微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。已知用于测量例如加速度、转速、磁场和压力的微机械传感器,并且针对在汽车和消费领域中的不同应用批量生产地制造。传统的要求真空封装的微机械传感器例如惯性传感器需要气密密封的封罩。该封罩既可以实现为晶片罩也可以实现为薄膜封罩。晶片封罩需要通...
  • 本发明涉及一种用于制造至少部分中空的微机电系统(MEMS)结构的方法以及通过所述方法制造的MEMS结构。特别地,本发明涉及一种用于制造MEMS电感器的方法。多年来已经提出了各种半导体装置,更具体地说是提出了各种用于半导体芯片的电感器。例如,US8,354,325公开了一种MEMS电感器,...
  • 如果有的话,本申请涉及或要求来自下列申请(“优先权申请”)的最早有效申请日的优先权(例如,为除了临时专利申请以外的要求最早优先权日,或根据35USC119(e)为临时申请、优先权申请的任何及所有专利、母案、母案的母案等申请要求优先权)。此外,本申请涉及的“相关申请”,如果有的话,在下面列出。优先权...
  • 本发明涉及装置以及制造这种装置的方法。更具体地说,本发明涉及具有跨越基板中腔体的至少一部分的层压隔膜的装置,以及制造具有跨越基板中腔体的至少一部分的层压隔膜的装置的方法。诸如纳机电系统装置(NEMS)的装置可以具有在腔体上方悬置的隔膜。隔膜可以由诸如石墨烯的二维材料形成,并且这种NEMS装...
  • 本申请要求于2015年12月30日提交的标题为“抗震的MEMS致动器结构”的美国通用申请序列第14/985,175号的权益。其内容通过引用并入本文,如同其全部内容一样。本公开一般涉及用于微机电系统(MEMS)的抗震结构,并且更具体地涉及用于MEMS致动器的抗震结构。发明内容根据本文公开的技...
  • 本发明涉及纳米材料,具体地,涉及一种六边形有序垂直耦合等离子体阵列及其制备方法和应用。2011年,垂直耦合等离子体阵列(VCPA)首次得到研究。VCPA的结构可以描述为两个互补的等离子体基板,它们在一个固定的高度上被位移。这些等离子体基板是一种具有亚微米尺寸和有序穿孔的金属膜和周期...
  • 本发明涉及一种用于制造多层MEMS构件的方法和一种相应的多层MEMS构件。尽管也可以应用任意的微机械衬底,但是本发明和本发明所基于的问题参照硅基的MEMS晶片衬底来阐释。硅基的MEMS构件具有特殊的物理和电学的特性。电学特性基本上取决于掺杂,而物理特性、尤其是导热性取决于硅的结晶性质。因此...
  • 本发明涉及一种用于惯性传感器的微机械弹簧。本发明还涉及一种用于制造用于惯性传感器的微机械弹簧的方法。本发明还涉及一种具有至少一个微机械弹簧的惯性传感器。微机械惯性传感器(加速度和转速传感器)在它的运动自由度方面受到止挡元件的限制。该止挡元件的任务在于,当可运动的质量接触惯性传感器的固定电极...
  • 本发明设计模具制备,具体设计一种微纳模具型槽的制备方法。随着模具器件向微纳方向发展,常用的模具钢已经远远达不到要求。在亚微米尺度,常规的加工工艺已经达不到此性能要求。对于激光刻蚀加工,10μm基本到达它的加工极限。但激光原理是热熔加工,边缘程锯齿状,粗糙度很大,满足不了此等尺寸下的...
  • 本发明属于微纳米加工,具体涉及一种制备柔性薄膜基底微纳米结构的充气薄膜方法。柔性薄膜材料如聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、三醋酸纤维素、聚乙烯醇、聚醚砜、聚醚醚酮、聚酰胺酰亚胺、改性环状聚烯烃等,具有重量轻、可弯折、化学惰性高、光学性能良好、成本较低等优点,因此作为基底材料被广泛地应...
  • 本发明属于微机械工艺制造领域,尤其涉及一种硅基MEMS微半球阵列的制备方法。技术背景微机电(MEMS)技术在生活中的地位愈来愈重要,不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件,在信息、通讯和消费性电子等大众的市场,也可以看到快速增长的MEMS应用。MEMS制造工艺是下至纳米尺度,上至...
  • 本发明属于半导体传感器领域,具体涉及一种硅基结构的微热板及其制备方法。工业的迅速发展在带来可观利益的同时,也对环境造成了污染。工厂排放的有害有毒气体时刻在危害着生态环境和人类的健康。在个人家庭中,易燃、易爆气体同样存在着威胁。气敏传感器是一种电子鼻,它能够检测到空气中的有毒有害气体,并将检...
  • 在本文中公开的主题总体上涉及微电子机械系统(MEMS)装置的操作。更具体而言,在本文中公开的主题涉及致动(actuate)MEMS装置的可动部件的移动的装置和方法。微电子机械系统(MEMS)技术广泛地用于无线通信工业中,以基于结构或操作原理提高现有装置的性能。例如,可以使用微加工技...
  • 本申请涉及原子器件制作和封装领域,特别是涉及一种原子腔的制备方法。原子物理技术与MEMS技术结合产生了多种新技术,例如微型原子钟、微型原子磁强计、微型原子陀螺仪等微型原子腔器件。原子钟由于准确度和稳定度很高,而得到广泛的应用,在天文学、航空航天、同步通信网络、卫星导航、大地测量学和基础科学...
  • 本实用新型涉及一种微机电器件结构,属于MEMS器件领域。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器和微能源三大部分组成。微机电系统涉...
  • 本实用新型属于电子材料与元器件,具体涉及一种加热电极埋入式MEMS器件。现有技术中,MEMS气体传感器的加热电极与测试电极通常在基底层表面平行排布,通过表面沉积介质膜进行绝缘。构成电极的金属丝通常为Pt、Au等贵金属,或者是贵金属与其它金属的合金。通过采用磁控溅射或电子束蒸发等工艺...
  • 本实用新型涉及水听器,具体为MEMS水听器芯片的扇出型封装结构。水听器,又称水下传声器,其能够将水下的压力变化而产生声信号转换为电信号,从而能够可靠的得到水下的压力,常被用于声场的测绘、声传感器的检测标定以及超声设备的检测校准和性能评估等声学领域的研究。随着科学技术的不断发展和进步...
  • 本实用新型涉及一种不等高垂直梳齿器件,属于微机电器件领域。MEMS不等高垂直梳齿结构中,不等高垂直梳齿由于其具有驱动电压较低、驱动位移较大、可实现离面位移、响应速度快、频率高等优点,常用在MEMS静电微扫描镜、MEMS静电微执行器、MEMS电容式惯性传感器等MEMS器件,特别是被MEMS微...
  • 本申请要求2015年12月28日提交的美国专利申请No.14/980,850的权益。本申请涉及晶体管器件,并且更具体地涉及具有减小的寄生电容和沟道效应的纳米线器件。在先进的工艺节点中,传统的平面晶体管架构遭受诸如过度泄漏的许多问题。结果,在这些先进的节点中通常使用诸如鳍场效应晶体管...
  • 本发明涉及一种三维球形碳化硅纳米组装材料及其制备方法和应用,尤其涉及一种三维球形碳化硅纳米组装材料的流化床化学气相沉积制备方法,属于碳化硅纳米材料制备。具有半导体特性的碳化硅材料由于其优异的高温性能,抗氧化,耐腐蚀,广泛应用于高温,高频,高能及严苛服役环境下。纳米碳化硅材料由于尺寸...
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