微观装置的制造及其处理技术
  • 具有对由于诸如正交分量之类的扰动力所致的误差补偿的微机电设备的制作方法
    本公开涉及具有由于由诸如正交分量之类的扰动力所致的的误差补偿的微机电设备。如已知的,MEMS(微机电系统)由于它们的小尺寸、与消费者应用兼容的成本、以及它们与日俱增的可靠性而以日益广泛的方式被用在不同的应用中。特别是,利用这一技术,制造了诸如微集成的陀螺仪和机电振荡器之类的惯性传感...
  • 薄膜结构的形成方法、声电换能器件及其形成方法与流程
    本发明涉及半导体制造技术,具体涉及一种薄膜结构的形成方法、声电换能器件及其形成方法。声电换能器用于进行声信号和电信号之间的转换。麦克风是将声波(即,声信号)转换成电信号的声电换能器。扬声器则是将电信号转换为声信号的声电换能器。基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical...
  • 激光键合方法和具有激光键合连接部的微机械设备与流程
    本发明涉及一种具有带着MEMS键合框的MEMS构件和带着罩键合框的罩构件的微机械设备,其中,MEMS构件和罩构件形成至少一个共同的空腔,其中,MEMS键合框和罩键合框在键合面上彼此贴靠。在MEMS元件中,例如在转速传感器、加速度传感器、组合元件中,用于按照规定的功能的MEMS元件针对环境影...
  • 电子装置、电子装置的制造方法与流程
    本发明涉及电子装置、电子装置的制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。一般,已知有作为具备机械式可动的结构体的电机械系统结构体的物理量传感器。作为物理量传感器,例如已知有如下的电容式传感器,其基于根据物理量(加速度、角速度等)的作用而进行位移的可动电极与同该可动电极对置的固定电极之间的静...
  • 用于形成自动传输的感光聚合物波导的自下而上设备设计的制作方法
    本申请涉及美国专利第7,382,959号(“'959专利”)和美国专利第7,938,989号(“'989专利”),其全部内容均以引用的方式并入本文中。根据本发明的实施例的一个或多个方面涉及用于制造微桁架结构的系统和方法,且更具体地说,涉及用于自下而上形成此类结构的系统和方法。微桁架...
  • 含枝状体的混合纳米粒子、生产此类混合纳米粒子的方法以及它们的用途与流程
    本申请要求于2015年6月12日提交的美国临时申请号62/174,670和于2016年3月22号提交的美国临时申请号62/311,504的优先权,两者通过引用以其全文并入本文。本披露涉及包含金属核心和至少一个附接到该金属核心表面的亲脂性枝状体的混合纳米粒子(nanoparticle),以及...
  • MEMS传感器的制作方法
    本实用新型涉及声电转换,更为具体地,涉及一种降低封装应力的MEMS传感器。现有的MEMS传感器(如:压力传感器、MEMS麦克风),MEMS芯片通过胶与PCB板固定,由于MEMS芯片对封装应力较为敏感,MEMS芯片容易受到外界应力变化的影响,因此MEMS传感器对封装要求较高。因此,为...
  • 地磁传感器件的制作方法
    本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种地磁传感器件。微机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)与集成电路(integratedcircuit,IC)目前是半导体产业最重要的两个发展领域。在全球科技迅速发展的推动下,MEMS与IC的集成成为...
  • 高聚物纳米柱阵列、微反应室阵列的制备方法及应用与流程
    本发明涉及一种高聚物纳米柱阵列和微反应室阵列的制备方法,尤其涉及一种可应用于纳米级检测中的高聚物纳米柱阵列和微反应室阵列的制备方法。精确的理解化学、材料学、生物医学等过程需要与其基本单位适应尺寸的测试工具。随着单分子显微镜、单分子光学超分辨成像技术的发展,超微反应分析已经被越来越广泛的应用...
  • 用于增大微机电系统装置的产率和可靠性的气体的制作方法
    例如集成电路的电子装置通常封装在密封罩壳中。这些罩壳保护装置免受原本将进入封装且机械地损害或电气地干扰装置的污染物、粒子和水蒸气的影响。各种MEMS(微机电系统)装置包含对MEMS装置放置在其中的环境提出独特要求的移动组件和结构(例如微小型化)。随着时间推移的MEMS装置的操作(甚至在密封的封装环...
  • 一种柔性微电极的制造方法与流程
    本发明涉及柔性器件制造,具体涉及一种柔性微电极的制造方法。科技的发展给人们带来更便携的生活方式,科技产品朝着小型化、移动化及可折叠方向发展,电子产品由笨重的台式电脑发展为轻便的笔记本电脑,再到目前的智能手机,电子产品集成度越来越高、使用也更加便捷。柔性电子器件就是根据科技产品未来的...
  • 一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法与流程
    本发明属于传感器,具体涉及一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法。在煤炭开采过程中,为保证作业安全,常常需要对各种烷类气体气的浓度进行检测,此时常用到催化燃烧传感器。传统的催化燃烧传感器,包括检测元件和补偿元件,检测元件和补偿元件构成测量电桥,可燃气体在检测元件载体及催化剂的作用下...
  • 三维结构的制作方法
    本发明涉及一种微结构技术,且特别是涉及一种三维结构。科技发展飞速,源自于工业制造用的3D打印技术至今逐渐走入生活。不同于传统除料式减法制作工艺,3D打印加法制作工艺可制作出具复杂形貌与孔洞的结构,且具备有少量、多样、高值化的诸多制作优势。因此,3D打印技术未来可应用护具、航太、汽机车零组件...
  • 微纳流体二极管装置的制作方法
    本发明涉及微流体装置,具体涉及一种微纳流体二极管装置。电子二极管的发明使电流易于控制成为可能,并在电子电路和器件的小型化中发挥了关键作用。它们独特的整流效果促使人们对热、流、声流等其他流动的控制进行探索。流体定向运输在能源、微流体、液体分离和液体收集等领域都有重要的应用。在流体系统中,通过...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
  • 一种台阶结构及其制造方法与流程
    本发明涉及MEMS,更具体地涉及一种台阶结构及其制造方法。采用表面工艺制作的微机电(Micro-Electro-MechnicSystem,MEMS)系统是以硅片为基体,通过多次薄膜淀积和图形加工制备形成的集微型机构、微型传感器、信号处理电路、信号控制电路以及微型执行器接口、通信...
  • 吡咯衍生物对碳同素异形体的加合物的制作方法
    根据Treccani百科全书中的定义,在化学中的亲油描述了在油和脂肪中容易溶解的物质、原子、分子等。因此,在皂分子中,脂肪酸中的烃基残基是亲油的,而羧基是亲水-亲油的。同样根据Treccani百科全书中的定义,同素异形现象是在化学元素中,在固态中存在原子的不同排列和因此不同晶体结构相区分的形式。已...
  • 基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置的制作方法
    本发明涉及柔性电子制造微纳米结构直写,尤其是一种基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置。柔性电子已经成为当前电子产业发展的一个热点,如柔性显示器、柔性生物器件、智能皮肤及电子服装等柔性电子产品已取得了国内外广泛关注。但传统柔性电子制造技术,如丝网印刷、刻蚀等,在进一步降低线...
  • 一种电学连接高密度坡面台阶纳米线的方法与流程
    本发明涉及通过循环交替刻蚀工艺获得高密度坡面台阶的方法,尤其涉及一种电学连接高密度坡面台阶纳米线的方法。晶硅或相关半导体纳米线(Nanowire)是开发新一代高性能微纳电子逻辑、传感和显示应用的关键构建单元。为了更好地与平面电子工艺相兼容,并实现定位集成,本申请发明人最早提出了一种平面固液...
  • 一种具有微纳米结构的多功能薄膜制备方法与流程
    本发明涉及功能性薄膜,尤其涉及一种具有微纳米结构的多功能薄膜制备方法。自然界生物所具有的自清洁性多为疏水性自清洁,比如“荷叶效应”,其原因是生物表面具有凸起的微结构,这种微纳结构将空气限制在结构空隙中,使荷叶表面形成一层极薄的空气层,从而达到自清洁的目的,人们对其展开研究,并仿生其...
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