应用,例如可用于微创外科手术、靶向治疗、细胞操作、重金属检测、污染物降解等,因此受到国内外研究者的广泛关注,近年来发...
  • 基于模板诱导自组装的液体微阵列制备方法与流程
    本发明属于微纳制造,具体涉及一种基于模板诱导自组装的液体微阵列制备方法。开发具有高效率、低成本、高分辨率特征,以达到大幅面、低成本、高产能、大面积、液体微阵列,是目前特别是可变焦光学系统的研究重点之一。特别是在轻巧便捷的成像应用中,突破上述方面的挑战,将会为可调焦微透镜阵列技术的产...
  • 一种基于碳纳米管的致动器的制备方法与流程
    本发明涉及一种致动器,尤其涉及一种基于碳纳米管的致动器以及该致动器的应用。致动器的工作原理为将其它能量转换为机械能,实现这一转换经常采用的途径有三种:通过静电场转化为静电力,即静电驱动;通过电磁场转化为磁力,即磁驱动;利用材料的热膨胀或其它热特性实现能量的转换,即热驱动。现有的热致动器通常...
  • 合成纳米材料及其制备方法与流程
    本申请涉及合成纳米材料领域,特别涉及利包括Ecoflex的合成纳米材料及其制备方法。应力传感器是一种将机械形变转化为电学特征(如电阻或电容)的改变来感知力的变化的传感器。随着传感器技术的不断发展,应力传感器被用于检测人体小范围的运动,例如脸部,胸部,颈部在情感波动,呼吸,吞咽和说话时的微妙...
  • 一种深Si通孔结构的制作方法
    本发明涉及MEMS制造领域,尤其涉及一种深Si通孔结构。MEMS制造工艺(MicrofabricationProcess)是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺,方式十分丰富,几乎涉及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺,以光刻、外延、薄膜淀积...
  • 一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法与流程
    本发明涉及一种MEMS执行器及其制作方法,特别是一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法。随着微流控技术的发展,流体芯片实验室技术得到了广泛的研究。其中,为了将流体从储存腔体推送至外界系统,膜偏转执行器是微型流体泵送系统的重要部件之一,要求具有极高的位置精准性和灵活可控性。目前已经报道...
  • 一种微机电系统的运动部件及其加工方法与流程
    本发明涉及一种微机电系统的加工工艺,尤其涉及一种微机电系统的运动部件及其加工方法。微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)是独立的智能系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,具有体积小、重量轻、功耗低、性能稳定等特点,广泛应用于汽车、消费电子、...
  • 一种倒置装配的MEMS芯片封装结构的制作方法
    本发明涉及一种MEMS芯片封装结构,属于MEMS。MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)电容传感器具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,应用广泛。MEMS电容传感器通过测量微小敏感结构构成的电容变化来实现相应待测物理量的测量。通常MEMS传感...
  • 本发明涉及一种致动器,尤其涉及一种基于碳纳米管的致动器以及该致动器的应用。致动器的工作原理为将其它能量转换为机械能,实现这一转换经常采用的途径有三种:通过静电场转化为静电力,即静电驱动;通过电磁场转化为磁力,即磁驱动;利用材料的热膨胀或其它热特性实现能量的转换,即热驱动。现有的热致动器通常...
  • 本发明涉及硅微机械传感器,具体是一种压阻式MEMS传感器制作方法。高g值MEMS加速度传感器常被用于苛刻的撞击、侵彻、冲击场合的加速度测试,在经历碰撞、侵彻等应用过程中,加速度传感器会受到各种高频信号的影响,为真实再现碰撞、侵彻等过程中的加速度信号细节,尽可能减小信号失真,对高g值...
  • 将纳米级和微米级物体组装成三维结构的方法与流程
    依据35U.S.C.§119(e),本申请要求2015年6月8日提交的名为“组装纳米级和微米级物体(objects)的方法”的美国临时申请号62/172,315的优先权,出于所有目的通过引用的方式将其内容整体并入本文。现代材料科学的一个目标涉及从微米或纳米量级尺寸的微米级成分(elemen...
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