专利名称：可加热式微波管排气用分子泵的制作方法
技术领域：
可加热式微波管排气用分子泵
技术领域：
本实用新型涉及电真空领域，特别涉及到一种可加热式微波管排气用分子泵的结构。
背景技术：
真空微波电子器件也称真空微波管，是指利用电子在真空中与电磁场发生相互作用，将电子的直流能量转换为另一种形式的微波能量的器件。微波真空器件工作时需要在管内维持10_5Pa以上的高真空度。因此微波管都需要进行复杂的排气工艺，现在通用的排气工艺一般可将管内真空度排至10_7Pa，在这一真空度下，微波管可以获得5年以上的贮存寿命。现代微波管均采用双真空排气台进行排气，即将微波管安装到排气台的排气口上，用分子泵与机械泵级联的方式对微波管内真空进行排气；同时用排气台上的钟罩将微波管罩住，利用另外一组分子泵与机械泵级联的方式对钟罩进行排气，也就是微波管的外真空。为了获得10-7 以上的高真空度，需要将微波管在500°C下烘烤M小时，同时要将所有的排气连接管道加热到150°C左右进行烘烤。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后被前级抽走的一种真空泵。可以获得高的真空度，并且可以做到完全无油工作，是一种在微波管排气领域应用最广的高真空泵。因为分子泵的转子的转速很快，发动机均需要采用液冷。因此分子泵的转子与定子的温度会维持在室温附近。当真空度达到10-6 时，分子泵自身所吸附的气体阻碍了真空度的进一步提高，因为在所有真空管道的其余部分均加热到150°C左右，这些管道所吸附的气体在长时间的烘烤后均已经排干净，但唯独分子泵本身的温度维持在室温左右，所以其自身吸附的气体很难排净。常用的分子泵结构示意图如图1所示。图1中1是转子、2是定子、3是电机、4是轴承、5是电机的液冷系统，作在定子上， 6是进气口，7是出气口。转子1装置在轴承4的内圈，轴承4的外圈固定在定子2上，电机 3固定在定子2的下端，位于转子1和定子2之间，液冷系统5固定在定子2上，紧挨电机 3，进气口 6位于定子2顶端，出气口 7位于定子2中部。从图1中可见，分子泵的定子2是整体式的结构，液冷系统5在对电机3进行冷却的同时，也将一体式的定子2进行了冷却，所以定子2的温度维持在室温附近，其吸附的气体很难解吸，在真空度很高时(10-6Pa)将制约真空度的进一步提高并影响分子泵的排气效率。本实用新型提出一种可加热式微波管排气用分子泵的结构，可以解决以上问题。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种可加热式的微波管排气用分子泵的结构，可以获得高的真空度以及提高分子泵的排气效率。[0011]本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的一种可加热式微波管排气用分子泵，包括转子、定子、电机、轴承、液冷系统、进气口，以及出气口，所述定子分割成独立的两部分，即下定子和上定子，转子装置在轴承的内圈，轴承的外圈分别固定在下定子和上定子上，电机固定在下定子，位于转子和下定子之间，液冷系统固定在下定子上，紧挨电机，进气口位于上定子顶端，出气口位于上定子的下部。本实用新型进一步具体为所述下定子和上定子之间用连接件进行连接。所述连接件为不锈钢或者氧化铝陶瓷。下定子和上定子与连接件分别采用螺丝锁接。在上定子部分的外面安装了加热丝。本实用新型的优点是利用该结构既可以对分子泵的电机进行液冷，同时又可以对分子泵的定子进行加热，用来促进分子泵自身吸附的气体的解析，最终可以获得高的真空度以及提高分子泵的排气效率。
图1所示为常用分子泵的结构示意图。图2所示为本实用新型所述的可加热式分子泵结构示意图。
具体实施方式下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。本实用新型所述的可加热式分子泵结构示意图如图2所示。图2中1是转子、3是电机、4是轴承、5是电机的液冷系统，6是进气口，7是出气□。分子泵的定子被分割成了独立的两部分即靠近电机3的下定子M和靠近进气口 6的上定子22。下定子M和上定子22之间用连接件9进行连接。本实施例中，下定子M 和上定子22与连接件9分别采用螺丝锁接。所述连接件9采用热阻很大的材料制作，例如不锈钢或者氧化铝陶瓷。在上定子22部分的外面安装了加热丝10，可以对上定子22进行烘烤，达到除气的目的。转子1装置在轴承4的内圈，轴承4的外圈分别固定在下定子M和上定子22上， 电机3固定在下定子M，位于转子1和下定子M之间，液冷系统5固定在下定子M上，紧挨电机3，进气口 6位于上定子22顶端，出气口 7位于上定子22的下部。因为连接件9的热阻很高，可以将上定子22和下定子M的温度分开，即不影响下定子M中液冷系统5对电机3的冷却，也不影响上定子22外加热丝10对上定子22的烘烤。本实验新型结构简易可行，具有一定的推广价值。
权利要求1.一种可加热式微波管排气用分子泵，包括转子、定子、电机、轴承、液冷系统、进气口， 以及出气口，其特征在于所述定子分割成独立的两部分，即下定子和上定子，转子装置在轴承的内圈，轴承的外圈分别固定在下定子和上定子上，电机固定在下定子，位于转子和下定子之间，液冷系统固定在下定子上，紧挨电机，进气口位于上定子顶端，出气口位于上定子的下部。
2.如权利要求1所述的可加热式微波管排气用分子泵，其特征在于所述下定子和上定子之间用连接件进行连接。
3.如权利要求2所述的可加热式微波管排气用分子泵，其特征在于所述连接件为不锈钢或者氧化铝陶瓷。
4.如权利要求2或3所述的可加热式微波管排气用分子泵，其特征在于下定子和上定子与连接件分别采用螺丝锁接。
5.如权利要求1至3任一项所述的可加热式微波管排气用分子泵，其特征在于在上定子部分的外面安装了加热丝。
专利摘要本实用新型公开了一种可加热式微波管排气用分子泵，包括转子、定子、电机、轴承、液冷系统、进气口，以及出气口，所述定子分割成独立的两部分，即下定子和上定子，转子装置在轴承的内圈，轴承的外圈分别固定在下定子和上定子上，电机固定在下定子，位于转子和下定子之间，液冷系统固定在下定子上，紧挨电机，进气口位于上定子顶端，出气口位于上定子的下部。所述下定子和上定子之间用连接件进行连接。在上定子部分的外面安装了加热丝。本实用新型的优点是利用该结构既可以对分子泵的电机进行液冷，同时又可以对分子泵的定子进行加热，用来促进分子泵自身吸附的气体的解析，最终可以获得高的真空度以及提高分子泵的排气效率。
文档编号F04D19/04GK202073802SQ20112014303
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月6日 优先权日2011年5月6日
发明者吴华夏, 方卫, 江祝苗 申请人:安徽华东光电技术研究所