微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及一种石墨烯高温压力传感器封装方法,属MEMS器件封装。火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等设备的喷嘴燃烧室、压气机、叶片等高温关键部位的工作温度能达到900℃。使用高温压力传感器对这些部位进行实时监测,可以有效提高燃烧效率和推进效率。在高温压力传感器的设计...
  • 本发明涉及半导体领域,具体地,本发明涉及一种MEMS器件及其制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是...
  • 本发明涉及一种气压传感器及其封装方法,尤其涉及一种MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)气压传感器的和气压传感器封装的方法。气压传感器在现代社会中发挥着越来越重要的作用,气压传感器市场的应用需求巨大。基于MEMS技术的气压传感器可以提高气压传...
  • 本发明属于微机电系统(MEMS)领域,涉及一种MEMS芯片结构及其加工方法,特别是一种全硅基的基于晶圆键合的圆片级封装MEMS芯片结构及其加工方法。具有谐振结构的MEMS器件如MEMS惯性器件、振荡器、滤波器等,工作过程中空气阻尼对其性能影响明显。真空封装是保证器件高Q值、低插损、低能耗的...
  • 本发明涉及一种压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体。一直以来,作为压力传感器,已知一种专利文献1中记载的结构。专利文献1的压力传感器包括具有隔膜的基板和被配置于基板上的周围结构体,并在它们之间形成有压力基准室。另外,周围结构体具有包围压力基准室的框状的壁部和...
  • 本实用新型属于半导体,具体涉及一种硅基三维异构集成的射频微系统。目前传统多芯片模块封装技术(MultiChipModule,MCM)是高密度电子封装技术中代表性技术,它可以方便的实现有源/无源电路、基带/射频电路的集成,在电子系统中得到广泛应用。由于MCM只能通过衬底来实现立体...
  • 本实用新型涉及一种换能器模块以及一种包括该换能器模块的装置。具体地,根据本公开的一个方面,该换能器模块具有多个换能器。根据本公开的另一方面,该换能器模块具有容纳这些换能器的多个腔室。如已知的,MEMS(微机电系统)类型的换能器包括用于采集或检测环境信号或惯性信号的结构以及用于生成表示所采集...
  • 本公开总体上涉及包含压力传感器电路的封装体和压力传感器封装体。随着消费者对较小多功能器件的需求增加,为了保持将多个小MEMS器件制作成封装的方法无缺陷,制造商面临着巨大挑战。存在将机械结构与电子器件组合以形成用作小型传感器和致动器的电响应移动部件的MEMS器件。MEMS封装体必须保护ME...
  • 本发明涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法,属于阳极键合。阳极键合技术在MEMS器件的制作、组装、封装等环节中具有重要的作用,是衔接多种硅加工工艺的核心技术,是实现三维空间上交差结构、多层结构等复杂MEMS结构的基本手段之一。目前阳极键合采用高温(400~600℃)加高电压(...
  • 本发明涉及MEMS微传感器,尤其涉及一种基于压阻检测的谐振式压力传感器。谐振式压力传感器是将谐振器作为敏感结构,利用压力变化改变谐振器的特征频率,通过监测谐振器特征频率的变化来间接测量压力的一种压力测量装置。由于传感器输出频率信号,适用于长距离传输而不会降低其精度,可以不经AD转换...
  • 本发明属于能源存储领域,特别涉及一种碳硒复合材料、锂硒电池正极与应用。目前锂离子电池的能量密度在很大程度上受限于正极材料,随着社会的不断进步,已经商业化的钴酸锂材料由于容量不够等原因已经无法满足现代社会对锂离子电池的进一步要求。由于硫拥有的高理论容量,因而被视为作为新一代的高能锂电池的正极...
  • 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法,具体是一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。硅微杯形谐振陀螺具有良好的抗高冲击特性,其广泛应用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。在现有技术条件下,硅微杯形谐振陀螺普遍采用深硅刻蚀法加工而成。然而,深硅刻蚀法由于自身原理所限,加...
  • 本发明涉及引信安全系统,具体涉及一种应用于引信安保的微机电组合逻辑器件及其制备方法。为了确保各类弹药中引信功能安全可靠,引信安全系统得到了迅速的发展。主要包括全机械引信安全系统和全电子安全系统,机械引信安全系统因为其结构尺寸大,且无法对外界复杂电磁环境产生屏蔽作用,使得引信安全性能降低;全...
  • 本发明专利涉及超声波传感领域。传统的超声波传感器是由基于压电陶瓷的单体超声波传感器组装,这种方案无法实现高密度点阵的超声波传感器,高密度点阵超声波传感器可通过mems工艺制造,但成本过高,高密度点阵超声波传感器还可基于TFT工艺,可用于指纹采集,在玻璃基板上的TFT(薄膜晶体管)阵列上覆盖...
  • 本发明属于纳米科学,具体涉及一种高效率制备环状纳米间隙有序阵列的方法。纳米尺度的金属间隙由于其尺寸效应会对局域在其中的电磁波产生明显的场增强效应而被广泛应用于生物传感、环境监测、增强拉曼、光催化以及超材料等诸多领域。这些器件的性能通常显著依赖于纳米间隙的形貌和尺寸,因而如何可控的制...
  • 本发明涉及质谱分析领域,更具体地,涉及一种纳米质谱仪。传统质谱仪的测量大体可以描述为如下过程:首先,仪器的主要装置要放在真空中,将被测量的物质气化并电离成离子束;之后,被测物质要经过电压加速和聚焦,通过磁场电场区,这时不同质量的离子受到磁场电场的偏转不同,就会聚焦在不同的位置,最后即获得了...
  • 本专利申请要求先前于2015年9月30日递交的名称为“简化的MEMS装置制造工序”、申请号为14/872,094的美国专利申请的优先权。该专利申请的全部内容通过引用并入本文中。所公开的技术一般涉及一种半导体装置制造,并且更具体地,一些实施方式涉及一种微机电系统(MEMS)的制造。自...
  • 本发明涉及一种胶体马达及制备方法,尤其是一种纳米胶体马达及其制备方法。胶体马达是一类能将周围环境中的能量——化学能、电磁能、热能、声能等转化为自身运动的活性胶体颗粒,其常见形态有阴阳型(Janus)球形粒子、纳米管、纳米线以及纳米棒等,驱动能量的来源有化学驱动和非化学驱动两类。经过近十年的...
  • 本发明涉及材料领域,具体涉及微型立体器件及其制备方法和应用。功能材料在光、电、力、热、磁、声等方面的性质,使其在工业应用方面具有巨大的应用前景。随着功能材料合成技术的迅速发展,限制其在生产生活的推广应用越来越显现在功能器件的制备技术上。功能材料组装技术作为连接功能材料和功能器件的一个桥梁作...
  • 本发明涉及超声换能器的制备,具体为一种基于硅基透镜的钪掺杂AlN高频超声换能器的制备方法。高频超声在高分辨超声显微成像、细胞研究、生物组织工程等领域具有广阔的应用前景。高频超声的应用往往依赖于高的工作频率和聚焦程度以期获得窄的声束宽度和空间分辨率。超声换能器作为超声波激发和接收的载...
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