微观装置的制造及其处理技术
  • 一种微通道加工方法、微通道与流程
    本发明涉及加工领域,更具体地,涉及一种微通道的加工方法,以及通过上述方法制得的微通道。微通道,顾名思义,就是形成一个或者多个微细的通道,供液体或者气体在其内部流通,微通道的尺寸通常在微米级至纳米级范围内。通过微通道可以控制液体或气体的流入或者流出,可应用于医疗注入、喷头、环境控制等精密领域...
  • 一种MEMS晶圆切割方法与流程
    本发明涉及微机电系统,特别是涉及一种MEMS晶圆切割方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)是一种基于微电子技术和微加工技术而产生的一种高科技领域。MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单...
  • 石墨烯-碳纳米管FET器件的加工方法与流程
    本发明属于微纳加工、微纳装配,具体涉及一种石墨烯-碳纳米管FET器件的加工方法。纳米电极是电化学研究中新发展起来的一个领域。由于其具有常规电极无法比拟的优点:高传质速率、小时间常数、高信噪比、高电流密度,纳米电极被广泛应用在纳米生物传感器,单细胞分析,成像探针,电化学动力学研究...
  • 集成悬臂开关的制作方法
    本公开总体上涉及先进的晶体管的几何结构并且涉及与微电子电路一起集成的机电器件。存在将电子器件与机械结构组合以形成用作例如微型传感器和致动器的电子控制移动部件的微机电系统(MEMs)。图1中示出了典型的作为平面晶体管的MEMs器件,其中导电沟道电耦合到源极但是与漏极分离。当电流施加到...
  • 一种二维材料的转移系统的制作方法
    本发明实施例涉及二维材料制备,尤其涉及一种二维材料的转移系统。二维材料是指电子仅可在两个维度的非纳米尺度上自由运动的材料,即电子在平面上运动。常见的二维材料有许多种,如纳米薄膜、超晶格、量子阱等。当前,二维材料可以采用自下而上和自上而下两种方法进行制备。在二维材料的自下而上制备方法...
  • 一种剥离多层二维材料的方法与流程
    本发明涉及二维材料制备领域,尤其涉及一种剥离多层二维材料的方法。二维材料是指电子仅可在两个维度的非纳米尺度(1-100nm)上自由运动的材料,例如纳米薄膜、超晶格、量子阱等。二维材料的化学性质随着层数的不同呈现出明显的不同,现有的二维材料通常以多层堆垛的方式存在,即二维材料层与层之间通过范...
  • 一种硅基凸面反射镜的制备方法与流程
    本发明涉及半导体技术和光学工程领域,具体涉及一种硅基凸面反射镜的制备方法。1956年,Uhlir对硅片在HF溶液中进行电化学抛光处理时发现了多孔硅的存在;1990年,Canham发现了多孔硅在室温下发出可见光,这个发现为多孔硅的研究开辟了新纪元,即室温下发光多孔硅研究阶段;多孔硅在室温下的...
  • 增强硅探测器近红外响应的微光栅光腔结构及其制造方法与流程
    本发明属于光电,具体为增强硅探测器近红外响应的微光栅光腔结构及其制造方法。硅在紫外及可见光的吸收系数很高,但在近红外波段吸收系数较低,对于1064nm的波长的光,硅的吸收长度大于250μm。为了增加硅探测器近红外响应,需增加硅衬底的吸收厚度,随着硅衬底厚度的增加,光生载流子的漂移时...
  • 一种制备全部覆盖侧面电极的方法与流程
    本发明涉及一种制备全部覆盖侧面电极的方法,具体涉及一种制备微纳电子器件上侧面电极全部覆盖的方法,属于光电子。微纳电子器件是指利用微纳级加工和制备技术,如:光刻、外延、微细加工、自组装生长及分子合成技术等,设计制备而成的具有微纳级尺度和特定功能的电子器件。其中,纳米技术是一门在0.1...
  • 一种制备部分覆盖侧面电极的方法与流程
    本发明涉及一种制备侧面电极的方法,具体涉及一种制备微纳电子器件上侧面电极部分覆盖的方法,属于光电子。微纳电子器件是指利用微纳级加工和制备技术,如:光刻、外延、微细加工、自组装生长及分子合成技术等,设计制备而成的具有微纳级尺度和特定功能的电子器件。其中,纳米技术是一门在0.1~100...
  • 一种半导体器件及其制备方法和包含其的电子装置与流程
    本发明实施例涉及一种半导体器件,尤其涉及一种声学的半导体器件及其制备方法。在半导体领域中,一种MEMS器件为声学换能器,该器件能感受声音引起的空气振动使得声学换能器中的可动电极板做受迫简谐振动,引起模拟信号的变化,最终将声音信号转化为电信号。声学换能器主要包括振膜,即可动电极板;背极板,即...
  • 一种基于MEMS电感的二维曲率传感器的制作方法
    本发明属于微电子器件,具体涉及一种基于MEMS电感的二维曲率传感器,该曲率传感器通过检测弯曲衬底上电感的变化量,实现曲率的测量。在目前的测量曲率的器件中,任意形状凸凹曲面曲率半径一般多采用R型面样板测量,由于R型面样板是比较测量,所以无法测出几何形状的精确值。三坐标测量仪虽然较好地...
  • 晶圆结构及晶圆加工方法与流程
    本发明涉及半导体加工领域,更具体地,涉及一种晶圆结构及晶圆加工方法。半导体集成电路的制造过程,大致上可分为晶圆制造、测试、切割、和封装等。晶圆(wafer)是用于制作硅半导体集成电路制作的晶片,形状通常为圆形。晶圆的尺寸例如为6英寸、8英寸或12英寸。在晶圆上形成由层叠绝缘膜和功能膜组成的...
  • 可扩展的热电式红外探测器的制作方法
    本发明涉及一种可扩展的热电式红外探测器设备及其形成方法。基于日益增长的诸多应用需求,对非制冷红外探测器的需求也不断增长。这些应用,仅举几例,包括空调系统,手机,自动驾驶汽车,物联网(IoT),消防和交通安全。此外,预计不久的将来还会有更多的应用。常规非制冷红外探测器使用微测辐射热计予以实施...
  • 多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法与流程
    本公开涉及微结构气体探测器,尤其涉及一种多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法。在当前的大型核与粒子物理实验中,粒子的飞行时间(Time-of-Flight,TOF)与位置是非常重要的物理参数。飞行时间测量是进行末态带电粒子鉴别的非常重要而常用的手段。对撞产生的高能末态粒子...
  • 低镉含量纳米结构组合物及其用途的制作方法
    本发明涉及纳米。公开了含低浓度镉的量子点组合物,当在显示器内的膜中时,其在各个单一波长发射下均呈现出高的色域、高的能量效率和窄的半峰全宽。半导体纳米结构可被结合到各种电子和光学器件中。此类纳米结构的电学和光学性质取决于例如它们的组成、形状和尺寸而异。例如,半导体纳米颗粒的尺寸可调性...
  • 使用大规模分子电子传感器阵列测量分析物的方法和装置与流程
    本申请要求于2016年1月28日提交的且题为“使用大规模分子电子传感器阵列测量分析物的方法和装置”的美国临时专利申请序列第62/288,360号的优先权,其公开通过引用结合于此。本发明总体上是生物纳米技术的领域,且更具体地是分子电子传感器的领域。传感器是离散系统,其响应于特定类别的...
  • 纳米发动机推进的制作方法
    本申请要求2015年12月16日提交的美国临时申请序列号62/268,352的利益,该临时申请在此通过引用并入其全部内容,包括任何图、表格或附图。发明背景在生物医学应用和许多低成本的纳米制造工艺中使用的纳米和微米发动机通常包括多种能够推向或推离源场(sourcefield)的微米和/或纳米颗粒复...
  • 纳米结构材料的连续流动合成的制作方法
    提供通过连续流动过程产生纳米结构材料的方法和系统。各向异性的棒状半导体纳米晶体具有取决于晶体的尺寸、纵横比和化学组成的受关注电子性质。这些纳米粒子可用于重要的应用,如发光器件、光催化、光诱导的光调制、光伏装置、波函数工程、生物标记和光存储器元件。通常,各向异性半导体纳米粒子被认为在...
  • 被配置为将图像投影到表面上的投影仪以及包括这种投影仪的便携式装置的制作方法
    本发明涉及一种投影仪,所述投影仪被配置为嵌入便携式装置中并且将图像投向朝着使用者眼睛反射光的表面。本发明进一步涉及一种包括这种投影仪的便携式装置。通常,旨在嵌入便携式装置(诸如移动电话或头戴式装置)中的微型显示器包括具有微米级像素的光源矩阵。存在包括激光源或发光二极管(LED)或用于形成彩...
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