微观装置的制造及其处理技术
  • 一种微电极阵列芯片及其制作方法与流程
    本发明涉及生物传感器制作领域,特别是涉及一种微电极阵列芯片及其制作方法。基于MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems:微机电系统)技术发展起来的微电极阵列(MEA:multi-electrodearray)是一种重要的研究神经元电生理和心肌细胞电生理的技...
  • MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法与流程
    本发明涉及水听器,具体为MEMS水听器芯片的扇出型封装结构及方法。水听器,又称水下传声器,其能够将水下的压力变化而产生声信号转换为电信号,从而能够可靠的得到水下的压力,常被用于声场的测绘、声传感器的检测标定以及超声设备的检测校准和性能评估等声学领域的研究。随着科学技术的不断发展和...
  • 具有止挡元件的微机械系统的制作方法
    本发明涉及一种微机械系统。本发明尤其涉及一种用于微机械系统的能运动的功能元件的止挡元件。微机械系统包括基底和功能元件,该功能元件相对于基底能运动地支承。微机械系统的部件(也称为MEMS,微电子机械系统或微机电一体化系统)通常具有在1至100μm范围之间的尺寸,并且微机械系统在一个维度上具有...
  • MEMS芯片以及MEMS麦克风的制作方法
    本申请涉及声电领域,尤其涉及一种MEMS芯片以及MEMS麦克风。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的声电换能器,具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。MEMS麦克风包含有一个基于电容检测的MEMS芯片和...
  • 本发明涉及一种基于离子束刻蚀制备有序硅纳米线阵列的方法,属于纳米材料制备。由于硅纳米线具有优异的光学减反射特性和陷光效应,以及良好的表面改性和生物相容性,已经应用到太阳能电池和生物传感器中。排列有序和尺寸均匀的硅纳米线阵列,是器件性能稳定运行的有利保证。因此,人们利用各种模板刻蚀硅...
  • 换能器模块和电子装置的制作方法
    本实用新型涉及一种换能器模块和电子装置。具体地,换能器模块容纳有被设计成用于对待检测环境量执行差分测量和绝对测量的多个设备。如已知的,MEMS(微机电系统)型压力换能器(或传感器)包括膜敏感结构,该膜敏感结构能够将环境压力的值换能成电量并且包括悬置在设置在硅体中的空腔之上的薄膜。扩散在膜内...
  • 一种芯片的封装结构的制作方法
    本实用新型涉及芯片的封装,更具体地,本实用新型涉及一种芯片的封装结构;尤其是MEMS芯片的封装结构。MEMS芯片是基于微机电工艺制作的传感器,由于其良好的性能、极小的体积从而得到广泛的应用。为了便于安装应用,通常MEMS芯片是以模组的方式安装在外部终端上。但是不同的系统厂商有不同的要求,根...
  • 一种芯片的安装结构的制作方法
    本实用新型涉及芯片的安装,更具体地,本实用新型涉及一种芯片的安装结构。MEMS芯片是基于微机电工艺制作的传感器,由于其良好的性能、极小的体积从而得到广泛的应用。为了便于安装应用,通常MEMS芯片是以模组的方式安装在外部终端上。但是不同的系统厂商有不同的要求,根据其终端产品的结构需求,有时会...
  • 具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片的制作方法
    本实用新型属于MEMS芯片制造领域,具体是涉及一种具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写,MEMS芯片制造技术利用微细加工技术,特别是半导体圆片制造技术,制造出各种微型机械结构,结合专用控制集成电路(...
  • 一种MEMS芯片的制作方法
    本实用新型涉及微机电,更具体地,本实用新型涉及一种MEMS芯片。传统的MEMS麦克风芯片包括衬底以及固定在衬底上的敏感膜和极板,敏感膜和极板之间具有一定的间隙,使得敏感膜与极板之间可以构成平板电容器结构。由于敏感膜固定连接在衬底上,在受到冲击时(例如吹气、机械冲击和跌落),敏感膜容...
  • 一种多功能纳米制备装置的制作方法
    本实用新型是一种多功能纳米制备装置,属于纳米制备设备。现在随着纳米技术的不断发展,生活中出现纳米制备用品也越来越多,因此越来越多的制造厂开始引进纳米制造技术。在纳米产品进行制备时,往往对制备环境要求较高,操作员需要实时了解内部温度情况,但是人为估值误差较大,使用精确度较低;一方面,...
  • 一种环境传感器的制作方法
    本实用新型涉及传感器,尤其涉及一种环境传感器。近年来,环境传感器如压力传感器、温度传感器等变得越来越重要,广泛的应用在便携式电子产品中,用来测量环境参数。环境传感器的结构对其性能的稳定性起着重要的作用,通常环境传感器包括传感器芯片和信息处理芯片,如MEMS(Micro-Electr...
  • 一种环境传感器的制作方法
    本实用新型涉及传感器,尤其涉及一种组合环境传感器。近年来,随着科学技术的发展,传感器等器件的小型化越来越被人们重视。环境传感器,包括麦克风传感器、温度传感器、湿度传感器、压力传感器,通常被用在电子产品中,这些传感器的大小很大程度上左右了产品整体的尺寸。如图1所示,目前组合型环境传感...
  • 本发明涉及微纳加工,特别是涉及一种微纳尺度的图形绘制方法。微纳加工指的是加工尺度在微米和纳米级别范围的加工方法。微纳加工技术曾经广泛用于大规模集成电路的加工制作,使得微电子器件及相关技术和产业蓬勃兴起。目前,微纳加工技术已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析...
  • 一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构及其制备方法与流程
    本发明涉及电磁波吸收领域,尤其涉及一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构及其制备方法。电磁波吸收结构的探索引起了科研人员的广泛关注,在毫米波、微波、红外及可见光波段的吸收,使其应用领域越来越宽阔,包括探测、能源、航空、通信、光伏、印刷等行业。针对不同波段的吸收,其吸收结构尺寸也是不同;例如,在可见...
  • 本发明涉及纳米材料制备,具体涉及一种纳米氧化铁的制备方法。纳米氧化铁是一种电阻较大的半导体,能够吸附氧气,增强氧气分子的活性化,还可以作为催化剂进行助燃,纳米氧化铁电负性强,能够吸取颗粒表层的电子,从而增加晶体内部的空穴数目,具有良好的光学性质、磁性、催化...
  • 一种基于柔性可变形微透镜阵列的立体制造方法与流程
    本发明属于光学与微纳制造,尤其涉及一种基于柔性可变形微透镜阵列的立体制造方法。传统的3D打印技术是采用分层制造的方法,只能进行面制造,无法实现瞬时快速立体成型,过程中的“台阶效应”也给产品的制造带来了较大的误差。同时,可供选择的3D打印材料有限,多...
  • 六自由度双指并联微/纳操作装置及其操作方法与流程
    本发明涉及一种六自由度双指并联微/纳操作装置及其操作方法,具体地说是应用直线超声电机驱动两个并联操作指实现六自由度运动的操作装置,其可应用于生物细胞等微米级物体分离、夹取和翻转等操作,属于微/纳制造科学与、生物工程。随着生物工程、医疗等科学...
  • 一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法与流程
    本发明属于光学和微纳图形制备领域,尤其涉及一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法。在材料表面制备具有不同电导率和折射率的微纳结构与图形一直是微电子、高分辨显示、信息存储等领域的研究重点,随着近年来微纳科学和刻蚀技术的快速发展,这种微纳结构与图形已广...
  • 系统级封装器件的制造方法和系统级封装器件与流程
    本发明涉及微电子学领域,更具体地涉及制造系统级封装器件(system-in-package)的方法以及系统级封装器件,该系统级封装器件包括至少一个具有预定尺寸的第一类管芯(die)、至少一个具有预定尺寸的第二类管芯和系统级封装器件的至少一个其它部件。背景技...
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