一种镀液成份超标自动处理的镀液池的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电镀池，具体地涉及一种镀液成份超标自动处理的镀液池。
【背景技术】
[0002]随着半导体芯片的集成度不断提高，晶体管的特征尺寸不断缩小。进入到130纳米技术节点之后，受到铝的高电阻特性的限制，铜互连逐渐替代铝互连成为金属互连的主流。
[0003]电镀池内的各成分的含量都是有一定范围限制的，若是超标，会导致电路板过连、电镀速率变慢等等。在电镀过程中往往会使得电镀池内的电解液的某些成分的含量超标，从而产生不良影响，因此需要对超标的成分进行处理。
【发明内容】
[0004]本实用新型旨在提供一种镀液成份超标自动处理的镀液池，该种镀液成份超标自动处理的镀液池，可以对超标的电解液成分进行自动处理，从而使得电解液的浓度维持恒定。
[0005]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是:一种镀液成份超标自动处理的镀液池，包括电镀池，所述电镀池内设置有电镀液分析装置和水泵，所述电镀液分析装置设置在电镀池中部，所述电镀池通过第一管路连接过渡池，所述过渡池内中部设置有电镀液分析装置，所述过渡池通过第二管路连接加料装置，所述加料装置高于过渡池。
[0006]进一步的，所述过渡池内设置有水泵，所述第一管路的两端都设置有电磁阀。
[0007]进一步的，所述第二管路设置有电磁阀。
[0008]本实用新型的有益效果是:该种镀液成份超标自动处理的镀液池，可以对超标的电解液成分进行自动处理，从而使得电解液的浓度维持恒定。结构简单，控制方式简单，安全环保，成本低廉，可以将电解液循环使用。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型镀液成份超标自动处理的镀液池的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型镀液成份超标自动处理的镀液池的原理框图。
[0011]其中，1、电镀池，2、过渡池，3、加料装置，4、第二管路，5、电磁阀，6、第一管路，7、水泵，8、电磁阀，9、水泵，11、电镀液分析装置，21、电镀液分析装置。
【具体实施方式】
[0012]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合【具体实施方式】并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
[0013]如图1、2所示，一种镀液成份超标自动处理的镀液池，包括电镀池1，电镀池I内设置有电镀液分析装置11和水泵7，电镀液分析装置11设置在电镀池I中部，电镀池I通过第一管路6连接过渡池2，过渡池2内中部设置有电镀液分析装置21，过渡池2通过第二管路4连接加料装置3，加料装置3高于过渡池2设置。过渡池2内设置有水泵9，第一管路6的两端都设置有电磁阀8，第二管路4设置有电磁阀5。
[0014]如图2为该装置的原理框图，
[0015]电镀池I中的电镀液分析装置11可以实时分析电镀池I中各成分的含量，并将数据传送给单片机，单片机进行处理，若含量超出设定值时，将两个电磁阀8打开，控制水泵7工作将电解液输送到过渡池2中，然后由过渡池2中的电镀液分析装置21分析电镀液的成分，将信号传递给单片机，单片机控制不同的电磁阀5进行动作，当过渡池2中的电镀液的成分含量在设定的范围内时，将两个电磁阀8打开，控制水泵9工作，将电镀液输送到电镀池I中使用。如此往复循环，从而可以循环使用电镀液，降低成本，安全环保。
[0016]应当理解的是，本实用新型的上述【具体实施方式】仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
【主权项】
1.一种镀液成份超标自动处理的镀液池，包括电镀池，其特征在于，所述电镀池内设置有电镀液分析装置和水泵，所述电镀液分析装置设置在电镀池中部，所述电镀池通过第一管路连接过渡池，所述过渡池内中部设置有电镀液分析装置，所述过渡池通过第二管路连接加料装置，所述加料装置高于过渡池。
2.根据权利要求1所述的镀液成份超标自动处理的镀液池，其特征在于，所述过渡池内设置有水泵，所述第一管路的两端都设置有电磁阀。
3.根据权利要求2所述的镀液成份超标自动处理的镀液池，其特征在于，所述第二管路设置有电磁阀。
【专利摘要】本实用新型公开了一种镀液成份超标自动处理的镀液池，包括电镀池，所述电镀池内设置有电镀液分析装置和水泵，所述电镀液分析装置设置在电镀池中部，所述电镀池通过第一管路连接过渡池，所述过渡池内中部设置有电镀液分析装置，所述过渡池通过第二管路连接加料装置，所述加料装置高于过渡池。该种镀液成份超标自动处理的镀液池，可以对超标的电解液成分进行自动处理，从而使得电解液的浓度维持恒定。结构简单，控制方式简单，安全环保，成本低廉，可以将电解液循环使用。
【IPC分类】C25D21-14
【公开号】CN204434760
【申请号】CN201520055525
【发明人】赵进明
【申请人】淮安国丰电子科技有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2015年1月27日