微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及一种适用于制备石墨烯或类石墨烯等二维材料的机械剥离设备,属于二维材料制备。2004年,英国曼彻斯特大学的科学家安德烈·海姆(AndreGeim)和康斯坦丁·诺沃肖洛夫(KonstantinNovoselov)发现了二维碳材料石墨烯,开启了二维材料研究的大门。石墨烯和类...
  • 本发明涉及集成电路制造,特别是涉及一种硅针阵列的制备方法。目前,基于微电子机械系统(MEMS)的微针技术研究是当前生物研究领域的热点。MEMS微针是直径为几十微米、长度在100μm以上的针状结构。微针制作的材料主要包含硅、金属和聚合物,其中硅针制作已具备一定的成熟度。随着科技的发展...
  • 示例涉及用于膜构件的制造技术,更具体地涉及膜构件和形成膜构件的方法。制造膜构件(例如麦克风,压力传感器或加速度传感器)通常包括多个成本高昂的工艺步骤。可以期望提供具有长寿命的成本低廉的膜构件。发明内容具有更长的使用寿命和/或改善的电特性的膜构件可能需要成本更低的方案。能够通过本发明的主题覆...
  • 本发明涉及一种微型压力传感器,尤其是一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法,用于测量液体环境压力,属于可植入医疗器械领域。根据微创介入式治疗目前的发展,手术中使用)的压力传感器一般载体为导丝或是导管,现在冠状动脉压力测量中使用的压力导丝直径为360μm,其上搭载的压力传感器尺寸...
  • 本发明要求2010年10月18日提交的美国临时申请第61/394259号的权益,该临时申请通过参考全文结合于此。关于联邦资助研究开发所涉及发明权利的声明本发明在美国国家卫生署(NationalInstitutesofHealth)授予的准许号为R21CA147831和R01NS062725的...
  • 本发明涉及二氧化硅包覆金属纳米颗粒核壳的制备及改性方法,特别涉及LSPR辅助可兼顾不同量子点能量传递结构及其制备方法。表面等离子激元控制能量传递现象,在许多领域有着广泛的应用。比如:在能源方面,目前国际上化石等矿物能源依旧是主流。尽管各类可再生能源有了很大的进展。但是能源利用效率一直可再生...
  • 本发明涉及一种非密排有序聚苯乙烯纳米球模板的制备方法,属于纳米材料制备。实现对纳米材料的可控制备是人们一直努力的方向,而有序纳米结构的出现推动了其发展。因此对有序纳米结构的研究已经成为纳米材料合成研究的主导领域和热门方向,是推动纳米材料走向应用的关键。有序纳米结构的制备需要有相应的...
  • 本公开涉及一种包括体积减少的压电致动器的MEMS设备。众所周知,目前有许多MEMS设备可用,每个MEMS设备均包含一个或多个压电致动器。例如,代表本申请人于2016年11月23日提交的、与美国申请序列号15/601,623相对应的意大利专利申请号102016000118584描述了一种微流...
  • 本发明涉及一种转换元件。此外,本发明涉及一种光电子器件,所述光电子器件尤其包括转换元件。此外,本发明包括一种用于制造转换元件的方法。通常,转换元件具有转换材料,例如量子点。转换材料将由辐射源发射的辐射转换为具有改变的、例如更长的波长的辐射。转换材料通常分散到基于聚合物的基体材料中,以便得到...
  • 本发明涉及一种根据权利要求1前序部分所述的方法。由WO2015/120939A1已知这种方法。如果期望在微机械结构元件的空穴中有确定的内压,或者在空穴中应包含具有确定的化学组分的气体混合物,则通常在封装微机械结构元件时或者在衬底晶片与罩晶片之间的键合过程中设定内压或化学组分。在封装时例...
  • 本发明涉及一种根据权利要求1前序部分所述的方法。由WO2015/120939A1已知这类方法。如果期望在微机械结构元件的空穴中有确定的内压,或在空穴中应包含具有确定的化学组分的气体混合物,那么通常在封装微机械结构元件时或在衬底晶片与罩晶片之间的键合过程中设定内压或化学组分。在封装时例如...
  • 高精度流体推动装置尤其包括芯片实验室、打印头和数字滴定设备。流体推动装置可以包括适于使流体移动通过小(例如微米尺寸的)流体通道的MEMS。此MEMS可以包括硅衬底和沉积在该衬底上的薄膜层电路系统。例如通过减小厚度、宽度和/或长度等来减少流体推动装置中的硅的量可能是有利的。减小硅衬底的宽度和/或长度...
  • 本公开内容的实施例涉及微机电系统(MEMS)麦克风以及它们的构造方法。特别地,本公开内容的实施例涉及MEMS麦克风的膜的构造以及支撑所述膜的超程停止件(overtravelstop)。电容性MEMS麦克风利用压敏膜来测量声音压力级。该膜必须具有足够的机械强度以便在不被损坏的情况下承受各种...
  • 本发明属于微纳结构制备领域,涉及一种基于PS小球为掩模的聚酰亚胺纳米结构制备的方法。聚酰亚胺是目前已经实现工业化的特殊高分子材料,由于具有优越的物理机械综合性能、优良的电气与化学稳定性,可以制成薄膜、涂料、复合材料、泡沫塑料、纤维、分离膜等,倍受研究者的青睐,广泛应用在航天、航空和微电子领...
  • 本发明属于MEMS传感器封装,尤其涉及一种吊装式可释放应力的MEMS器件封装结构。MEMS(微机电系统)传感器目前已被广泛应用于消费类电子、汽车电子、物联网、国防工业以及众多工业类产品,随着技术的发展,对MEMS传感器的性能也提出了越来越高的要求。而外界应力和温度对MEMS传感器性...
  • 实施例涉及微机电系统(MEMS)电路和用于重构干扰参量的方法。随着例如以微机电系统(MEMS)形式的传感器和传感器系统的日益小型化,必须对例如基于温度变化的干扰影响参量给予更多的重视。设置在壳体中的MEMS或专用集成电路(ASIC)可能受到外部影响因素的影响。MEMS是将一个或多个逻辑元件...
  • 本发明属于微机电领域,更具体地,涉及一种晶圆级封装结构、制备方法及其吸气剂的激活方法。晶圆级封装(WaferLevelPackage,简称为WLP)就是在硅片上依照类似半导体前段的工艺,通过薄膜、光刻、电镀、干湿法蚀刻等工艺来完成封装和测试,最后进行切割,制造出单个封装成品的一种先进的...
  • 本发明涉及室温下太赫兹探测阵列成像,具体涉及一种超材料微桥结构及其制备方法。太赫兹(Terahertz,THz)波指频率介于0.1-10THz(波长3mm-30μm)的电磁辐射,其电磁波谱位于微波和红外波段之间。因此,太赫兹系统兼顾电子学和光学系统的优势。长期以来,由于缺乏有效的太...
  • 本发明涉及一种基于MEMS(微机电系统)技术的自清洁气动减阻微纳复合小肋结构。研究表明大型亚音速飞机、水面或水下航行器的黏性阻力占其总阻力的绝大部分,因此,如何降低这类航行器的黏性阻力是减阻的重要研究方向。实践证明通过边界层中层流和湍流混合控制技术减小黏性阻力具有较好的工程应用潜力。通过改...
  • 本发明涉及一种仿秦岭箭竹叶防冰雪多层不等高微纳结构,属于材料制备领域。冰雪威胁飞机飞行安全,严重时可导致飞机失控甚至坠毁。现有的机械、电热、气热等飞机防/除冰方法存在能耗大、负载大的不足。近年来国际上提出了仿生微纳结构表面防冰雪的新方法。研究人员发现,仿荷叶的超疏水表面(superhydr...
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