微观装置的制造及其处理技术
  • 微机电系统传感器的封装方法和封装结构与流程
    本发明涉及电子器件封装,特别涉及一种微机电系统传感器的封装方法和封装结构。mems(microelectromechanicalsystems,微机电系统)电容式传感器是基于mems工艺制作出的电容极板,mems传感器依据外界环境变化转换为电容变化,从而实现传感器的电信号转换。目前...
  • 一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器与流程
    本发明涉及半导体加工,特别涉及一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。碳化硅是一种有着优越性能的第三代半导体,它的优势主要有:宽带隙、高热导率、高饱和漂移速率、高临界电场强度等,除了这些有益的电学性能,碳化硅还具有极佳的化学稳定性及耐高温、耐腐蚀等特性。以上特...
  • 引入牺牲层的阳极氧化铝薄膜牢固金属纳米颗粒的方法与流程
    本发明涉及微纳米制造,特别涉及一种通过引入牺牲层的阳极氧化铝薄膜形成牢固金属纳米颗粒的方法。近年来,半导体技术,特别是微纳加工技术的迅速发展,推进了其在各个领域的应用,其中,纳米结构的制备方法成为研究热点。阳极氧化铝模板(aao,anodicaluminumoxide)是一种具有纳...
  • 一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法与流程
    :本发明涉及一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法,可用于微纳制造,光学领域,电学,生物领域,mems领域,nems领域。技术背景:微纳制造技术是衡量一个国家制造水平的重要标志,对提高人们的生活水平,促进产业发展与经济增长,保障国防安全等方法发挥着重要作用,微纳制造技术是微传感器、微执行器...
  • 弹性体PDMS多级褶皱表面的快速制备方法与流程
    本发明涉及一种聚合物微结构的加工方法,尤其是一种操作简单、成本低廉、可有效提高生产效率的的弹性体pdms多级褶皱表面的快速制备方法。表面褶皱由于其独特的结构在微流控、微印刷、柔性电子器件、构造超疏水表面、测量材料的力学参数、表面增强拉曼和荧光信号强度等领域有重要的应用价值。产生表面褶皱的机...
  • 微机械惯性传感器的制作方法
    本发明涉及一种微机械惯性传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械惯性传感器的方法。用于测量加速度和转速的微机械惯性传感器针对汽车和消费领域中的不同应用批量制造。对于具有垂直于晶片平面(即沿z方向)的探测方向的电容式加速度传感器优选使用跷板结构。该跷板的传感器原理基于弹簧质量系统,在该弹簧质量...
  • 一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法与流程
    本发明涉及微纳米尺度槽道,更具体地说,本发明涉及一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法。天然气也同原油一样埋藏在地下封闭的地质构造之中,有些和原油储藏在同一层位,有些单独存在。对于和原油储藏在同一层位的天然气,会伴随原油一起开采出来。对于只有单相气存在的,我们称之为气藏,其开采方...
  • 一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽结构及设备的制作方法
    本实用新型涉及微电子机械和铸造,尤其涉及一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽结构及设备。在微制造加工领域,特别是mems领域,需要涉及到对基片上的微腔进行金属填充。这些基片可以是硅片,玻璃片或者陶瓷片等。这些微腔可以是不同的形状,可以是穿透基片的,也可以是盲孔形的。对微腔的金属...
  • 扒料工装的制作方法
    本实用新型涉及卸料工装,具体涉及一种用于电子产品的扒料工装。mems(micro-electro-mechanicalsystem),微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。uv膜是将特殊配方涂料涂布于pet、p0、pvc、eva薄膜...
  • 包括离子阱的封装及其制造方法与流程
    关于联邦资助研究的声明本发明是在美国政府支持下在由陆军研究办公室授予的第w911nf-10-1-0231号联邦资助下完成的。政府拥有本发明的某些权利。相关申请案的交叉参考本申请案主张于2017年7月18日申请的标题为“用于俘获离子系统的紧凑型uhv封装及其制造及使用方法(compactuhvpac...
  • 一种大面积金属氧化物纳米阵列的剥离转移方法与流程
    本发明涉及一种大面积金属氧化物纳米阵列的剥离转移方法,属于纳米光电器件的制作领域。金属氧化物的纳米棒、纳米片等纳米结构在基底材料上垂直、均匀、有序地排列,形成金属氧化物纳米阵列,它们在太阳能电池、气体传感器、光催化等各个领域表现出优异的性能。金属氧化物纳米阵列在各种基底材料上的制备工艺已经...
  • 一种制备半导体性碳纳米管阵列薄膜的方法与流程
    本发明涉及一种制备半导体性碳纳米管阵列薄膜的方法,属于碳纳米管电子学领域。半导体性碳纳米管(swnts)具有优异的电学、热学和力学性能,兼容传统半导体工艺和新型印刷电子工艺,在未来电子学领域具有广阔的应用前景。半导体性碳纳米管阵列薄膜可用作电子元器件的沟道材料,不仅消除了金属性碳管对于开关...
  • 交流电浸润效应致微通道沸腾换热强化和流动不稳定性抑制方法与流程
    本发明涉及两相流动换热,特别涉及用于微通道沸腾换热强化和流动不稳定性抑制的方法。随着微电子机械系统(mems)和微全分析系统(μtas)的迅速发展,微换热器、微化学反应器和微流控芯片技术等微流体系统相继涌现,在微电子、化学工程、生物化学分析等学科领域和电子器件温度控制、航空航天、移...
  • 使用纳米喷射微结构对电介质材料层的无粘合剂粘合的制作方法
    1.本公开涉及一种用于将两个材料层粘合在一起的方法,该方法无粘合剂。对于需要将具有必须保持无污染物的一些表面区域的材料层焊接在一起的应用,是特别感兴趣的,尽管本公开不限于这种应用。2.本部分旨在向读者介绍可能与下面描述和/或要求保护的本发明的各个方面相关的技术的各个方面。相信该讨论...
  • MEMS振动元件的制造方法及MEMS振动元件与流程
    本发明涉及mems振动元件的制造方法及mems振动元件。作为从环境振动获取能量的能量收集技术之一,公知使用mems(microelectromechanicalsystems)振动元件亦即振动发电元件从环境振动中进行发电的方法(例如参照专利文献1)。环境振动包括各种频带,但为了有效地进行振...
  • MEMS振动元件、MEMS振动元件的制造方法及振动发电元件与流程
    本发明涉及mems振动元件、mems振动元件的制造方法及振动发电元件。作为从环境振动获取能量的能量收集技术之一,公知使用mems(microelectromechanicalsystems)振动元件亦即振动发电元件来根据环境振动进行发电的方法(例如参照专利文献1)。环境振动包括各种频带,但...
  • 一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法与流程
    本发明属于模具,具体是用于制备纳米层状复合材料的模具,尤其是用于制备层厚低于100μm的纳米层状复合材料。层状复合材料因其较优异的力学性能而被广泛应用于医疗器械、电子行业和航空航天等领域。但随着这些行业的快速发展,对于层状复合材料的强度、结合力以及韧性等方面提出了更高的要求。目前,...
  • 降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件与流程
    本发明涉及芯片封装,具体涉及一种降低mems惯性器件封装应力的方法及mems器件。mems(micro-electro-mechanicsystem)惯性器件一般采用掩膜、光刻、腐蚀、刻蚀、淀积、键合等微加工工艺制造微结构,可实现物理量敏感、力/力矩输出等多种功能,但由于微结构的尺...
  • MEMS样品纵向截面的制备方法及形貌观察方法与流程
    本发明涉及利用mems(micro-electro-mechanicalsystem,微机电系统)产品,特别是涉及一种mems样品纵向截面的制备方法,以及一种mems样品纵向截面的形貌观察方法。利用mems技术制备的mems样品,需要对各个工艺步骤形成的结构进行形貌监控,一般是通过...
  • 一种凹槽复合多凸起结构及其制备工艺的制作方法
    本发明涉及表面增强拉曼效应(surface-enhancedramanspectroscopy,sers)的衬底材料领域,具体涉及一种凹槽复合多凸起结构及其制备工艺。sers活性衬底通常是在基板上制备成若干的凸起的微结构,如cn104931480a中公开的一种sers基底及其制备方法中,其...
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