电镀线挂架机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种电镀线挂架机构，包括挂架本体、引电装置、夹持装置和工件；所述挂架本体包括第一架臂和第二架臂，所述夹持装置包括用于固定所述工件的至少四个夹持件，四个所述夹持件两两相对地固定于所述挂架本体上，所述引电装置包括第一连接导线和第二连接导线，所述第一连接导线依次与所述第一架臂、所述第二架臂依次电性连接，所述第二连接导线依次与所述第二架臂、所述第一架臂依次电性连接，所述第一连接导线和所述第二连接导线、所述第一架臂和所述第二架臂、所述夹持件、所述工件之间形成电流通路。上述结构的接线方式可以极大地有力于电镀电流在挂架上的均匀分布，从而改善受镀工件的一次电流分布，提升电镀的均匀性。
【专利说明】
电镀线挂架机构
技术领域
[0001]本实用新型涉及VCP电镀装置技术领域，特别是一种电镀线挂架机构。
【背景技术】
[0002]随着半导体不断提升制程能力，IC载板也面临着线路精细程度不断提高、产品层数不断递增的压力，而电镀过程是提升IC载板制程能力至关重要的一环。因此，电镀线对薄板的应对能力和均匀性的要求同样越来越高，但目前大多数电镀线往往不能同时克服以上问题。而解决上述问题的关键就是VCP线挂架，多数VCP电镀线由于挂架问题，限制了其进一步提升薄板应对和均匀性的能力。现有VCP电镀线挂架普遍存在以下问题:夹点设计较少，电流分布不均，电镀过程中，受镀板易产生形变，导致电镀均匀性不佳及薄板应对能力较差，容易造成板损等。
【发明内容】
[0003]基于此，本实用新型在于克服现有技术的缺陷，提供一种电流分布均匀性好，电镀均匀性高且结构简单的电镀线挂架机构。
[0004]其技术方案如下:
[0005]—种电镀线挂架机构，包括挂架本体、引电装置、夹持装置和工件；
[0006]所述挂架本体包括第一架臂和第二架臂，所述夹持装置包括用于固定所述工件的至少四个夹持件，四个所述夹持件两两相对地固定于所述挂架本体上，所述引电装置包括第一连接导线和第二连接导线，所述第一连接导线依次与所述第一架臂、所述第二架臂依次电性连接，所述第二连接导线依次与所述第二架臂、所述第一架臂依次电性连接，所述第一连接导线和所述第二连接导线、所述第一架臂和所述第二架臂、所述夹持件、所述工件之间形成电流通路。
[0007]在其中一个实施例中，所述挂架本体包括相互连接的挂架座和挂架框，所述挂架座包括连接横架，所述夹持件的数量为八个，且八个所述夹持件以四个为一组地分别固定于所述连接横架和所述挂架框上。
[0008]在其中一个实施例中，还包括第一锁紧调节件和第二锁紧调节件，所述连接横架的两侧分别设有第一滑槽和第二滑槽，所述挂架框包括第一导电边框和第二导电边框，所述第一导电边框通过所述第一锁紧调节件可滑动地固定于所述第一滑槽，所述第二导电边框通过所述第二锁紧调节件可滑动地固定于所述第二滑槽。
[0009]在其中一个实施例中，所述挂架框还包括固定连接于所述第一导电边框和所述第二导电边框间的底框，所述底框的表面涂覆有绝缘层。
[0010]在其中一个实施例中，所述夹持件包括夹持本体及夹持件绝缘层，所述夹持本体包括相互连接的夹爪和夹座，所述夹爪与所述工件夹紧，所述夹座固定于所述挂架座，所述夹持件绝缘层覆设于所述夹座。
[0011]在其中一个实施例中，所述夹持本体与所述工件的接触处设有防护层。
[0012]在其中一个实施例中，所述挂架框为一体式框架结构。
[0013]本实用新型的有益效果在于:
[0014]上述电镀线挂架机构的所述引电装置、所述挂架本体、所述夹持装置及所述工件依次电性连通，通过四个所述夹持件可以稳固地装夹所述工件，通过所述引电装置的所述第一连接导线依次与所述第一架臂和所述第二架臂电性连接，所述第二连接导线依次与所述第二架臂和所述第一架臂电性连接的接线方式，可以极大地有力于电镀电流在挂架上的均匀分布，从而改善受镀工件的一次电流分布，提升电镀的均匀性。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型实施例所述的电镀线挂架机构的结构示意图。
[0016]附图标记说明:
[0017]100、挂架本体，120、挂架座，122、第一架臂，124、第二架臂，126、连接横架，127、第一滑槽，128、第二滑槽，140、挂架框，142、第一导电边框，144、第二导电边框，146、底框，148、绝缘层，200、引电装置，220、第一连接导线，240、第二连接导线，300、夹持装置，320、夹持件，322、夹持本体，324、夹持件绝缘层，326、夹爪，328、夹座，400、工件，500、第一锁紧调节件，600、第二锁紧调节件。
【具体实施方式】
[0018]下面对本实用新型的实施例进行详细说明:
[0019]如图1所示，一种电镀线挂架机构，包括挂架本体100、引电装置200、夹持装置300和工件400 ；
[0020]所述挂架本体100包括第一架臂122和第二架臂124，所述夹持装置300包括用于固定所述工件400的至少四个夹持件320，四个所述夹持件320两两相对地固定于所述挂架本体100上，所述引电装置200包括第一连接导线220和第二连接导线240，所述第一连接导线220依次与所述第一架臂122、所述第二架臂124依次电性连接，所述第二连接导线240依次与所述第二架臂124、所述第一架臂122依次电性连接，所述第一连接导线220和所述第二连接导线240、所述第一架臂122和所述第二架臂124、所述夹持件320、所述工件400之间形成电流通路。
[0021]其中，所述工件400为受镀板，通过所述引电装置200的所述第一连接导线220依次与所述第一架臂122和所述第二架臂124电性连接，所述第二连接导线240依次与所述第二架臂124和所述第一架臂122电性连接的接线方式，可以极大地有力于电镀电流在挂架上的均匀分布，从而改善受镀工件的一次电流分布，提升电镀的均匀性。此外，四个所述夹持件320两两相对地分别固定于所述挂架座120和所述挂架框140上，可以提高装夹受镀板的稳固性，提高电镀线挂架机构的工作可靠性。上述引电装置还包括直流电源，所述第一连接导线220和所述第二连接导线240均与直流电源连接。
[0022]上述电镀线挂架机构用于电镀设备中，且该挂架采用立式的布置结构，即所述挂架本体100的所述挂架座120位于上方，所述挂架框140安装于所述挂架座120的下方，并通过四个所述夹持件320装夹固定于所述挂架座120和所述挂架框140形成的矩形镂空装夹区域内，其安装过程为:受镀板在上板前被上板机支撑顶起，待受镀板与所述夹持件320夹紧后，上板机顶住所述挂架框140下端的装置回撤，从而使受镀板与所述挂架框140通过自身的重力作用而下降，此时受镀板被拉直，整个受镀过程板件无形变。该设计是VCP电镀线能够使应对超薄板，防止薄板在受镀过程中形变及板损的关键。所述挂架框140为一体式框架结构。将所述挂架框采用一体式结构，可以使其具备更好的结构强度，从而确保该电镀挂架结构的寿命更长。
[0023]所述夹持件320包括夹持本体322及夹持件绝缘层324，所述夹持本体322包括相互连接的夹爪326和夹座328，所述夹爪326与所述工件400夹紧，所述夹座328固定于所述挂架座120，所述夹持件绝缘层324覆设于所述夹座328。
[0024]其中，所述夹持本体322为弹簧式金属夹，其包括所述夹爪326和所述夹座328，所述夹持件绝缘层324为弹簧式金属夹的表面涂覆的绝缘层结构，将所述夹持件320设计成由所述夹持本体322和所述夹持件绝缘层324组成，当浸没于电镀液位以下进行电镀加工时，该结构可以防止受镀过程中金属沉积于所述夹持件320的表面，影响其寿命，工件加工质量。
[0025]所述挂架框140还包括固定连接于所述第一导电边框142和所述第二导电边框144间的底框146，所述底框146的表面涂覆有绝缘层148。
[0026]所述挂架框140为钛合金等金属材质制造，通过所述第一导电边框142和所述第二导电边框144可以起到良好的分流作用，将受镀板板边处过多的电力线分流，以降低受镀板板边的铜厚，提升电镀均匀性。另外，在所述底框146上涂覆绝缘材料，可以防止电镀时金属沉积于其表面，过多地分流受镀板底部的电力线，影响板面电镀质量。
[0027]所述挂架本体100包括相互连接的挂架座120和挂架框140，所述挂架座120包括连接横架126，所述夹持件320的数量为八个，且八个所述夹持件320以四个为一组地分别固定于所述连接横架126和所述挂架框140上。
[0028]作为一个优选的实施例，所述夹持装置300包括八个所述夹持件320，其中四个所述夹持件320均匀地安装于所述挂架座120的所述连接横架126上，另外四个所述夹持件320亦均匀地安装于所述挂架框140上，且上下四个所述夹持件320均水平等距离分布，由此可以较大地提高电镀电流到受镀板板面上的均匀分布能力，确保良好的电镀均匀性，同时还可以进一步提高受镀板的装夹稳定性。当然，在其他实施例中也可以使用其他数量的所述夹持件320，也在本实用新型的保护范围内。
[0029]此外，所述夹持本体322与所述工件400的接触处设有防护层。在所述夹持件320的所述夹持本体322与受镀板夹持接触的部位安装所述防护层，可以避免因夹持力过大或金属硬度大，对受镀板的表面造成损伤，影响工件的表面质量。其中所述防护层可以是导电硅月父、导电海绵等。
[0030]上述电镀线挂架机构还包括第一锁紧调节件500和第二锁紧调节件600，所述连接横架126的两侧分别设有第一滑槽127和第二滑槽128，所述挂架框140包括第一导电边框142和第二导电边框144，所述第一导电边框142通过所述第一锁紧调节件500可滑动地固定于所述第一滑槽127，所述第二导电边框144通过所述第二锁紧调节件600可滑动地固定于所述第二滑槽128。
[0031]上述挂架框140为U型框架结构，该U型框架结构包括所述第一导电边框142和所述第二导电边框144，所述第一锁紧调节件500和所述第二锁紧调节件600为罗栓、螺母等，其中所述第一导电边框142和所述第二导电边框144为金属材质的杆件，所述U型框架结构的所述第一导电边框142和所述第二导电边框144分别通过所述第一锁紧调节件500和所述第二锁紧调节件600可滑动地固定于所述第一滑槽127和所述第二滑槽128，从而可以实现所述挂架框140相对于所述挂架座120的移动，实现由所述挂架框140自身的重力对受镀板进行拉张作用，同时可以适应不同尺寸受镀板件的安装，提高挂架结构的工作柔性度和广度。
[0032]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0033]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种电镀线挂架机构，其特征在于，包括挂架本体、引电装置、夹持装置和工件； 所述挂架本体包括第一架臂和第二架臂，所述夹持装置包括用于固定所述工件的至少四个夹持件，四个所述夹持件两两相对地固定于所述挂架本体上，所述引电装置包括第一连接导线和第二连接导线，所述第一连接导线依次与所述第一架臂、所述第二架臂依次电性连接，所述第二连接导线依次与所述第二架臂、所述第一架臂依次电性连接，所述第一连接导线和所述第二连接导线、所述第一架臂和所述第二架臂、所述夹持件、所述工件之间形成电流通路。2.根据权利要求1所述的电镀线挂架机构，其特征在于，所述挂架本体包括相互连接的挂架座和挂架框，所述挂架座包括连接横架，所述夹持件的数量为八个，且八个所述夹持件以四个为一组地分别固定于所述连接横架和所述挂架框上。3.根据权利要求2所述的电镀线挂架机构，其特征在于，还包括第一锁紧调节件和第二锁紧调节件，所述连接横架的两侧分别设有第一滑槽和第二滑槽，所述挂架框包括第一导电边框和第二导电边框，所述第一导电边框通过所述第一锁紧调节件可滑动地固定于所述第一滑槽，所述第二导电边框通过所述第二锁紧调节件可滑动地固定于所述第二滑槽。4.根据权利要求3所述的电镀线挂架机构，其特征在于，所述挂架框还包括固定连接于所述第一导电边框和所述第二导电边框间的底框，所述底框的表面涂覆有绝缘层。5.根据权利要求1所述的电镀线挂架机构，其特征在于，所述夹持件包括夹持本体及夹持件绝缘层，所述夹持本体包括相互连接的夹爪和夹座，所述夹爪与所述工件夹紧，所述夹座固定于所述挂架座，所述夹持件绝缘层覆设于所述夹座。6.根据权利要求5所述的电镀线挂架机构，其特征在于，所述夹爪与所述工件的接触处设有防护层。7.根据权利要求1所述的电镀线挂架机构，其特征在于，所述挂架框为一体式框架结构。
【文档编号】C25D17/08GK205474078SQ201620115859
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】黄海阳, 李志东, 谢添华
【申请人】广州兴森快捷电路科技有限公司, 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司, 广州市兴森电子有限公司