本发明涉及微纳加工领域，具体地说，涉及一种在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法。聚焦离子束技术(focusedionbeam，FIB)是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割技术。类似地，电子束刻蚀技术(Electron-beamlithography，E...

本发明涉及一种半导体集成电路制造方法，特别是涉及一种MEMS三轴各向异性磁电阻(AnisotropicMagnetoResistance，AMR)磁力传感器的制造方法。磁电阻(MagnetoResistance，MR)效应是指物质的电阻会随外加磁场的改变而变化的现象。按照磁电阻的大小...

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种MEMS电极结构。本发明还涉及一种MEMS电极结构的制造方法。如图1A至图1E所示，是现有MEMS电极结构的制造方法各步骤中的器件结构图；现有MEMS电极结构的制造方法包括如下步骤：步骤一、如图1A所示，提供一表面平坦的半导体衬底101；如图...

本发明属于能量收集器，具体属于一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法。超声压电换能技术是一种利用压电材料的压电效应实现机械能-电能之间相互转换的技术。利用该技术可以制作小型超声波发生器，以及超声能量收集器。超声能量收集器通过接收超声波激励的能量实现声能-电能的转换，可用于低...

本发明涉及微传感器，具体涉及一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法。随着现代化工业及科学技术的发展，工业装备不断向着复杂化、智能化、信息化等方向发展，这些装备组件精密复杂、工作模式多样、运行场合多变。而工业装备运行过程中的振动作为一种最为常见的物理现象，对装备的性能和健康状态具...

本发明涉及折射率探测领域，尤其涉及一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法。随着科学技术的不断发展，基于金属的纳米等离子体结构，例如金和银纳米结构被广泛应用于折射率探测领域。这是由于这种结构能够发生局部表面等离子体共振(LocalizedSurfacePlasmonResonance，...

本发明涉及传感器及其应用，特别是涉及一种离子应变传感器及其制备方法与应用。随着智能材料和柔性电子学的迅速发展，为便携式医疗以及人机交互等智能穿戴应用开辟了全新的道路。人体手部活动可以反映外部环境变化与人类随时进行的活动状态，具备复杂、多维度、多变性等显著特点。对手部活动的检测能够为...

本发明属于微机电系统，特别是一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法。随着微加工技术的进步及小型化传感器和执行器系统的应用需求，基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜作为一种微执行器件应用于激光雷达成像系统中。其作用是通过改变镜面的旋转角度，改变激光光束的出射角度，经物体...

本发明涉及材料制备，尤其是涉及一种金属氧化物纳米阵列薄膜及其制备方法与包含其的电极、电池。金属氧化物纳米阵列薄膜因其具有小尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应而呈现出优良的物理化学性能，在电池、超级电容器、催化、气体感应、电子信息、生命科学和军事等领域有着广阔的...

本发明涉及透明介电材料表面周期性结构制备技术，尤其是一种单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法。介电材料表面微纳尺度周期性结构(PSS)在光学、生物、电子、医疗、材料学领域具有广泛应用前景。产生PSS的方法可以划分为两大类。一类是基于掩膜光刻、电子束曝光、激光相干光刻、激光干\...

本发明涉及(In)GaN纳米柱领域，特别涉及生生长在Ti衬底上的(In)GaN纳米柱及其制备方法与应用。氢能具有能量密度高、可循环利用和绿色环保等优点，在国防科技、航天航空、工业生产中已经大量运用。作为一种理想的能源载体，氢可以通过燃烧产生动力(如氢燃气轮机、氢汽车发动机等)，也可以通过氢...

本发明涉及一种周期有序的磁性纳米线阵列的快速沉积方法，属于光电子器件或信息工程领域。纳米线有序阵列由于其优化的结构在磁学、传感、透明电极等领域具有潜在的应用价值。传统有序纳米线阵列的获得主要有纳米压印、自组装等技术、传统两磁极间的磁场诱导。纳米压印主要通过光刻掩模版制备纳米阵列模板需要复杂...

本发明涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种应用于MEMS(微机电系统)器件的TiN(氮化钛)薄膜刻蚀方法。由于TiN薄膜特有的物理电学性质，使其在半导体制作过程中被广泛应用。目前TiN薄膜采用PVD(物理气相沉积)工艺方法形成，只能满足大尺寸通孔填充，而对于小尺寸通孔无法满足其台阶覆盖率...

本发明涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种MEMS(微机电系统)传感器经常用到的MEMS电极形成方法。非晶硅是硅的同素异形体形式，能够以薄膜形式沉积在各种基板上，为各种电子应用提供某些独特的功能。非晶硅被用在大规模生产的微机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)、太阳能电池、微晶硅...

本发明涉及微纳加工的，更具体地，涉及一种平面内纳米结构的精确可控制造方法。目前，纳米结构的制造方法可以分为“自上而下”方法和“自下而上”方法两类。“自上而下”的纳米结构制造主要采用电子束光刻、深反应离子刻蚀等工艺获得。由于制造纳米掩膜板的尺寸精度限制，只能实现0.6微米的亚微米线宽...

本申请要求于2016年4月14日提交的美国临时申请系列号62/322,598的权益和优先权。以上申请的全部公开内容通过引用并入本文。政府权利本发明是在陆军研究办公室授予的W911NF-11-1-0251下由政府支持完成的。政府在本发明中具有一定的权利。本公开内容涉及通过在结构化流体中进行的...

本公开大体上涉及纳米粒子，且更具体地说，涉及纳米粒子的形成。纳米粒子以多种形式存在，包含组装在微米粒子的表面上的纳米粒子和通过将纳米粒子涂布在中空微球体上而形成的纳米壳层。此外，纳米粒子可用于多种应用中，例如用于内燃机和排气系统的涂层中或用于激活大块金属部件的烧结。纳米粒子还可用于多种生物...

本发明涉及一种用于生产光学部件、尤其用于包封微系统的盖的方法，该光学部件尤其必须实现光学功能。用于包封通常布置在载体衬底上的微系统(例如MOEMS、MEMS)的盖通常至少提供免于污染物的保护且同时不影响微系统的机械和/或光学功能。如果微系统的功能不仅仅限于在载体衬底中运动或平行于载体衬底运动，而是...

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的微机械构件。通常已知具有通过驱动弹簧相对于衬底可运动地悬挂在衬底上的驱动质量和相对于驱动质量可运动地悬挂的检验质量的微机械构件。借助这种结构，微机械构件可以通过利用科里奥利力感测施加在微机械构件上的转速。在这里使检验质量置于周期性运动中，由此垂直...

本申请案请求于2016年5月19日提交的申请号为15/158,947的美国专利申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此(incorporatedhereinbyreference)。本公开涉及具有稳定电极的微机电传感器装置，所述电极对金属共晶接合的非线性特性不敏感，所述金属共晶接合将...