耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺的制作方法
【专利摘要】耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，属于不锈钢电解抛光工艺技术领域。具体步骤为：首先对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干。从而得到表面光亮且具有较高的耐腐蚀性能，采用临界点蚀温度测试(CPT)，观察工件随温度升高表面耐腐蚀性能变化，温度可达到80℃。本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，本发明可得到光亮美观的电抛表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。
【专利说明】
耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺
技术领域
[0001]本发明属于不锈钢电解抛光工艺技术领域，特别是涉及一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺。适于IC装配晶圆加工及处理，环境要求耐腐蚀和外观要求较高的环境。
【背景技术】
[0002]耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，有其特别的重要性。不锈钢电解抛光工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用，IC领域中对不锈钢电解抛光工艺能要求越来越高，由于IC装配晶圆加工及处理环境要求具有较高的耐腐蚀和温度管控，因此开发具有较高耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，提高设备性能及使用寿命有重要意义。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，本发明提供一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，通过对不锈钢材料工件进行电解抛光处理，控制电解抛光过程中溶液浓度，反应温度，反应电压，阴阳极板面积比例，钝化控制等。从而得到具有较高的耐腐蚀性能的光亮美观金属表面，采用临界点蚀温度测试(CPT)，温度可达到80°C。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤:
[0006](I)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra〈0.1;
[0007](2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，S卩:将步骤(I)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；
[0008](3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；
[0009](4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温>80°C，因此具有较高耐腐蚀性能。
[0010]进一步地，所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。
[0011 ] 进一步地，所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra〈0.1
[0012]进一步地，所述电解抛光的溶液为40 % wt磷酸、50 % wt硫酸及1 % wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:50-600C，恒定电压:8-12V，电解抛光:40-120s，电流密度控制在5-7A/dm2。
[0013]进一步地，所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。
[0014]进一步地，所述钝化在50%硝酸中进行，钝化温度20-30 V，钝化时间60_75min。
[0015]本发明的有益效果为:
[0016]1.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，对工件进行临界点蚀温度测试(CPT)，观察其临界点蚀温可达到80°C。
[0017]2.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，可得到光亮美观金属表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。
【具体实施方式】
[0018]下面结合实施例对本发明进行详细描述。
[0019]实施例1:本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤:
[0020](I)选择316/316不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra〈0.1;
[0021](2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，S卩:将步骤(I)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；
[0022](3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；
[0023](4)对步骤(3)处理后的工件进行CPT测试，观察其临界点蚀温>80°C。
[0024]所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra〈0.1
[0025]所述电解抛光的溶液为40 % Wt磷酸、50 % Wt硫酸及1 % wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:55°C，恒定电压:1V，电解抛光:80s，电流密度控制在6A/dm2。
[0026]所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/4。
[0027]所述钝化在50%硝酸中进行，钝化温度25°C，钝化时间70min。
[0028]实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中所述电解抛光的过程工艺参数为:温度:50°C，恒定电压:8V，电解抛光:40s，电流密度控制在5A/dm2。
[0029]所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3。
[0030]所述钝化在50%硝酸中进行，钝化温度20°C，钝化时间60min。
[0031]实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中所述电解抛光的过程工艺参数为:温度:60 °C，恒定电压:12V，电解抛光:120s，电流密度控制在7A/dm2。
[0032]所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/5。
[0033]所述钝化在50%硝酸中进行，钝化温度30°C，钝化时间75min。
【主权项】
1.一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:包括如下步骤: (1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1; (2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，S卩:将步骤(I)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光； (3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干； (4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温>80°C，因此具有较高耐腐蚀性能。2.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。3.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1。4.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:所述电解抛光的溶液为40%wt磷酸、50%wt硫酸及10%wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:50-600C，恒定电压:8-12V，电解抛光:40-120s，电流密度控制在5_7A/dm2。5.按照权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。6.按照权利要求1所述的耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于:所述钝化在50%硝酸中进行，钝化温度20-30 0C，钝化时间60-75min。
【文档编号】C25F3/24GK105926027SQ201610341843
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年5月23日
【发明人】张少杰
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司