一种喷吸结合的电镀喷流装置的制作方法

本实用新型涉及工业电镀技术领域，具体涉及一种喷吸结合的电镀喷流装置。

背景技术：

目前半导体封装技术不断向轻，薄，短小高密度方向发展，给很多设备带来了更高的要求。其中：3d封装技术要求电镀有很高的可用电流密度；扇出封装对电镀均匀性提出了很高的要求；工业电镀也希望很高的电流密度以提高产量。这些都对电镀均匀性以及电镀效率提出了新的挑战。然而，通过电镀药水本身的改良已无法满足这方面的要求，需要配合电镀设备的改善以达到提升电镀效率和均匀性的效果。目前半导体/半导体封装/被动元件/印刷电路板/工业电镀等为了提高产量，要求电镀有很高的可用电流密度。从设备的角度考虑，减薄阴极膜对于提高可用电流密度最为有效。

现有的喷流阳极的做法，喷流阳极可以拉近电镀槽中阴极和阳极的距离，降低电镀液阻力，提高可用电流密度。但是，由于喷流阳极直接喷射被镀物，被镀物需要承受较大阻力，容易影响电镀效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：为了解决喷流阳极直接喷射被镀物，被镀物需要承受较大阻力，容易影响电镀效果的问题，提供一种喷吸结合的电镀喷流装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种喷吸结合的电镀喷流装置，包括电镀槽、阴极治具和阳极板，所述电镀槽的一侧内壁固定有阴极治具，所述电镀槽相对阴极治具的一侧内壁固定有阳极板，所述电镀槽的内底焊接有支撑网板，所述电镀槽的内底位于阴极治具和阳极板之间固定有固定架，所述固定架的内部固定有喷流架，所述喷流架由面板、隔板和底板依次拼接而成，其中，所述面板与隔板分隔为第二腔室，所述隔板和底板分隔为第一腔室，所述面板的侧壁设置有与第二腔室连通的出水管，所述出水管通过软管与支撑网板下部吸水泵的吸水端连通，所述底板的背面中心位置处设置有与第一腔室连通的进水管，所述进水管通过软管与支撑网板下部的潜水泵出水端连通，所述面板的表面均匀开设有喷流孔，所述面板的表面环绕喷流孔等角度开设有吸流孔，所述隔板相对第二腔室的端面对应喷流孔所在位置处设置有与第一腔室连通并贯穿延伸至喷流孔外部的喷流管。

根作为本实用新型进一步的方案：所述支撑网板与电镀槽内底之间的距离大于20cm。

作为本实用新型进一步的方案：所述喷流孔的内径大于吸流孔的内径。

作为本实用新型进一步的方案：所述面板、隔板和底板三者的外形轮廓相同。

作为本实用新型进一步的方案：所述固定架与喷流架为可拆卸结构。

作为本实用新型进一步的方案：所述喷流架的外形轮廓为圆形或者方形，喷流架为方形时的宽度与喷流架为圆形的直径相同。

本实用新型的有益效果：

1、将传统板状体的喷流架改为由面板、隔板和底板组成的喷流架，在面板和隔板之间设置有第二腔室，在隔板和底板之间设置有第一腔室，其中，在底板的背面中心位置处设置有与第一腔室连通的进水管，进水管通过软管与潜水泵连通，在面板的侧壁设置有与第二腔室连通的出水管，出水管通过软管与吸水泵连通，而在面板的正面均匀开设有喷流孔，同时在面板的正面环绕喷流孔等角度开设有吸流孔，隔板上设置有与贯穿喷流孔与第一腔室连通的喷流管，这样喷流架使用的过程中，能够通过潜水泵出水从喷流孔内喷流，通过吸水泵吸水从吸流孔内吸流，使电镀液的流动方式由原来垂直方向的喷流变成了水平方向的涡流，避免了与被镀物本身的正面冲击，并且通过侧面涡流的方式减薄阴极膜的厚度，从而提高了电镀的密度。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型电镀喷流装置的结构示意图；

图2是本实用新型中喷流架的内部结构示意图；

图3是实施例1的喷流架侧视图；

图4是实施例2的喷流架侧视图。

图中：1、电镀槽；2、阴极治具；3、固定架；4、喷流架；41、面板；411、出水管；412、吸流孔；413、喷流孔；42、隔板；421、喷流管；43、底板；431、进水管；44、第一腔室；45、第二腔室；5、阳极板；6、支撑网板；7、潜水泵；8、吸水泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3所示，一种喷吸结合的电镀喷流装置，包括电镀槽1、阴极治具2和阳极板5，电镀槽1的一侧内壁固定有阴极治具2，电镀槽1相对阴极治具2的一侧内壁固定有阳极板5，电镀槽1的内底焊接有支撑网板6，电镀槽1的内底位于阴极治具2和阳极板5之间固定有固定架3，固定架3的内部固定有喷流架4，喷流架4由面板41、隔板42和底板43依次拼接而成，其中，面板41与隔板42分隔为第二腔室45，隔板42和底板43分隔为第一腔室44，面板41的侧壁设置有与第二腔室45连通的出水管411，出水管411通过软管与支撑网板6下部吸水泵8的吸水端连通，底板43的背面中心位置处设置有与第一腔室44连通的进水管431，进水管431通过软管与支撑网板6下部的潜水泵7出水端连通，面板41的表面均匀开设有喷流孔413，面板41的表面环绕喷流孔413等角度开设有吸流孔412，隔板42相对第二腔室45的端面对应喷流孔413所在位置处设置有与第一腔室44连通并贯穿延伸至喷流孔413外部的喷流管421。

支撑网板6与电镀槽1内底之间的距离大于20cm，固定架3与喷流架4为可拆卸结构，喷流孔413的内径大于吸流孔412的内径，喷流架4的外形轮廓为圆形，面板41、隔板42和底板43三者的外形轮廓相同。

本实施例喷吸结合的电镀喷流装置在使用时，将需要电镀的被镀物固定在阴极治具2上，向电镀槽1内部注入电镀液，然后给阴极治具2和阳极板5分别连接电源的负极和正极进行供电，同时将开启潜水泵7和吸水泵8，潜水泵7在工作的过程中，将电镀液吸收然后通过软管注入到喷流架4的第一腔室44内，然后通过喷流管421向外喷射，而吸水泵8则通过软管对第二腔室45内的液体进行吸附，使得外界电镀液从吸流孔412内吸入到第二腔室45内，这样在喷流孔413和吸流孔412处形成涡流，减薄阴极膜的厚度，使得阴极治具2在发生反应时，提高了电镀的密度。

实施例2

请参阅图1、图2、图4所示，本实施例的一种喷吸结合的电镀喷流装置，与实施例1的区别在于，喷流架4的外形轮廓为方形，面板41、隔板42和底板43三者的外形轮廓相同，喷流架为方形时的宽度与喷流架为圆形的直径相同。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。