一种用于半导体硅片电泳的装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于半导体硅片电泳的装置，包括主体框架，所述主体框架内部底端设置有底座，所述主体框架前端面的工作槽位置通过活动门来开启和关闭，所述主体框架上设置有可供活动门上下滑动的滑道；所述主体框架一侧设置有电控柜，所述主体框架另一侧设置有消防装置，所述工作槽、机械传动装置、活动门和消防装置均与电控柜相连。本实用新型所述的用于半导体硅片电泳的装置增加了消防装置和活动门，通过测温传感器和丙酮浓度检测装置实时监测，预防消除火灾隐患，且在消防装置启动前可自动关闭活动门，使设备内部封闭，防止消防机构动作对人造成伤害。
【专利说明】
一种用于半导体硅片电泳的装置
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体设备制造技术领域，尤其是涉及一种用于半导体硅片电泳的装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体工业的迅速发展，玻璃钝化工艺的应用越来越普遍，目前涂敷玻璃主要有三种方法:医用手术刀法，电泳法和旋转匀涂法，相比于其他两种方法电泳法玻璃涂层厚度可控并且更均匀，现有的电泳机大多在溶液起火时无应对措施，且机械传动装置的稳定性差，这就需要一种运动可靠，且满足消防和环保要求的电泳装置。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型旨在提出一种运动可靠，且满足消防和环保要求的用于半导体硅片电泳的装置。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0005]—种用于半导体硅片电泳的装置，包括主体框架，所述主体框架内部底端设置有底座，所述底座上端设置有若干个工作槽，所述工作槽的上方设置有机械传动装置;所述主体框架的后端面设置有后封板，所述主体框架的两侧面设置有侧封板，所述主体框架的前端面上位于工作槽上方和下方处设置有前封板，所述主体框架前端面的工作槽位置通过活动门来开启和关闭，所述主体框架上设置有可供活动门上下滑动的滑道;所述主体框架一侧设置有电控柜，所述主体框架另一侧设置有消防装置，所述工作槽、机械传动装置、活动门和消防装置均与电控柜相连。
[0006]进一步的，所述主体框架上设置有风路通道和水路通道。
[0007]进一步的，所述主体框架的外部底端设置有若干个刹车脚轮。
[0008]进一步的，所述消防装置包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器。
[0009]相对于现有技术，本实用新型所述的用于半导体硅片电泳的装置具有以下优势:增加了消防装置和活动门，通过测温传感器和丙酮浓度检测装置实时监测，预防消除火灾隐患，且在消防装置启动前可自动关闭活动门，使设备内部封闭，防止消防机构动作对人造成伤害。
【附图说明】
[0010]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0011]图1为本实用新型的主视图；
[0012]图2为本实用新型的侧视图。
[0013]附图标记说明:
[0014]1-主体框架，2-底座，3-工作槽，4-机械传动装置，5-活动门，6_电控柜，7_消防装置，8-刹车脚轮。
【具体实施方式】
[0015]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0016]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0017]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0018]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0019]如图1和2所示，一种用于半导体硅片电泳的装置，包括主体框架I，所述主体框架I是为设备内部各机构提供安装固定位置的机构；
[0020]所述主体框架I内部底端设置有底座2，所述底座2上端设置有若干个工作槽3;
[0021]所述工作槽3为超声槽，包括外槽，所述外槽内部设置有内槽，所述内槽的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子，所述内槽内部设置有若干个石英杯底座，石英杯置于所述石英杯底座上，放有硅片的电泳架放在石英杯中，超声振子可对石英杯中的电泳混合液进行震动，使得玻璃粒子尽可能的悬浮在石英杯中，有效避免了玻璃粒子下沉堆积的现象，所述内槽壁上设置有进水口和内槽出水口，所述进水口与外部水源连通，所述内槽出水口通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口，所述溢流排水口通向外槽外部，进水口、内槽出水口和溢流排水口的配合可实现水质循环，避免了水质因震动产生的温度升高；
[0022]所述工作槽3的上方设置有机械传动装置4，所述机械传动装置4包括提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆的上部和中部由轴承固定，所述两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，所述提升连杆上部由轴承固定，所述平衡臂下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板的侧面上设有提升左臂和提升右臂，所述提升左臂与提升右臂之间固定有提升架固定连杆，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关；
[0023]所述提升基板固定在主体框架内部，所述由提升左臂、提升右臂和提升架固定连杆构成的提升支架位于工作槽3的正上方，电泳架放置在提升支架上，放置好后，启动电缸，电缸驱动平衡臂上升或下降，平衡臂带动导向杆和提升连杆上下运动，进而带动提升架载板上升或下降，提升连杆两侧的导向杆可起到稳定支撑提升架载板的作用，同时提升基板上的光电开关用于检测运动是否到位，将检测信号传送至控制器，控制器控制电缸的停止，实现机械传动装置带动电泳架进出工作槽3;
[0024]所述主体框架I的后端面设置有后封板，所述主体框架I的两侧面设置有侧封板，所述主体框架I的前端面上位于工作槽3上方和下方处设置有前封板，所述主体框架I前端面的工作槽3位置通过活动门5来开启和关闭，所述主体框架上设置有可供活动门上下滑动的滑道，当工作槽中的液体爆燃时，可控制活动门5关闭，保护设备操作工免受消防器材喷出二氧化碳的伤害，同样隔绝空气，避免火灾进一步扩大；
[0025]进一步的，所述主体框架I上设置有风路通道和水路通道，所述主体框架I的外部底端设置有若干个刹车脚轮8;
[0026]所述主体框架I一侧设置有电控柜6，所述主体框架I另一侧设置有消防装置7，所述工作槽3、机械传动装置4、活动门5和消防装置7均与电控柜6相连；
[0027]进一步的，所述消防装置包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器。
[0028]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于半导体硅片电泳的装置，其特征在于:包括主体框架(I)，所述主体框架(I)内部底端设置有底座(2)，所述底座(2)上端设置有若干个工作槽(3)，所述工作槽(3)的上方设置有机械传动装置(4); 所述主体框架(I)的后端面设置有后封板，所述主体框架(I)的两侧面设置有侧封板，所述主体框架(I)的前端面上位于工作槽(3)上方和下方处设置有前封板，所述主体框架(I)前端面的工作槽(3)位置通过活动门(5)来开启和关闭，所述主体框架(I)上设置有可供活动门(5)上下滑动的滑道； 所述主体框架(I)一侧设置有电控柜(6)，所述主体框架(I)另一侧设置有消防装置(7)，所述工作槽(3)、机械传动装置(4)、活动门(5)和消防装置(7)均与电控柜(6)相连。2.根据权利要求1所述的用于半导体硅片电泳的装置，其特征在于:所述主体框架(I)上设置有风路通道和水路通道。3.根据权利要求1所述的用于半导体硅片电泳的装置，其特征在于:所述主体框架(I)的外部底端设置有若干个刹车脚轮(8)。4.根据权利要求1所述的用于半导体硅片电泳的装置，其特征在于:所述消防装置(7)包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器。
【文档编号】C25D13/00GK205616974SQ201620281434
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】靳立辉, 张学强, 贾弘源, 王国瑞, 高树良
【申请人】天津中环半导体股份有限公司