微观装置的制造及其处理技术
  • 本实用新型属于微机电系统和集成电路封装,尤其涉及一种复合阳极键合装置。阳极键合技术在MEMS器件的制作、组装、封装等环节中具有重要的作用,是衔接多种硅加工工艺的核心技术,是实现三维空间上交差结构、多层结构等复杂MEMS结构的基本手段之一。在MEMS器件中,通常把实现玻璃和硅等固定连...
  • 本发明涉及MEMS声换能器、MEMS麦克风和用于提供MEMS声换能器的方法。诸如麦克风和/或扬声器的声换能器可以构造为微机电系统(MEMS)。为此可以使用半导体材料,这使得可以在基片上制造声换能器。这种声换能器可以具有可移动的电极和至少一个静态电极。可移动的电极可以被设计为相对于静态电...
  • 本发明涉及半导体,尤其涉及一种麦克风及其制造方法。相对传统麦克风而言,微机电系统(MEMS)麦克风的性能受温度、振动、湿度和时间的影响更小,性能更加稳定。例如,MEMS麦克风可承受约260℃的高温回流焊,而性能不会有明显变化。随着科技的发展与需求的不断增长,人们对MEMS麦克风的需...
  • 本发明涉及微纳加工领域,具体涉及一种基于聚对二甲苯(Parylene)的柔性微机电系统工艺(柔性MEMS工艺)制造的高性能柔性触力传感器及其制备方法。柔性触力传感器是一种用于检测接触力大小的柔性电子器件,是目前柔性电子技术的研究热点之一,在机器人、电子皮肤、可穿戴设备、柔性触屏、智能医疗等...
  • 本发明涉及一种平面纳米线三维坡面阵列生长方法,特别是通过对掩模层与衬底进行循环刻蚀形成坡面纳米引导台阶,从而实现高密度坡面平行纳米线阵列的方法。本发明提供了一种获得高密度三维纳米线沟道阵列的可靠方法,可广泛应用于半导体微纳电子器件,尤其针对大面积电子(平板显示TFT应用)、3D逻辑、柔性/可穿戴电...
  • 本发明涉及纳米多孔材料,具体地说是一种纳米多孔银负载多孔氧化银纳米片复合材料及其制备方法。:近年来,细菌、真菌等有害微生物的肆意传播已经严重威胁到人类健康。如何制备出一种具有良好抗菌性能的材料,成为人们越来越重视的问题。众所周知,Ag与Ag+因其卓越的杀菌、抑菌功能在抗菌材料领域占...
  • 本发明涉及一种微机械加工刀架,尤其涉及一种具有力伺服功能的微机械加工刀架。随着纳米技术的发展,特别是原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM)的发明,人们发现机械加工方法在纳米结构的加工中仍然具有不可估量的潜力。纳米机械加工是传统机械加工的延伸,这种方法中微纳米...
  • 本发明涉及纳米加工科技领域,特别是涉及一种高频交流电驱动的局域阳极氧化加工方法。目前常用的微纳米加工技术主要有电子束曝光(ElectronBeamLithography)、光学曝光(PhotonLithography)、扫描探针直写加工(ScanningProbeLithogra...
  • 本发明涉及能够应用于生物、化学实时液相监测的等离激元光谱分析和微纳米器件加工技术,具体地说,涉及一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法。光学异常透射是T.W.Ebbesen在1998年发现的(Nature391:667,1998)。在金属纳米孔阵的薄膜上,入射光与金属纳米结构发生等离...
  • 本发明涉及一种MEMS岛-梁-膜装置及其制备方法,属于传感器。MEMS传感器,如MEMS压力传感器,通常采用平模结构作为感应压力的敏感膜。平模结构的传统制作工艺为半导体微加工中的各向异性湿法腐蚀,即利用半导体材料,如单晶硅的不同晶向在碱溶液中具有不同的腐蚀速率来形成膜结构。该工艺的...
  • 本实用新型涉及一种压电型微机电致动器设备。如已知的,致动器是将一种类型的物理变量转换成不同类型的物理变量的设备,并且源自该转换的变量通常涉及某种形式的移动或机械动作。最近,已经提出了可以利用所谓的MEMS(微机电系统)半导体技术获得并且可以因此以非常受限的成本生产的微米和纳米尺寸致动器(也...
  • 本实用新型涉及一种具有改进灵敏度的压电型MEMS(微机电系统)传感器,如力传感器、压力传感器、变形传感器或麦克风。在下文中,将具体参考麦克风,而不失一般性。众所周知,微加工半导体器件的MEMS技术使得能够在半导体材料层内形成微机电结构,这些微机电结构在牺牲层(例如,多晶硅层)上沉积或生长(...
  • 本实用新型涉及半导体封装,尤其涉及一种压力传感器封装结构与方法。用于测量压力的传感器封装需要使用柔性胶体进行灌封保护,并能够进行压力传递,如用于测量脉搏的压力传感器,在传感器四周不做腔体支撑,由于柔性胶体硬度小,所以不能有效保持产品的形状对产品内部金线和芯片起到保护作用,如在传感器...
  • 本发明属于超疏水薄膜,特别涉及一种具有奇异微结构的超疏水薄膜及其制备方法。超疏水材料在自清洁、抗结冰、流体减阻力等方面有着广阔的应用前景,构筑超疏水表面主要考虑两个因素:一是材料具有低表面能,二是提高表面的粗糙度。现有的超疏水薄膜的制备方法主要有溶胶凝胶法、化学气相沉积法、刻蚀法,...
  • 本申请涉及微流控芯片,特别是涉及一种微流控芯片的微柱结构制作方法及微柱结构图案生成方法。微柱作为微流控芯片的一个结构单元,可通过软光刻、湿法刻蚀、激光刻蚀、数控技术等加工完成,实现支撑、过滤、混合、样品附着等功能。这些加工方法可制作一定深宽比尺寸的微柱阵列,这些微柱阵列多是一种统一...
  • 本发明属于微流控芯片加工领域,涉及一种通道内壁涂覆Parylene的微流控芯片制作方法。微流控芯片一般采用微机电系统(MEMS)加工技术制作,可以将执行不同功能的单元集成到一起,从而在一张芯片上实现样品制备、反应、分离、检测等一整套的常规化学和生物实验室的功能。微流控芯片具有低样品消耗、高...
  • 本发明涉及传感,尤其是一种新型表压传感器及其制作方法。微压传感器通常是指小于10Kpa量程的压力传感器。这类传感器要求灵敏度很高,即在很小压强作用下就要有很大的电信号输出。例如用作呼吸传感器时,就要把人体微弱的呼吸信号检测出来。为了达到这个目的,微压传感器中的核心部份,即弹性硅膜需...
  • 本申请要求2013年3月5日提交的美国临时申请号61/773,044的权益,该申请通过引用全文纳入本文用于所有目的。有关联邦资助的研究的声明本发明在国立卫生研究院(NationalInstitutesofHealth)的合同号GM085485和国家科学基金会(NationalScienc...
  • 本发明属于生物,具体涉及一种与循环肿瘤细胞尺寸匹配的微纳复合结构表面、制备方法及其在高效捕获循环肿瘤细胞中应用。恶性肿瘤是导致人类死亡的三大疾病之一,而其中90%以上的死亡是由转移性肿瘤引起的。肿瘤细胞或细胞团脱离原始的肿瘤位置,进入血液或淋巴液,进而扩散至其他器官,为肿瘤的转移提...
  • 本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及其制作方法。在电子消费领域,多功能设备越来越受到消费者的喜爱,相比于功能简单的设备,多功能设备制作过程将更加复杂,比如需要在电路版上集成多个不同功能的芯片,因而出现了3D集成电路(integratedcircuit,IC)技术。其中...
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