微观装置的制造及其处理技术
  • 一种并联压电三维微伺服平台的结构的制作方法
    本发明涉及一种微伺服平台结构,尤其涉及一种并联压电三维微伺服平台的结构。随着技术的迅速发展和进步,各领域对超精密定位技术提出了更多的挑战和要求,必须克服传统机械存在的冲击、摩擦、多环节传动损失等问题,实现整体化的结构设计和制造,达到轻量化、小型化、高集成的目的。基于柔性机构设计的精密定位平...
  • 一种提高蓝宝石基F-P腔底部表面质量的MEMS工艺新方法(一)本发明属于微机电系统(MEMS)领域,涉及蓝宝石晶片的一种MEMS工艺新方法,尤其涉及使用蓝宝石晶片加工F-P腔结构时,提高底部表面质量的MEMS工艺新方法。(二)蓝宝石材料具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,可在...
  • 微米线阵列装置和制造包含微米线的聚合物片材的方法与流程
    本发明涉及电磁干扰屏蔽领域,具体而言,涉及一种微米线阵列装置和用于制造包含微米线的聚合物片材的方法。已知混入聚合物或涂料基质的羰基铁颗粒(CIP铁)用作电磁干扰(EMI)屏蔽。然而,这些结构体并不具有优化的磁性,这是因为磁性不能针对特定应用的需求进行调整。其他已知的结构体包括包封在聚合物基...
  • 光电位置传感芯片与电热微镜键合的一体化器件的制作方法
    本发明涉及一体化微光机电器件,尤其是涉及光电位置传感芯片与电热微镜键合的一体化器件(Micro-opto-electro-mechanicalSystems,MOEMS)。随着微电子技术的兴起,近年来微机械、微光学的发展也越来越引起人们的关注,在“三微”基础上出现的微系统集成技术(Micr...
  • 具有可倾斜结构的微机电器件和可倾斜结构的位置检测的制作方法
    本发明涉及具有可倾斜结构的微机电器件。具体地,以下将参照通过MEMS(微机电系统)技术得到的微反射镜,但不丧失一般性。已知微机电器件具有反射镜结构,该反射镜结构使用半导体材料的技术。这些微机电器件例如用于便携式装置,诸如便携式计算机、膝上型电脑、笔记本(包括超薄笔记本)、PDA、平板电脑、...
  • 本发明涉及微纳图形制备的,具体是涉及一种微纳图形的制备方法及其制备系统。微纳图形制备及转移为微纳加工技术关键步骤。传统微纳图形制备技术主要包括光刻,电子束曝光,聚焦离子束曝光等等,而这些技术都离不开匀胶、曝光、显影等超净间工艺步骤。一方面这些湿法步骤会引入杂质和玷污,另一方...
  • 本发明涉及气敏传感器材料制备领域,具体为一种气敏传感器用氧化铁纳米环\/氧化镍复合材料,本发明还涉及其应用。技术背景进入21世纪以来,人们对环境污染问题及能源短缺问题越来越关注,针对这两方面的科学研究也越来越多,氧化镍是一种常见的金属氧化物,由于其优异的性能,氧化镍被广泛应用于光催化剂、气...
  • 本发明属于纳米材料领域,特别涉及一种银纳米列阵制作方法。近几年,随着微细加工技术和纳米材料的发展,纳米金属结构的电磁学性质正受到越来越多的关注,光与纳米金属结构的相互作用产生了一系列崭新的物理现象。当电磁波入射到纳米金属列阵结构表面时,产生的局域表面等离子体,能使电磁能量剧烈地增强和汇聚,...
  • 本发明属于纳米材料领域,特别涉及一种金纳米列阵制作方法。近几年,随着微细加工技术和纳米材料的发展,纳米金属结构的电磁学性质正受到越来越多的关注,光与纳米金属结构的相互作用产生了一系列崭新的物理现象。当电磁波入射到纳米金属列阵结构表面时,产生的局域表面等离子体,能使电磁能量剧烈地增强和汇聚,...
  • 微镜单元及制备方法、微镜阵列和光交叉连接模块与流程
    本发明涉及通信,特别涉及一种微镜单元及制备方法、微镜阵列和光交叉连接模块。现代通信技术,尤其是近几年发展起来的高速移动互联网、云计算和大数据技术,给人们在日常生活中随时随地接入互联网进行购物、观看高清视频和查询数据等需求提供了便利性和畅快感。这些新的互联网体验必然会带来海量通信数据...
  • MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置与流程
    本发明涉及一种液体喷射头等MEMS器件、液体喷射头、液体喷射装置以及MEMS器件的制造方法,尤其是涉及一种具备通过在被形成于基板上的凹部中埋入导电部而形成的配线的MEMS器件、液体喷射头、液体喷射装置以及MEMS器件的制造方法。MEMS(MicroElectroMechanicalSyst...
  • 由至少两个接合的结构层形成的MEMS器件及其制造工艺的制作方法
    本公开涉及由至少两个接合的结构层形成的MEMS器件及其制造工艺。众所周知,基于微电子学的典型的制造技术的微加工技术使得能够获得微系统,例如微传感器、微致动器和特殊的微型机构,其利用单晶硅的优异的机械性能,并且可以使用微电子工艺的典型的知识和优点。具体地,体微加工技术通常包括将要提供MEMS...
  • 具有台阶状结构和真空腔体的微热板的制作方法
    本实用新型涉及一种微热板,特别涉及一种具有台阶状结构和真空腔体的微热板。目前,现有的微热板具有敏感膜应力大、隔热性差和高温热稳定性不理想等缺点,制约了微加热结构传感器如微气体传感器、微热量计、微气压计以及微加速度计等微器件等的发展和应用。随着现代微电子的技术日新月异的发展,小体积,低功耗且...
  • 各种实施例一般地涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。术语微机电系统(MEMS)或微机械系统\/结构经常用于表示组合电气和机械部件的小集成装置或系统。当关注微机械部分时,术语“微机械系统”可被用于描述这样的小集成装置或系统:所述小集成装置或系统包括一个或多个微机械元件,并且可能...
  • 本发明属于芯片封装领域,具体涉及一种微机电芯片与集成电路芯片的混合封装结构及其封装方法。集成电路(IC)芯片是20世纪50年代后期至60年代发展起来的一种新型半导体器件。它是经过氧化、光刻、扩散、外延、蒸铝等半导体制造工艺,把构成具有一定功能的电路所需的晶体管、电阻、电容等元件及它...
  • 一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片的制作方法
    本实用新型涉及压力传感器,尤其涉及一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片。微机电系统(MEMS)压力传感器主要分为电容式和电阻式,电容式由于工艺复杂,成本高。现在MEMS压力传感器主要用来硅压阻式,压阻式传感器具有体积小,可靠性高,成本低,适合批量生产的特点。MEMS压力传感器的电阻芯片是...
  • 过滤器组件以及方法与流程
    过滤器组件以及方法本申请于2016年4月19日作为PCT国际专利申请提交并且要求于2015年4月21日提交的美国临时专利申请序列号62/150,619和于2015年8月17日提交的美国临时专利申请序列号62/205,792的优先权,这些临时申请的全部披露内容通过援引并入本文。本披露涉及过滤...
  • 制备磁链结构的方法与流程
    制备磁链结构的方法相关申请的交叉引用本申请要求2014年11月25日提交的、申请号为10201407815Q的新加坡专利申请的优先权的权益,其内容在此通过引用全文并入本申请并用于所有用途。各种实施例涉及磁链结构和用于制备磁链结构的方法。人们在开发金属、半导体和磁性结构的有序集合方面...
  • 一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法与流程
    本发明属于激光应用,具体涉及一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法。润湿性(wettability)是固体表面的一个重要特征,无论在人们的日常生活还是在工农业生产中都发挥着重要的作用。固体表面润湿性主要取决于表面粗糙度和表面自由能,其大小通常由液滴与固体表面的接触角来衡量。以水...
  • 一种基于微针的外部传输的电喷射装置的制作方法
    本实用新型属于微量液体分配,特别涉及一种基于微针的外部传输的电喷射装置。微量液体分配技术已经成为生物化学分析及微制造领域的关键技术。现有的生物化学分析检测手段因为对检测样本容量的需求大,浓度高而受到限制。因此,将检测液分配形成微液滴阵列成为检测的良好选择方式。如何获得高分辨率,低时...
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