微观装置的制造及其处理技术
  • 一种MEMS器件形成方法,包括提供第一基底,所述第一基底内具有开口;在所述第一基底表面贴合第二基底;在贴合后的第二基底表面形成第一掩膜层,所述第一掩膜层具有吸附含碳的聚合物能力;在所述第一掩膜层表面形成光刻胶图案层;以光刻胶图案层为掩膜,刻蚀所述第一掩膜层,直至暴露出第二基底;去除光刻胶图案层;以...
  • 一种,包括提供第一衬底,所述第一衬底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;沿第一表面形成若干硅通孔和真空腔,其中所述硅通孔围绕所述真空腔,且所述硅通孔深度大于真空腔深度;在所述硅通孔内填入填充物形成切割标记;提供第二衬底,所述第二衬底表面具有振动晶体;将第一衬底与第二衬底键合,所述真空腔正对振动...
  • ,包括以下步骤将硝酸铈和硝酸镨溶解在去无水乙醇或蒸馏水中,混合均匀;将氢氧化钠溶解在去无水乙醇或蒸馏水中;将硝酸铈和硝酸镨的混合溶液快速倒入到氢氧化钠的乙醇或蒸馏水溶液中,并充分搅拌5-10分钟;将搅拌好的混合物转入水热反应釜中并密闭好;将水热反应釜放置在100℃的烘箱中反应24小时。将得到的悬浊...
  • ,6-二氟苯胺纳米结构的制备方法本发明涉及,6-二氟苯胺纳米结构的制备方法,包括以下步骤配料将2,6-二氟苯胺单体和模板剂加入去离子水中搅拌形成乳液,另取引发剂溶于另一盛有去离子水的烧杯中,再以两秒每滴的速度加入之前配制的乳液中,混合液颜色逐渐变蓝再变黑;恒温反应混合溶液室温下持续搅拌24~48小...
  • 本发明公开了一种在透射电镜中通过电子束诱导液相沉积(LP-EBID)制备SiCx多元素纳米材料的方法。将SiCl4在有机溶剂中的溶液作为液体前驱体装载到液体样品池内,然后,聚焦电子束轰击前驱体,前驱体分解,使得多元素SiCx纳米材料在Si3N4薄膜窗口上进行可控沉积。透射电镜具有很高的原位空间成像...
  • 本发明公开了一种具有场发射特性的碲纳米线阵列、其制备方法及应用,所述碲纳米线阵列具有尖锐端口,其场发射开启电场强度较低。所述制备方法是通过物理气相沉淀法,以碲为蒸发源,并在硅片上沉积碲纳米线得到所述碲纳米线阵列;所述制备方法具有实验设备和步骤简单,不涉及复杂化学反应,具有环境友好性等特点。本发明提...
  • ,涉及合成碳粒子溶液的方法,本发明是以乙二醇为溶剂,草酸铵和糖类或有机酸为碳源共热合成荧光碳纳米粒子,合成中使用了两种以上的碳源物质。首先将草酸铵和碳源原料研细、溶解于乙二醇中制成溶液,然后转移到反应釜中,置于恒温箱中加热,经反应生成碳纳米粒子溶液,所得溶液具有荧光性,该溶液即为荧光纳米碳粒子溶液...
  • 热退火工艺。提供了一种用于加工基材的方法,所述方法包括提供具有表面的基材;提供共聚物组合物,所述共聚物组合物包括聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分,其中聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg/mol;和,抗氧化剂,其中共聚物组合物包含>2wt%的抗氧...
  • 本发明属于能源纳米新功能材料,具体涉及一种掺氮石墨烯量子点及氧化石墨烯修饰碳纳米管对电极薄膜材料的制备方法和应用。将碳纳米管分散在水溶液中,采用氧化石墨烯作为表面活性剂,添加到碳纳米管溶液中,形成稳定均匀的碳纳米管分散溶液。将可见光-Fenton法制备掺氮石墨烯量子点添加到上述溶液中,均匀分散。将...
  • ,属于材料科学领域。本方法涉及到掩模遮蔽技术、物理气相沉积技术以及一些组装和刻蚀方面的技术。整个过程操作简便,过程低耗清洁,可控性高。通过控制微球的尺寸和掩蔽区域的大小,可以制备不同周期和开口大小的纳米火山型阵列。由于上下两个孔之间的特殊等离子体共振效应,可以产生具有简便调节方法的纯色显示性质。利...
  • 本发明公开了,该方法使用新型阳离子表面活性剂作为模板剂通过水热合成直接合成具有多级孔的纳米丝光沸石分子筛,其原料的摩尔组成为硅源∶模板剂∶碱源∶铝源∶水=1∶0.005~1.0∶0.3~0.7∶0.01~0.1∶30~200。本发明与现有技术相比最显著的优点在于使用新型阳离子表面活性剂作为单一结构...
  • 本发明提供一种,其包括以下步骤提供一基底;设置一金属层在所述基底的表面;设置一图形化的掩模层在所述金属层的表面,该图形化的掩模层包括多个凸部以及位于该多个凸部之间的多个凹部,所述金属层的部分表面通过所述多个凹部暴露出来;采用等离子体刻蚀所述金属层通过所述多个凹部暴露出来的部分表面,产生金属颗粒或金...
  • 一种超级电容器电极材料,其是一种结构为β-氢氧化钴,直径为2-10nm,长度为50-1000nm的β相氢氧化钴纳米线;其制备方法如下将钴盐溶解在水中或水-醇体系中,在钴盐溶液中加入表面活性剂,于40℃下搅拌30分钟,得到溶液A,将无机碱溶于水得到碱溶液B,将溶液B逐滴加到溶液A中,直到反应液pH为...
  • 本发明公开了一种,该包括以下步骤由增量光栅提供位置反馈信号,控制电机进行初级位置进给;切换位置反馈信号;采用绝对光栅的位置反馈信号进行闭环控制。本发明通过增量式光栅与绝对光栅的组合与切换控制,实现宏微运动平台高速运动下的高精度定位,解决了运动平台的大行程高速运动与高精度定位的矛盾,实现了宏微运动平...
  • 本发明公开了一种可见光还原银离子制备银纳米颗粒的方法,将可溶性银盐加入到5-100mg/L亚甲基兰溶液中,然后在太阳光或人造可见光照射下搅拌20-80小时,即可将银离子还原为纳米银,离心分离、干燥后,制备成银纳米颗粒。这种可见光还原银离子制备银纳米颗粒方法具有制备工艺简单,成本低等特点,制备的银纳...
  • 本发明属于半导体无机材料领域,具体地说,涉及的是,具体为称取PEG-6000溶解于蒸馏水中,每1ml蒸馏水加入0.75gPEG-6000,加热搅拌,直至完全溶解;将PEG-6000溶液与0.4M的锌盐溶液混合,于95℃水浴加热,加热的同时搅拌使之充分混合;量取4M的NaOH水溶液,快速加入到混合溶...
  • 本发明公开了一种用于稠油改质降粘用超分散催化剂的制备方法,按质量份数计,所需的原料为基础油150~200、表面活性剂5~15、过渡金属化合物1.5~2、助表面活性剂1~1.5;将上述所述原料在40~80℃温度下进行混合,控制在100~8000转/分搅拌5~300min后,控制超声频率在10~50K...
  • 本发明提供一种以竹叶为原料制备纳米二氧化硅的方法,该方法包括以下步骤将竹子脱落竹叶清洗和干燥;称取清洗和干燥后的竹叶置于盐酸溶液中煮沸;将盐酸煮沸处理后的竹叶清洗和干燥,在空气气氛下以0.5~30℃/min的升温速度升至200-1000℃退火处理0.5-10h,然后随炉冷却后得到白色纳米二氧化硅颗...
  • 本发明公开了,包括以下步骤竹粉过筛、前处理、球磨、分散、微波高压水热反应、离心、洗涤、烘干。本发明制得的竹原纤维纳米碳颗粒具有高比表面积、高孔体积、表面光滑、孔径小、高纯度等特性,表面具有更多的反应基团,反应活性高;制备方法简单,有利于规模化生产,具备显著的经济和社会效益。专利说明[0001]本发...
  • 本发明公开了,包括以下步骤竹粉过筛、前处理、球磨、分散、水热反应、离心、洗涤、烘干。本发明制得的竹原纤维纳米碳颗粒具有高比表面积、高孔体积、表面光滑、孔径小、高纯度等特性,表面具有更多的反应基团,反应活性高;制备方法简单,有利于规模化生产,具备显著的经济和社会效益。专利说明[0001]本发明属于纳...
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