微观装置的制造及其处理技术
  • 微机电传感器和MEMS装置的制作方法
    本公开涉及一种微机电传感器和MEMS装置。例如在工业或汽车领域存在若干应用,需要使用具有高满缩放量程值的力/压力传感器来测量高范围负载(力或压力)值,例如高达10kN或更高。用于感测高范围负载的已知传感器解决方案通常设想使用高强度金属负载单元,包括不同种类的应变计作为感测元件。应变计感测元...
  • 一种用于测量液体粘度的MEMS芯片的制作方法
    本实用新型涉及液体粘度测量领域,特别地涉及一种用于测量液体粘度的芯片。粘度测量是石油、化工、冶金、国防、医疗卫生等多个领域的必备技术,与获得准确的检测数据、生产流程控制、提高产品质量、开发和节约能源都有着密不可分的关系。具体地,当液体在稳定流动时,一般情况下属于稳定层流的情况,也就是同一层...
  • 一种MEMS芯片数控加工仪的制作方法
    本发明涉及芯片数控加工,具体为一种MEMS芯片数控加工仪。微流控芯片是指在一块几平方厘米的芯片上构建的化学或生物实验室,它把化学或生物学中所涉及的样品制备、反应、分离和检测,细胞培养、分选和裂解等基本操作单元集成到一块很小的芯片上,由微通道形成网络,以可控流体贯穿整个系统,用以实现...
  • 基于摩擦诱导TMAH选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法与流程
    本发明属于单晶硅,具体涉及一种基于TMAH溶液中摩擦诱导选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法。随着世界的快速发展,由于智能材料在执行复杂的功能时的优越性,使得智能材料变得越来越重要。微机电系统(MEMS)在过去的十年中得到了广泛的应用。而单晶硅由于其优异的机械性能以及丰富的储备量,被广泛...
  • 一种金属纳米针尖阵列的制备方法与流程
    本发明涉及一种金属纳米针尖阵列的制备方法。纳米针尖或纳米锥作为一种特殊的纳米结构,在冷阴极场发射电子、扫描探针显微镜、生物化学传感和抗反射涂层等领域具有广泛的应用。目前用于制备纳米针尖的方法主要包括光刻技术、电子束诱导沉积、激光热解和物理化学气相沉积。例如:中国专利公开号CN106809...
  • 一种压印超薄材料制备均匀表面微结构的方法与流程
    本发明涉及一种超薄材料均匀表面微结构的制备方法。柔性电子一般是在薄层材料表面集成多个器件从而获得特定功能的产品。柔性电子由于其低能耗、可便携性近年来引起了科学界和产业界极度的关注,其核心技术之一是实现薄膜材料的表面图案化。纳米压印技术是高精度实现材料表面图案化的一种重要方式,在量子磁碟、D...
  • 一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构的制作方法
    本发明涉及光调控,尤其涉及一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构。降低碳排放、节能与环保是全世界都在讨论的话题,“绿色建筑”的可持续发展设计在近几十年来得到了广泛的关注。在建筑行业,增强对自然光的利用可以减少人工照明,调节室内温度以及冷却负荷,是提高能源利用效率的一种重要手段。目前人...
  • 本发明属于传感器制造,具体涉及一种多传感器的协同制造工艺流程。目前,市面上的传感器种类多种多样,如电场传感器、电容加速度传感器、压力传感器、温度传感器及湿度传感器,这些传感器被应用于检测不同的环境数据。目前大部分前述传感器都是独立制造的,然后将不同的传感器安装在同一个安装合体内,虽...
  • 本公开总体上涉及制造晶圆级封装的MEMS组件的方法和经封装的MEMS组件,并且尤其涉及在MEMS应用中将RDL结构使用在具有空腔的功能晶圆中。在许多应用中,容纳在壳体中的半导体芯片,例如,在倒装芯片应用、TSV应用(TSV=硅过孔)、WLB壳体(WLB=晶圆级球栅阵列)或在特殊的壳体中,如...
  • 本发明涉及无线传感,尤其是涉及一种同位素电池供能的谐振式声表面波无线传感器。无线传感器网络是当前信息领域中研究的热点之一,可用于环境信息如压力、应变、湿度、湿度、扭力、质量吸附、分子吸附、气体成分、辐射等环境物理量的监测,实现信号的采集、处理和无线发送。无线传感器网络是一种全新的信息获取和...
  • 本申请要求2016年3月31日提交的美国临时申请第62/316,274号的权益,通过引用将其内容整体并入本文。关于联邦政府资助的研究或开发的声明本发明是在国家科学基金会授予的1449395号政府支持下完成的。政府在本发明中拥有一定权利。本公开总体上涉及纳米复合材料,例如包括分散在金属基质中...
  • 本发明是在由国防高级研究计划局授予的批准号为W31P4Q-11-1-0002的政府支持下作出的。政府对本发明享有一定权利。对相关申请的交叉引用本申请要求于2016年2月29日提交的美国临时申请号62/301,049的权益。上述申请的全部公开内容通过引用并入本文。本公开内容涉及用于三维微结构...
  • 一种将CMOS电路与体硅MEMS单片集成的方法与流程
    本发明属于微电子机械系统微加工,特别涉及一种将CMOS电路与体硅MEMS单片集成的方法。近几年,MEMS技术得到了快速的发展,在很多领域都具有广阔的应用空间。将MEMS结构与驱动、检测、信号处理电路集成在一块芯片上能够减小信号传输损耗,降低电路噪声,抑制电路寄生电容的干扰,能够实现...
  • 本发明涉及硅片键合,具体涉及临时键合结构及其制作方法、拆键合方法。硅片键合技术是指通过化学和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃或其它材料紧密地结合起来以解决薄晶圆拿持问题的方法。硅片键合往往与表面硅加工和体硅加工相结合,用在MEMS的加工工艺中。临时键合技术要求在预定工艺步骤之后便于...
  • 本发明涉及一种封装方法,尤其是一种晶圆级气密封方法,属于MEMS器件封装的。MEMS器件通常包含若干可动部分,所述可动部件需要在真空环境下正常工作,而真空环境的实现需要气密封装。气密封装的质量直接由可动部件是否受到装配过程中的灰尘,水汽等因素的影响,从而最终决定器件的整体性能。为了...
  • 本发明涉及工程材料,具体涉及一种基于力学原理的表面具有微结构的高弹性基体及其方法。薄膜材料在新材料占据着极其重要的地位,并且推动了多个领域的发展。在高温环境下利用表面涂层的薄膜材料可以对构件进行有效保护;在零件表面通过表面喷涂一层薄膜材料可以有效增强零件的使用耐受性;在微电...
  • 本发明属于半导体加工,具体涉及一种基于阳极氧化-二次刻蚀的无损微纳结构加工方法。如何实现高质量的衬底织构在微纳加工特别是光学显示领域有着重要的意义。分子外延生长或者气相沉积的方法是实现高性能光学显示器件的重要途径。由于一些光学材料昂贵,需要在衬底材料表面采用分子外延生长或者...
  • 本发明涉及红外光学窗口,特别是一种ZnS红外窗口减反微结构表面的制备方法。硫化锌(ZnS)是用于8~12μm长波红外波段的最有前途的红外光学窗口材料,但其折射率比较高,为2.2,表面反射太大,最终透射率只有74%左右,不能满足使用需求。所以必须对ZnS进行表面减反处理。与传统的减反...
  • 本发明属于微纳光学,具体涉及一种可实现非对称传输的纳米结构及其制备方法。非对称传输(AsymmetricTransmission,AT)指,具有不同偏振态的电磁波入射结构后表现出不同传输性能的效应,其中,传输性能主要研究的为透射、吸收、反射等。在生物分子领域,手性分子一般都比较弱,...
  • 本实用新型属于氢气传感器,具体涉及一种氢气传感器。MEMS全称MicroElectromechanicalSystem,微机电系统,是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融...
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