专利名称：一种真空除气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种抽真空技术，尤其涉及一种真空除气系统。
背景技术：
石油是一种无法短期内再生的资源，在日益短缺的当今社会，发展新能源燃料已经成为一个新热点。随着排放法规的日益严格和能源需求的日益增大，天然气由于储量丰富，低排放等特点成为各大汽车厂商开发替代燃料汽车的理想选择。采用低温绝热瓶存储运输液化天然气是现在汽车工业的一个重要措施，而低温绝热瓶的高真空夹层需要包裹多层绝热材料，夹层的真空度对隔热夹层降低漏热和低温绝热瓶的安全都有非常重要的影响，因此需 要更好的抽真空装置以保证绝热瓶夹层的真空度。
实用新型内容本实用新型目的在于提供一种新型真空除气系统，能够更好地对低温绝热瓶中的夹层进行抽真空。本实用新型的技术方案为一种真空除气系统，包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道，油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接，真空维持泵与油扩散泵通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。所述真空维持泵是油旋片维持真空泵。所述真空除气系统还包括烘房，真空主管道固定在烘房平台上。所述真空主管道采用U型卡箍固定在烘房平台上。所述真空除气系统还包括氮气加热器，氮气加热器通过管道与真空主管道连接。所述真空除气系统还包括液氮管路，液氮管路设置在真空主管道内，液氮管路的进出口设置在真空主管道上。所述抽真空机组包括旋片式真空泵和罗茨泵，旋片式真空泵连接罗茨泵，罗茨泵通过真空挡板阀一连接真空主管道。所述真空主管道内壁表面抛光度为O. 2Ra以下。本实用新型的真空除气系统，能处理的气体介质为空气、水蒸气、氢气、一氧化碳、二氧化碳等，经本系统除气后的低温绝热瓶的夹层真空度可达5X10_4Pa，远远高出同类产品性能指标5. OX KT2Pa的两个数量级，大大的提高了低温绝热瓶的安全性能。真空主管道中设计制作液氮管路在抽真空过程当中进行充装液氮将管道残余气体冷冻吸附从而真空度提高一个数量级以上。将真空主管道内壁进行镜面抛光O. 2Ra以下，气体在分子流状态下使其管道内壁吸附气体的能力降低，从而提闻抽气速率，提闻抽气效率。
图I是本实用新型的真空除气系统的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的精炼铜液冷却系统进行详细说明。如图I所示，一种真空除气系统，包括油扩散泵I、抽真空机组、真空维持泵2、真空挡板阀一 3、真空挡板阀二 4和真空主管道5，油扩散泵I的上端通过真空挡板阀二 4与真空主管道5连接，真空维持泵2与油扩散泵I通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一3与真空主管道5连接。真空维持泵2是油旋片维持真空泵。抽真空机组包括旋片式真空泵6和罗茨泵7，旋片式真空泵6连接罗茨泵7，罗茨泵7通过真空挡板阀一 3连接真空主管道5。油扩散泵I具有一扩散泵加热器，该加热器设置在油扩散泵I的低端用来加热扩散泵油，泵油达到一定温度以后在油扩散泵I腔体内扩散喷射带走油扩散泵I上端泵口的气体分子形成真空。油扩散泵I下方设置有冷水机组8，冷水机组8用于油扩散泵I专用冷·水循环降温。在真空主管道5与低温绝热瓶之间设置手动真空挡板阀16，手动真空挡板阀16，用真空快速连接法兰卡套连接到真空主管道5上。油扩散泵I的排气口上方设置真空挡板阀三13。真空挡板阀一 3、真空挡板阀二 4和真空挡板阀三13都为气动真空挡板阀。真空除气系统还包括氮气加热器9，氮气加热器9通过管道与真空主管道5连接。氮气加热器9将热氮气充入真空主管道5内，置换真空主管道5中的空气，使高真空更容易获得。真空除气系统还包括液氮管路10，液氮管路10设置在真空主管道5内，液氮管路10的进出口设置在真空主管道5上。冷阱14与液氮管路10连接，冷井17向液氮管路10注入液氮。真空除气系统还包括烘房11，真空主管道5通过U型卡箍固定在烘房11平台上。真空除气系统通过一电控柜12控制真空挡板阀一 3、真空挡板阀二 4和真空挡板阀三13的开启和关闭，控制各泵的启停，控制冷水机组8的启停以及氮气加热器9的开启。电控柜12、冷水机组8和氮气加热器9用螺栓固定到底座14.在真空主管道5上有压力传感器15。所有管道连接的法兰部分均为“O”型耐高温氟橡胶密封圈。本实用新型的工作原理如下I、将40 60支125L的待除气气瓶通过抽真空工装连接到真空主管道5上，打开手动真空挡板阀12。2、打开40 60支GZ-01抽真空工装，开启真空挡板阀二 4并关闭真空挡板阀一
3、和真空挡板阀三13。3、启动真空维持泵2，当油扩散泵I泵腔真空度达到5Pa时开启油扩散泵加热器预加热。并启动冷水机组8。4、启动抽真空机组进行预抽真空，先启动旋片式真空泵6抽真空，当真空度达到500Pa后启动罗茨泵7。5、当系统真空度达到5Pa时，启动氦质谱检漏仪进入精检模式，对40 60瓶的抽真空工装，以及阀门连接处进行喷氦检漏。漏率要求为5X10_9Pa -mVs.[0032]6、确定无漏后开启加热装置对气瓶进行加热，加热温度不低于100摄氏度，不高于120摄氏度。加热过程中，对真空系统进行充热氮气，温度控制在80摄氏度左右，将系统内的真空度充至接近一个大气压。然后连续加热12小时。7、启动抽真空机组进行抽真空。当系统真空度到达5Pa时，关闭真空挡板阀二 4，打开真空挡板阀一 3、和真空挡板阀三13启动油扩散泵I进行高真空排气。连续排气5 6小时。8、使用80 100摄氏度左右的干燥氮气进行3 6次氮气置换。9、以油扩散泵I为主泵进行为期20小时的最终排气过程，在此过程中可向冷阱14加注液氮。10、关闭烘房11加热器降温至环境温度关闭气瓶与系统连接处的40 60支抽真 空工装。11、降温完毕后操作人员进行最后封离。
权利要求1.一种真空除气系统，其特征在于，包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道，油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接，真空维持泵与油扩散泵通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。
2.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空维持泵是油旋片维持真空泵。
3.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空除气系统还包括氮气加热器，氮气加热器通过管道与真空主管道连接。
4.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空除气系统还包括液氮管路，液氮管路设置在真空主管道内，液氮管路的进出口设置在真空主管道上。
5.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述抽真空机组包括旋片式真空泵和罗茨泵，旋片式真空泵连接罗茨泵，罗茨泵通过真空挡板阀一连接真空主管道。
6.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空除气系统还包括烘房，真空主管道固定在烘房平台上。
7.根据权利要求6所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空主管道采用U型卡筛固定在烘房平台上。
8.根据权利要求I所述的真空除气系统，其特征在于，所述真空主管道内壁表面抛光度为O. 2Ra以下。
专利摘要本实用新型公开了一种真空除气系统，包括油扩散泵、抽真空机组、真空维持泵、真空挡板阀一、真空挡板阀二和真空主管道，油扩散泵的上端通过真空挡板阀二与真空主管道连接，真空维持泵与油扩散泵通过管道连接，抽真空机组通过真空挡板阀一与真空主管道连接。采用本实用新型的真空除气系统除气后的低温绝热瓶的夹层真空度可达5×10-4Pa，远远高出同类产品性能指标5.0×10-2Pa的两个数量级，大大的提高了低温绝热瓶的安全性能。真空主管道中的液氮管路在抽真空过程可将管道残余气体冷冻吸附从而提高真空度。将真空主管道内壁进行镜面抛光0.2Ra以下，降低管道内壁吸附气体的能力，从而提高抽气速率。
文档编号F04B41/00GK202707433SQ201220386808
公开日2013年1月30日 申请日期2012年8月7日 优先权日2012年8月7日
发明者刘伯均 申请人:北京和华腾真空泵压缩机有限公司