微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明属于图形化衬底制备,具体涉及一种无需光刻技术制备图形化硅衬底的方法。图形化衬底是制备纳米线、纳米管和纳米棒等纳米结构的必备条件,其工艺过程常通过在衬底上做一层掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,随后用刻蚀技术在衬底上形成图形。这一工艺过程的核心是光刻工艺,直接决定着纳米结构...
  • 本发明涉及微纳马达,尤其是涉及一种多级微纳马达的制备方法。微纳马达是一种能被多种能量(化学能、光能、声能、电能、磁能等)激活而发生运动(旋转、穿梭、聚集、扩散等),且尺寸为微米或纳米级的微观器件。微纳马达的研究热潮逐渐渗透到化学、物理学、生物学、环境学、摩擦学、流体力学等多个学科,...
  • 本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件的制作方法。在电子消费领域,多功能设备越来越受到消费者的喜爱,相比于功能简单的设备,多功能设备制作过程将更加复杂,比如需要在电路版上集成多个不同功能的芯片,因而出现了3D集成电路(integratedcircuit,IC)技术。其中,...
  • 本发明属于微机电系统MEMS,具体涉及一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法。微机电系统MEMS是集微机械与微电子功能于一体的微型机电器件或系统,基于MEMS技术的器件(如MEMS传感器、驱动器)体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点而广泛应用,尤其...
  • 本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及其制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规...
  • 本申请涉及细微加工领域,具体而言,涉及一种封闭结构、其制作方法与器件。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,基于微流道散热器、微流道生物芯片、微流控等技术及器件的应用也越来越广泛。为了将微槽道内填充的流动介质封闭在微槽道内,则需要一定的封闭方案和技术来实现。传统的封闭一般采用真空钎焊、扩散...
  • 本发明涉及半导体领域,具体地,本发明涉及一种MEMS器件及其制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是...
  • 本发明属于硅藻土材料,具体涉及一种纳米级硅藻壳颗粒单层阵列及其制备方法。硅藻是一种单细胞的藻类,其个体很小,一般为微米级或者毫米级,硅藻死亡后的残骸在海洋或者湖泊中沉积,形成硅藻土。硅藻土的主要成分是二氧化硅,还含有少量的铝、铁、钙、镁、钠、钾和磷等,硅藻土具有多孔性,密度小,比表...
  • 本公开涉及银纳米粒子墨水组合物及其用途。更具体地,本公开涉及包括涂布在塑料衬底上的银纳米粒子墨水的电子部件和增强对其粘附力的方法。背景本章节中的说明仅提供与本公开相关的背景信息,并且可以不构成现有技术。导电墨水正越来越多地用于形成在多种2-D和3-D电子应用中的印刷元件,如天线或传感器。然而,导电...
  • 消费电子设备正逐渐变得越来越小,并且随着技术的进步,获得了越来越多的性能和功能。这在消费电子产品且尤其但不排他地便携式产品所使用的技术中是很明显的,所述便携式产品诸如是移动电话、音频播放器、视频播放器、PDA、可穿戴设备、移动计算平台,诸如膝上型计算机或平板电脑和/或游戏设备,或者在物联网...
  • 本发明涉及用于制造一种计时部件和/或一套计时部件的方法以及根据所述方法获得的计时部件。更具体地,本发明涉及一种制造复合式计时部件的方法,该复合式计时部件具有两部分,即,由诸如硅的第一材料获得的第一部分,以及由诸如金属的第二材料获得的第二部分。在钟表制造领域中,众所周知的是例如通过硅来制造诸...
  • 本专利申请要求先前于2015年9月30日递交的名称为“用于操作MEMS装置的结构参数的MEMS网格”、申请号为14/872,123的美国专利申请的优先权。该专利申请的全部内容通过引用并入本文中。所公开的技术一般涉及一种半导体装置制造,并且更具体地,一些实施方式涉及一种微机电系统(MEMS)...
  • 本专利申请要求于2016年2月1日递交的、名称为“MEMS致动器组结构”、顺序No.15/012,682的美国实用新型专利申请的权益,该专利申请要求于2015年11月5日递交的、名称为“MEMS致动器结构”、顺序No.62/251,538,的美国临时申请的权益。每个申请的内容通过引用以其整体并入本...
  • 本发明涉及一种用于二维地偏转激光射束的设备,该设备具有:具有衬底开口的衬底;设置在衬底上的弹簧膜片,该弹簧膜片具有延伸到衬底开口中的弹簧臂以及布置在衬底开口中的由弹簧臂承载的中央区段,该中央区段能够二维地倾斜并且能够在弹簧膜片中央轴线的两个方向上轴向滑动地支承;固定在弹簧膜片的中央区段上的镜;用于...
  • 本发明属于微纳操作,具体涉及一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案。纳米操作是在纳观尺度上通过施加外部场能使微纳器件按照人的意愿进行移动、定位、拾取/释放、整形等操纵以及装配与封装等作业,实现对整个微观世界的有效控制,是微/纳制造科学与技术研究的重要内容之一,是国际机器人学和纳...
  • 本发明涉及微光学器件、微流体器件和半导体元件加工,更具体地说,尤其涉及一种微透镜阵列的加工方法。微透镜阵列作为微光机电系统中的一种常用光学元件,近年来得到了快速的发展和广泛的应用,其在成像、传感、准直、匀光和光钎耦合等领域具有重要的地位。由于在不同领域中,微透镜阵列的参数也不相同,...
  • 本发明涉及的是一种微机电系统领域的技术,具体是一种硅微通道板中生长异质结的方法。不同二维材料构成异质结构不仅继承了二维材料高比表面积等特点,同时具有独特的物理性质和化学性质。近几年,石墨烯与二维硫化物构成的范德瓦尔斯异质结构成为研究人员研究的热点,主要结构包括横向异质结构和纵向异质结构,其...
  • 本发明属于无机纳米材料领域,尤其是针对一种超长正交相三氧化钼纳米线在微电极上的高效有序排列形成阵列的操控方法及其离子检测器的制作方法。介电泳技术是一种新型的有效的操控小分子以及纳米材料的技术,这种技术已由传统的电泳技术成功改进为介电泳技术,相比之下介电泳技术对粒子的收集与分离等方面具...
  • 本发明属于微机电系统(MEMS)微加工,涉及一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法。技术背景MEMS继电器因其体积小、功耗低、断态漏电流小以及接触电阻小等优点,被广泛用于通讯和集成电路等领域。目前,大多数MEMS继电器的基底材料是硅,可动结构(例如悬臂梁、弹簧等)的材料也通...
  • 本发明涉及MEMS器件,更具体地,涉及MEMS微硅麦克风结构及其制造方法。近年来MEMS微硅麦克风得到了迅速发展,并在智能手机、笔记本电脑、蓝牙耳机、智能音箱等消费电子产品中得到广泛应用。MEMS微硅麦克风主要包含了一个MEMS芯片和IC芯片,通过MEMS芯片将声音信号转换成电信号...
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