微观装置的制造及其处理技术
  • 一种同轴MEMS微镜及其制备方法与流程
    本发明涉及激光雷达探测,特别涉及一种同轴MEMS微镜及其制备方法。MEMS(微机电系统,Micro-Electro-MechanicalSystem)的内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、...
  • 一种电阻可调的互联硅通孔的新型制作方法与流程
    本发明涉及一种互联硅通孔的制作方法领域,特别是一种一种电阻可调的互联硅通孔的新型制作方法。基于MEMS技术,可以在硅技术封装领域开发出新的信号互联方式。这种方式不仅可以用在微电子领域,而且还可以用在机械、声学、流体、光电子、生物医学等领域。由于压力传感器、加速度计和陀螺仪、投射式微镜、喷墨...
  • 一种基于柔顺机构的二维常力微定位平台的制作方法
    本发明涉及一种基于柔顺机构的二维常力平台,属于精密微操作领域,主要应用于超精密加工,精密工程,微机电系统(MEMS)、微电子工程,生物工程(细胞注射)等高尖端科学。基于柔顺机构的微定位平台技术是利用柔性铰链代替传统的刚性连接零件从而实现零件的运动与定位,具有无摩擦磨损、冲击小、结构...
  • 一种能够实现超声波传感的电子设备的制作方法
    本实用新型专利涉及超声波传感领域。传统的超声波传感器是由基于压电陶瓷的单体超声波传感器组装,这种方案无法实现高密度点阵的超声波传感器,高密度点阵超声波传感器可通过mems工艺制造,但成本过高,高密度点阵超声波传感器还可基于TFT工艺,可用于指纹采集,在玻璃基板上的TFT(薄膜晶体管)阵列上...
  • 一种能够实现超声波传感的电子设备的制作方法
    本实用新型专利涉及超声波传感领域。传统的超声波传感器是由基于压电陶瓷的单体超声波传感器组装,这种方案无法实现高密度点阵的超声波传感器,高密度点阵超声波传感器可通过mems工艺制造,但成本过高,高密度点阵超声波传感器还可基于TFT工艺,可用于指纹采集,在玻璃基板上的TFT(薄膜晶体管)阵列上...
  • 硅纳米线及其制备方法、硅纳米线的图形化制备方法与流程
    本发明涉及纳米材料,尤其涉及一种硅纳米线及其制备方法、硅纳米线的图形化制备方法。纳米材料受到极大的关注,主要是由于其特殊的物理性质。因为当材料的尺寸减小至纳米级别的时候,小尺寸效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应、库仑阻塞效应、表面效应等块体材料并不具备的特殊物理性质便会表现出来。...
  • 一种MEMS晶圆切割方法与流程
    本发明涉及微机电系统,特别是涉及一种MEMS晶圆切割方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)是一种基于微电子技术和微加工技术而产生的一种高科技领域。MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单...
  • 一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基与流程
    本发明涉及半导体领域,特别是一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基。表面等离子金属纳米颗粒在传感、光伏、显影和生物医疗等领域有着巨大的潜力。这其中具有纳米空隙的海绵状金(纳米孔金)材料因为其独特的三维双连续纳米结构而获得了广泛的关注。然而,纳米孔金块和纳米孔金膜均有着属性不可调,表面...
  • 微米级玻璃刻蚀模型的封装方法及设备与流程
    本发明涉及油田开发,具体涉及一种微米级玻璃刻蚀模型的封装方法及设备。在油藏物理模拟实验中,玻璃刻蚀模型是被普遍采用的一种研究模型。通常是在玻璃片表面刻蚀规则或者仿真的通道及孔隙,并对片状的玻璃刻蚀模型进行封装处理,并在封装后观察流体在其中的流动现象。其在渗流机理、流体作用机理和流固...
  • 传感器封装结构及方法与流程
    本发明涉及传感器封装,特别涉及一种传感器封装结构及方法。压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems;MEMS)传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的...
  • MEMS器件及其形成方法与流程
    本发明涉及半导体,特别涉及一种MEMS器件及其形成方法。麦克风是一种能把声音的能量转化为电能的传感器件,微电子机械系统工艺(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)的电容式MEMS麦克风,其原理是通过声压引起振动膜的振动,使电容发生改变进而引起电压...
  • 一种量子传输型高性能薄膜感知材料及其制备方法与流程
    本发明涉及新材料,具体为一种量子传输型高性能薄膜感知材料的制备方法。基于纳米效应的薄膜感知材料正受到研究界和产业界的日益重视,纳米材料具有独特的性质,可以作为性能优异的敏感材料,从而开发出性能比现有薄膜感知材料更为优异的新一代薄膜感知材料,目前,美国、欧盟和日本相继将传感技术列为2...
  • 一种类扇出多器件混合集成柔性微系统及其制备方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,具体来讲涉及一种多器件混合集成柔性微系统及其制备方法。扇出型封装技术是基于晶圆重构技术,将芯片重新布置到一块人工晶圆上进行封装的圆片级封装技术。该方法可以完成更小更薄的封装,实现多器件的混合集成,而且可以通过批次加工提高效率、降低成本。该方法在便携式电子产品芯片的...
  • 一种多孔石墨烯心音检测传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及生理信号检测传感器领域,特别是涉及一种多孔石墨烯心音检测传感器及其制作方法。随着全球经济水平的提高和居民饮食习惯的改变,多种心血管疾病的发病率也逐渐攀升,成为威胁全球人民生命健康的主要疾病之一。心血管疾病的诊断,主要是利用心血管功能参数来实现。临床进行心血管功能测量,为保证测量精...
  • 一种纳米阵列复合材料的制备方法与流程
    本发明属于微纳尺度器件,尤其涉及一种纳米阵列复合材料的制备方法。二维材料具有极薄的原子级厚度,优异的光学、电学性能,以及丰富的光电特性,在电子器件,光电器件,柔性器件等领域有着广泛的应用前景。近年来,人们开始尝试将等离子体纳米阵列制作在二维材料之上,形成等离子体纳米阵列/二维材料结...
  • 一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用与流程
    本发明属于纳米材料制备领域,具体涉及一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用。随着生命科学的迅速发展,人们对生命现象的研究已经深入到单分子、单细胞水平。为此需要具有检测灵敏度达到了单分子水平的分析手段与该发展相适应。在众多的单分子检测技术中,基于库尔特计数器原理的...
  • 3D管道形成方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,尤其是涉及一种3D管道形成方法。在半导体制造产业中,集成电路工艺流程的下一步是在晶体管以及其它钛硅化无接触之间布置金属连接线,一般采用局部互连的方法,形成局部互连的步骤与形成浅沟槽隔离的步骤一样复杂,工艺首先要求淀积一层介质薄膜,接下来是化学机械抛光、刻印、刻蚀和...
  • 基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法与流程
    本发明涉及MEMS技术制备的医疗器械领域,具体是一种基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法。目前,聚合物已经成为一种MEMS广泛应用的加工材料。根据其表现良好的生物相容性、柔韧性和延展性等特点,该材料在新型生物微机电传感器领域具有十分理想的应用前景。根据材...
  • 一种单片集成空间磁矢量传感器及其制作工艺的制作方法
    本发明涉及传感器,尤其涉及空间磁矢量传感器,特别地,涉及一种单片集成空间磁矢量传感器及其制作工艺。随着磁场传感器技术的快速发展,高灵敏度、高准确度和低交叉干扰的空间磁场传感器在地磁导航、电子罗盘、汽车电子、移动通讯等领域具有重要应用。由于空间三维磁场的多方向性,在现有技术中进行空间...
  • 微机电系统芯片晶圆及系统封装方法、以及微机电系统与流程
    本发明涉及微机电相关,特别是一种微机电系统芯片晶圆及系统封装方法、以及微机电系统。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)芯片是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成芯片、接口、通信等于一体的...
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