微观装置的制造及其处理技术
  • 用于微机械传感器的制造方法与流程
    本申请与于2016年6月21日提交的并且题为“FABRICATIONMETHODFORMICROMECHANICALSENSORS”的序列号为No.15/188,116的美国专利申请相关,其要求于2015年6月24日提交的题为“FabricationMethodForMicromec...
  • 一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器的制作方法
    本发明属于微机电系统(MEMS),具体涉及一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器。带有活动极板的平板电容是许多微执行器件的核心部分,这类器件在静电力作用下发生运动,一般采用Si材料制造,因为体积小,结构简单,越来越被各个行业所广泛采用。根据S.D.Senturia,Microsyst...
  • 一种MEMS红外探测器结构的制作方法
    本发明涉及红外探测器,更具体地,涉及一种具有多个MIM电容级联结构的优化的MEMS红外探测器。传统CMOS电路能够提供MIM、MOS等电容结构。其中,MIM电容由于其在漏电、CV特性等方面具有的独特优势,受到了广泛使用。但是,针对红外探测器等MEMS领域的产品而言,MIM电容结构单...
  • 能抑制光噪声的微电极、采用其的电路及其制备方法与流程
    本发明涉及微传感器,尤其涉及一种能抑制光噪声的微电极、采用其的电路及其制备方法。硅基微电极是神经科学研究的重要工具,通常采用硅作为衬底,在器件中起支撑作用,上层为绝缘层、金属导体、绝缘层的传统的“三明治”电极结构,硅衬底和金属电极之间由绝缘层隔开,示意图如图2。由于微电极尺寸很小,...
  • 基于可控纳米裂纹实现的互补电阻开关器件及其控制方法与流程
    本发明属于微电子,更具体地,涉及一种基于可控纳米裂纹实现的互补电阻开关器件及其控制方法。随着晶体管的特征尺寸不断减小,晶体管的集成数目越来越多,芯片的功耗问题愈加突出,同时,晶体管的漏电问题也愈发严重。无源交叉矩阵是一种能够有效降低功耗,同时提高存储密度的方法,但是它存在潜通路漏电...
  • 储存和释放纳米微粒的方法与流程
    本申请要求2016年8月18日提交的美国专利申请号15/240,271的优先权。以上申请的全部公开内容通过引用并入本申请。本公开涉及用于存储小微粒和对其进行按需释放的技术。纳米材料由于其独特的性质已经引起了大量科学关注。由于这些独特的性质,纳米微粒用于与光电子产业(例如发光器件和太...
  • 一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法与流程
    本发明属于微纳制造,具体涉及一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法。随着人类社会进入信息化时代,对信息进行感知、采集、转换、传输和处理的信息技术已经渗透到社会的各个领域并发挥着越来越重要的作用,而完成这些功能的器件也已经成为各个应用领域中不可或缺的重要技术工具。作为信息采集...
  • 一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法与流程
    本发明属于传感器,具体涉及一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法。环境中微量的气体对人体的健康安全产生危害,如NO2、NH3、CO、H2S等。因此,环境中需要对环境中微量气体进行探测,保障人员的身体健康和安全。当前,环境中气体浓度的检测技术主要包括半导体式、电化学式、催化燃烧式...
  • 内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法与流程
    本发明主要涉及到集成电路中MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)领域,特指一种新型的内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法。随着微纳米技术的快速发展,一种新型的交叉学科微机电系统技术-MEMS技术得到了飞速的发展。到1990年代,以微压力传感器和微加速度传感...
  • 一种面向MEMS封装的纳米玻璃粉回流工艺的制作方法
    本发明涉及一种纳米玻璃粉的回流工艺,尤其是涉及一种面向MEMS封装的纳米玻璃粉回流工艺。微机电系统(MEMS)的敏感单元通常是微尺度的可动硅结构,其在温度、湿度、尘埃等因素的影响下都会造成器件性能的下降甚至损坏。因此,良好的封装工艺是提高MEMS器件性能和抗干扰能力的有效保障。MEMS器件...
  • 镜子组件及其控制方法、调光板与流程
    本公开至少一实施例涉及一种镜子组件及其控制方法以及调光板。微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)其内部结构的尺寸通常在微米量级甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,通常包括传感器、执行器和微能源三部分。目前,可通过微机电系统对尺寸在微米量级或纳...
  • 纳米材料制备系统及其制备方法与流程
    本发明涉及纳米材料,特别是涉及纳米材料制备系统及其制备方法。纳米材料是指粒度在100纳米以下的粉末,是一种介于原子、分子与宏观物体之间的中间物态的固体颗粒材料,由于其具有一系列优异的性能,被广泛应用于各个。纳米材料的制备方法可分为物理法和化学法,物理法主要包括机械粉粹法和深...
  • 一种二元过渡金属氧化物薄膜纳米图形加工方法与流程
    本发明公开了一种二元过渡金属氧化物薄膜纳米图形加工方法,属于微纳米结构加工领域,涉及纳米离子学领域。微纳米结构加工技术是一种在微米及其以下尺度的加工细微结构的技术,最早应用于集成电路的制备。近些年,不断发展的微纳米结构加工技术被广泛应用于信息存储、生物、航空航天等领域。传统的微纳米结构加工...
  • 一种在任意基底上大面积、多样化有机模板的制造方法与流程
    本发明涉及一种有机模板的制造方法,尤其涉及一种在任意基底上大面积、多样化有机模板的制造方法。多样化的模板主要包括球形非密排模板,六方形非密排模板,二元双层非密排模板。这些模板,为更多纳米结构阵列的合成提供了可能性,同时,可以实现在任意基底上的制造。一般制备的纳米颗粒是随机分布的,将其在指定...
  • 单纳米颗粒精度一维磁性组装阵列及其制备方法与应用与流程
    本发明涉及一维阵列领域,特别涉及一种单纳米颗粒精度一维磁性组装阵列及其制备方法与应用。一维磁性纳米组装体轴向颗粒间的相互作用使其具有各向异性的物理性质,因此在产热调节、细胞分化、磁场感应及结构色显示等方面有广泛的应用。其中,单纳米颗粒精度一维磁性纳米组装体因其“头对头”的结构,一定颗粒数量...
  • 两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台的制作方法
    本发明属于纳米定位,涉及纳米定位系统中的微位移机构,特别涉及一种两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台。压电微动平台是一种通过压电执行器驱动可产生弹性变形的柔性机构来传递位移与力的微位移机构。由于它没有铰链和轴承,所以不需要装配,不存在传动间隙,不产生摩擦与磨损;由于采用压电执行...
  • 两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台的制作方法
    本发明属于纳米定位,涉及纳米定位系统中的微位移机构,特别涉及两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台。压电微动平台是一种通过压电执行器驱动可产生弹性变形的柔性机构来传递位移与力的微位移机构。由于它没有铰链和轴承,所以不需要装配,不存在传动间隙,不产生摩擦与磨损;由于采用压电执...
  • 两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台的制作方法
    本发明属于纳米定位,涉及纳米定位系统中的微位移机构,特别涉及一种两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台。压电微动平台是一种通过压电执行器驱动可产生弹性变形的柔性机构来传递位移与力的微位移机构。由于它没有铰链和轴承,所以不需要装配,不存在传动间隙,不产生摩擦与磨损;由于采用压...
  • 一种应力辅助定位纳米加工方法及其制备的纳米结构与流程
    本发明涉及微纳结构加工,更具体地,涉及一种应力辅助定位纳米加工方法及其制备的纳米结构。微纳加工技术已经被广泛应用于现代微纳电子器件,微纳光电器件,微纳声子器件的加工制造。其中,高精度的定位纳米加工方法是制作新型纳米器件的关键,例如环栅场效应晶体管、单电子晶体管、单杂质器件、纳米热电...
  • 一种制备大面积可释放微纳结构的方法与流程
    本发明属于微纳加工领域,具体涉及一种制备大面积可释放微纳结构的方法。:一种制备大面积可释放微纳结构的方法,在生物医疗、分子探测、印刷领域有广阔的应用前景。传统制备可释放微纳结构的方法局限于小面积,有粘附层的结构,释放的难度大,时间久。本发明制备一种无粘附层的可释放微纳结构,大大提高了微纳结...
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