微观装置的制造及其处理技术
  • 一种微机电加速度计及其制备方法与流程
    本发明属于精密测量物理,更具体地,涉及一种微机电加速度计及其制备方法。微机电系统(MicroelectromechanicalSystem,MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,最早的微机电器件可追朔至1966年。近年来,由于重力辅助导航、地球物理勘探等技术...
  • 本发明属于纳米材料,具体涉及一种核壳结构纳米线的高效制备方法。近年来,各种各样的纳米材料吸引着人们的关注,其中一维纳米材料一直是研究热点之一。一维纳米材料是一种具有较大长宽比的材料,分为无机和有机材料两种。无机材料有金纳米棒、银纳米线等,在光热、导电等领域有着重要作用。在一维有机纳...
  • 本发明涉及一种高深宽比高保形纳米级负型结构的制备方法,可用于光学领域、生物领域。:基于表面等离激元共振的高深宽比高保形纳米级负型结构阵列在光学领域的超透射、化学生物领域的DNA检测、分子过滤等有着广泛的应用前景。传统的纳米级负型结构的制备主要有三种方法:一是在负型光刻胶上曝光显影制备柱状纳...
  • 用于量子信息处理的振荡器状态操纵的技术和相关系统及方法与流程
    本申请根据35U.S.C.§119(e)要求于2015年7月24日提交的题为“EfficientControlandMeasurementofaCavity-EncodedQubitRegisterMediatedbyaNon-LinearAncillaSystem”的...
  • 粉末状材料的固化的半被动控制的制作方法
    本国际专利申请要求于2015年7月15日提交的美国临时专利申请号62/192,568和2016年7月14日提交的美国专利申请号15/209,903的优先权,将其中每一个特此通过引用结合在此。本发明整体涉及粉末状材料、含有此类粉末状材料的物体以及它们的制造和使用方法。金属的粉末加工包...
  • 用于微电子介质传感器装置的制造方法以及微电子介质传感器装置与流程
    本发明涉及一种用于微电子结构元件装置的制造方法以及相应的微电子结构元件装置。微电子结构元件装置(尤其是介质传感器)包括具有开口的包装,其中,通过包装的开口能够实现从周围环境气氛触及介质传感器的测量元件。介质传感器借助背向包装或外壳的面粘合或布置到载体上。为了保护测量元件在所述包装的分离过程...
  • MEMS设备及其制造方法与流程
    本发明涉及MEMS设备及其制造方法。近年来,使用将机械要素部件、传感器、驱动器、电子电路集成在一个硅基板、玻璃基板、有机材料等上的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems:微机电系统)技术而制造的设备正在普及。在MEMS设备技术中,在载置有形成多层结构的半...
  • 具有容差沟槽的加固的晶圆级MEMS力传感器的制作方法
    本申请要求2015年6月10日提交的名称为“RUGGEDIZEDWAFERLEVELMEMSFORCESENSORWITHATOLERANCETRENCH”(具有容差沟槽的加固的晶圆级MEMS力传感器)的美国临时专利申请62/173,420的权益,该临时专利申请的公开内容明确地全...
  • 制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件与流程
    本发明涉及微制造,具体地,涉及制备柔性电化学器件的方法、柔性电化学器件。目前,柔性电化学器件因体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点被广泛应用于电子、医学、汽车和航空航天系统。例如,基于利用微细驻留气泡制备的柔性MEMS(MicroElectromechanicalS...
  • 用于MEMS开关器件的保护方案的制作方法
    本发明通常涉及但不限于集成微机电开关器件和其耦合的保护电路。电气瞬变可能会损坏电子电路。可以相对于静电放电(ESD)事件诱发这种瞬变,其中结合的电荷可以产生相对于参考电位的显着电位,例如超过1千伏特(kV)。存储的电荷可以通过例如摩擦电效应(例如接触电气化)相对于未接地的人员或设备而累积,...
  • 本发明属于贵金属纳米颗粒的,具体涉及一种有序贵金属纳米颗粒阵列的颗粒间距控制方法。:在催化、光学、电子以及能量转化储存等领域,有序的贵金属纳米颗粒阵列拥有重要的应用价值与广泛的应用前景。一方面,贵金属纳米颗粒本身具有优异的氧化还原催化性能、感光能力、电导能力以及化学稳定性,在涉及光...
  • 本发明涉及原子钟,具体涉及一种芯片原子钟的MEMS原子腔的制作方法。芯片原子钟是一种精密时间计量仪器,由于其体积小、重量轻、功率消耗小、启动速度快等优点,可广泛应用于定位、导航、通信、军事等多个领域。芯片原子钟的物理系统微型化设计采用微机电加工(MEMS)工艺,将物理系统的微型原子...
  • 用于微机械窗结构的制造方法和相应的微机械窗结构与流程
    本发明涉及一种用于微机械窗结构的制造方法和一种相应的微机械窗结构。为了保护具有微机电(MEMS)构件的晶片免受物理或化学损坏,例如将保护晶片安装到具有MEMS构件的晶片上,例如通过阳极键合。为了保护光学元件、例如微镜,为此设置具有窗的保护晶片。在此,窗覆盖有光学透明层。由DE10201...
  • 传感器的制造方法及由此方法制造的传感器与流程
    本发明涉及一种制造方法,具体地,涉及一种传感器的制造方法及由此方法制造的传感器,尤其涉及一种气敏器件的制造方法及由此方法制造的气体传感器。环境的质量与人们的生活和工作舒适度,健康息息相关。近几年来,随着人们对环境的要求越来越高,人们希望能有简单可靠,价格便宜的方法和产品检测环境空气的质量,...
  • 一种压阻式MEMS温度传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及一种传感器,尤其涉及一种压阻式MEMS温度传感器及其制作方法。开关柜结构紧凑,空间环境复杂,存在高电压、高温度、强磁场及极强的电磁干扰环境,一般的温度传感器很难精确的测量到精确位置的温度。市面上已有的测温技术如红外测温技术,属于非接触式测温方式,基于黑体辐射定律的原理,任何高于绝...
  • 纳米结构材料结构和方法与流程
    在一个方面,我们现在提供一种包含光子晶体的结构,所述光子晶体包含介电层,所述介电层在其中包含一种或多种发光纳米结构材料。在另一方面,提供包含介电层的结构,所述介电层在所述介电层内的不同深度处包含第一和第二组发光纳米结构材料。对住宅、工作场所和消费型产品中使用的照明和显示技术,存在宽范围的专...
  • 本实用新型涉及一种微纳器件的加工装置,具体涉及一种微纳米材料转移加工装置。近年来,随着各种新型微纳材料的发现,比如石墨烯、二硫化钼等,基于微纳材料的各种新型器件也随之产生。现阶段,利用传统的微纳加工方法,已经能够很好地做出基于单一微纳材料的各型器件。但是,除了基于单一微纳材料的器件外,将两...
  • 本发明涉及微机电系统领域,特别是涉及一种MEMS芯片的制作方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)是一种基于微电子技术和微加工技术而产生的一种高科技领域。MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单元...
  • 一种原子级器件大规模加工集成方法与流程
    本发明涉及微电子工艺,具体涉及一种原子级器件的加工方法。从上个世纪70年代至今,摩尔定律主导着微电子工业界,从微米特征尺寸逐渐达到5纳米。在这一过程中,随着特征尺寸的减小,器件运行速度越来越快,造成了人类社会最显著的技术进步和幸福体验。其中起到关键性因素的是光刻微加工工艺。在这一工...
  • 应变计制造的方法和系统与流程
    通常要求硅应变计不超过25微米厚。要求这些应变计这样薄实现它们功能所需的弯折。这样,在应变计制造期间,处理、削薄、切割以及操纵基底已被证明困难、昂贵且费时。因此,期望能够制造应变计,而无需削薄和切割基底,且同时还允许完工应变计的易于操纵。发明内容这里提出应变计制造的方法。该方法包括:提供第一基底,...
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