本发明涉及一种微机械传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械传感器的方法。现代封装技术需要使压力传感器的呈压力传感器膜片形式的压力敏感部件借助于特定的弹簧设计与传感器的其余部件机械解耦并且由此变得不受AVT(构造和连接技术)影响。在压力传感器内部的新型趋势是，使呈压力传感器膜片形式的压力敏感...

本公开涉及微机械传感器和微机械传感器元件以及其制造方法。本公开特别是涉及传感器和传感器元件，其具有至少一个电极，该电极可响应于待检测的变量(例如压力或加速度)而移动。压阻式传感器或电容式传感器可用于加速度检测或压力检测。在压阻式传感器中，电阻条响应于压力或加速度而弯曲，由此改变电阻条的电阻...

本实用新型涉及纳米压印，尤其涉及一种应用于纳米材料上多层图像的均匀压印装置。纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。该技术通过机械转移的手段，达到了超高的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手...

本申请要求于2016年7月14日提交的题为“OVENCONTROLLEDMEMSOSCILLATOR”的美国非临时专利申请第15/209,875号的权益，该美国非临时专利申请通过引用整体明确并入本文。本发明涉及MEMS振荡器，并且更具体地，涉及具有良好的温度稳定性的小尺寸的烘箱控制M...

本发明属于纳米加工，具体涉及一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法。近年来，纳流体芯片在生化分析、流体传输和计量以及能量转换等领域的应用愈加广泛，这些领域的基础和应用研究极大的推动了纳米通道加工技术的发展。通常这些加工技术可以划分为体加工技术、表面加工技术、模型加工技术...

本发明属于微纳制造、微纳流体研究，涉及一种微纳流控芯片的制备方法。目前微纳流控芯片制备技术主要基于电子束光刻（EBL）、聚焦离子束技术（FIB）以及纳米压印刻蚀技术（NIL）等，但是以上方法设备费用昂贵且实验流程极为复杂。此外也有利用在聚苯乙烯板上制造人工缺陷，然后利用化学试剂诱导...

本发明涉及应变传感材料领域，具体地说是涉及一种图案化金属薄膜的制备方法。应变传感器已应用到许多工业系统中，如触摸屏、真空仪器的气压监视器和飞机的大气压监视器等，所有这些都需要能够感知压力产生应变并将其转换成电信号。并且，应变传感器已扩展应用到可穿戴电子设备和生物医学设备，推进了可穿戴、生物...

本发明涉及薄膜与器件制备，尤其是涉及一种检测柱状自组装薄膜结构的方法及其制备方法。随着电子器件的快速发展，器件的小型化和多功能性成为了下一代电子设备的发展方向。为了实现器件的小型化，同时开发得到更多的新性能，科学家们将多个物理属性集成到一个系统中并对其进行大量探索。其中，很多科研工...

本发明涉及一种具有短距离离子选择性的仿生纳米通道及其制备方法，属于能量转换以及生物检测。细胞膜是细胞的边界，由脂质双分子层以及镶嵌于脂质双分子层中的具有功能特性的蛋白通道组成，这些蛋白孔道属于生物离子通道，对于细胞信号传递、能量转换、物质交换及功能性调控具有重要意义，因此，...

本实用新型涉及贯通衬底导体支撑件。电子电路通常被制造为通过处理硅晶片而形成的集成电路。许多此类晶片包括个体电路设计，其中在制造过程中在单个晶片上复制个体电路。通过在相邻的复制电路之间设置的锯线空间中切割晶片将复制电路分离为管芯(“芯片”)。电路设计复杂性和应用的增加已经导致了对用于固定、保...

本发明涉及微纳加工领域，具体地说，涉及一种在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法。聚焦离子束技术(focusedionbeam，FIB)是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割技术。类似地，电子束刻蚀技术(Electron-beamlithography，E...

本发明涉及一种半导体集成电路制造方法，特别是涉及一种MEMS三轴各向异性磁电阻(AnisotropicMagnetoResistance，AMR)磁力传感器的制造方法。磁电阻(MagnetoResistance，MR)效应是指物质的电阻会随外加磁场的改变而变化的现象。按照磁电阻的大小...

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种MEMS电极结构。本发明还涉及一种MEMS电极结构的制造方法。如图1A至图1E所示，是现有MEMS电极结构的制造方法各步骤中的器件结构图；现有MEMS电极结构的制造方法包括如下步骤：步骤一、如图1A所示，提供一表面平坦的半导体衬底101；如图...

本发明属于能量收集器，具体属于一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法。超声压电换能技术是一种利用压电材料的压电效应实现机械能-电能之间相互转换的技术。利用该技术可以制作小型超声波发生器，以及超声能量收集器。超声能量收集器通过接收超声波激励的能量实现声能-电能的转换，可用于低...

本发明涉及微传感器，具体涉及一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法。随着现代化工业及科学技术的发展，工业装备不断向着复杂化、智能化、信息化等方向发展，这些装备组件精密复杂、工作模式多样、运行场合多变。而工业装备运行过程中的振动作为一种最为常见的物理现象，对装备的性能和健康状态具...

本发明涉及折射率探测领域，尤其涉及一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法。随着科学技术的不断发展，基于金属的纳米等离子体结构，例如金和银纳米结构被广泛应用于折射率探测领域。这是由于这种结构能够发生局部表面等离子体共振(LocalizedSurfacePlasmonResonance，...

本发明涉及传感器及其应用，特别是涉及一种离子应变传感器及其制备方法与应用。随着智能材料和柔性电子学的迅速发展，为便携式医疗以及人机交互等智能穿戴应用开辟了全新的道路。人体手部活动可以反映外部环境变化与人类随时进行的活动状态，具备复杂、多维度、多变性等显著特点。对手部活动的检测能够为...

本发明属于微机电系统，特别是一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法。随着微加工技术的进步及小型化传感器和执行器系统的应用需求，基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜作为一种微执行器件应用于激光雷达成像系统中。其作用是通过改变镜面的旋转角度，改变激光光束的出射角度，经物体...

本发明涉及材料制备，尤其是涉及一种金属氧化物纳米阵列薄膜及其制备方法与包含其的电极、电池。金属氧化物纳米阵列薄膜因其具有小尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应而呈现出优良的物理化学性能，在电池、超级电容器、催化、气体感应、电子信息、生命科学和军事等领域有着广阔的...

本发明涉及透明介电材料表面周期性结构制备技术，尤其是一种单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法。介电材料表面微纳尺度周期性结构(PSS)在光学、生物、电子、医疗、材料学领域具有广泛应用前景。产生PSS的方法可以划分为两大类。一类是基于掩膜光刻、电子束曝光、激光相干光刻、激光干\...