用于多晶炉的联动抽真空装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个多晶炉一一对应，抽真空机构包括真空泵系统、防倒流电磁阀和排外阀，真空泵系统的抽真空口连接防倒流电磁阀后连接至相对应的多晶炉，真空泵系统的出气口连接排外阀后连接至抽空排外管，还包括PLC控制器、真空压力传感器和多个联动不锈钢球阀，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀，联动不锈钢球阀的一端并接在相应的多晶炉和防倒流电磁阀之间，另一端通过总抽空管并接在一起，真空压力传感器安装在总抽空管上，所述的联动不锈钢球阀和防倒流电磁阀的信号输入端均连接在PLC控制器上，所述的真空压力传感器的信号输出端连接在PLC控制器上。本实用新型能够实现一台真空泵拖动多台多晶炉的联动运行，降低多晶炉运行时的能耗。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种用于多晶炉的联动抽真空装置。 用于多晶炉的联动抽真空装置
【背景技术】
[0002] 目前，在多晶炉铸锭生产过程中，多晶炉的真空环境保持，需要真空泵的连续抽空 运行，目前的运行方式是单台多晶炉配备相应的真空泵，需要消耗较高的电能及润滑油脂 等。
【发明内容】
[0003] 本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种用于多晶炉的 联动抽真空装置，它能够实现多台多晶炉的联动运行，降低其能耗。
[0004] 为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种用于多晶炉的联动抽真 空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个多晶炉一一对应，抽真空机构包括真 空泵系统、防倒流电磁阀和排外阀，真空泵系统的抽真空口连接防倒流电磁阀后连接至相 对应的多晶炉，真空泵系统的出气口连接排外阀后连接至抽空排外管，还包括PLC控制器、 真空压力传感器和多个联动不锈钢球阀，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀，联动 不锈钢球阀的一端并接在相应的多晶炉和防倒流电磁阀之间，另一端通过总抽空管并接在 一起，真空压力传感器安装在总抽空管上，所述的联动不锈钢球阀和防倒流电磁阀的信号 输入端均连接在PLC控制器上，所述的真空压力传感器的信号输出端连接在PLC控制器上。
[0005] 进一步为了更好地实施真空泵系统的对多个多晶炉的联动抽真空的效果，该用于 多晶炉的联动抽真空装置还包括联动抽真空机构，该联动抽真空机构包括联动真空泵系 统、联动防倒流电磁阀和联动排外阀，多个联动不锈钢球阀的另一端并接在一起后依次连 接联动防倒流电磁阀、联动真空泵系统和联动排外阀后连接至抽空排外管，联动防倒流电 磁阀也连接在PLC控制器上。
[0006] 进一步为了能够在真空度无法达到时起到提示作用，PLC控制器上连接有报警灯 电路或蜂鸣器响声提示电路，并且报警灯电路或蜂鸣器响声提示电路与总抽空管上的真空 压力传感器相对应配合。
[0007] 更进一步，所述的多晶炉设置有9个或11个或13个，所述的抽真空结构也具有相 应的9个或11个或13个。
[0008] 采用了上述技术方案后，防倒流电磁阀用于控制相应的真空泵系统停止运行后的 大气倒流，通过多晶炉相对应的联动不锈钢球阀的关闭自动脱离连动系统并启动该多晶炉 的抽真空机构，以保证机器的正常运行；在生产过程中，如果出现一台真空泵系统抽空不能 满足多晶炉的生产需求时，可以同时开启两台真空泵系统运行，以保证生产机器正常运行， 从而降低能耗。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 图1为本实用新型的用于多晶炉的联动抽真空装置的结构示意简图；
[0010] 图2为本实用新型的用于多晶炉的联动抽真空装置的安装示意图。
【具体实施方式】
[0011] 为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施案例并结合附 图，对本实用新型作进一步详细的说明。
[0012] 如图1、2所示，一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽 真空机构和多个多晶炉1--对应，抽真空机构包括真空泵系统2、防倒流电磁阀3和排外 阀4,真空泵系统2的抽真空口连接防倒流电磁阀3后连接至相对应的多晶炉1，真空泵系 统2的出气口连接排外阀4后连接至抽空排外管5,还包括PLC控制器、真空压力传感器10 和多个联动不锈钢球阀6,每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀6,联动不锈钢球阀6 的一端并接在相应的多晶炉1和防倒流电磁阀3之间，另一端通过总抽空管11并接在一 起，真空压力传感器10安装在总抽空管11上，联动不锈钢球阀6和防倒流电磁阀3的信号 输入端均连接在PLC控制器上，真空压力传感器10的信号输出端连接在PLC控制器上。
[0013] 如图1、2所示，该用于多晶炉的联动抽真空装置还包括联动抽真空机构，该联动 抽真空机构包括联动真空泵系统7、联动防倒流电磁阀8和联动排外阀9,多个联动不锈钢 球阀6的另一端并接在一起后依次连接联动防倒流电磁阀8、联动真空泵系统7和联动排外 阀9后连接至抽空排外管5,联动防倒流电磁阀8也连接在PLC控制器上。如图1所示，联 动抽真空机构设置有两路，一用一备，便于维修/维护/保养。
[0014] 如图1、2所示，PLC控制器上连接有报警灯电路或蜂鸣器响声提示电路，并且报警 灯电路或蜂鸣器响声提示电路与总抽空管11上的真空压力传感器10相对应配合。
[0015] 多晶炉1设置有9个或11个或13个，抽真空结构也具有相应的9个或11个或13 个，但不限于此。
[0016] 本实用新型的工作原理如下：
[0017] 当真空压力传感器10传送真空压力指令（O.OOSmbar)至PLC控制器后，以第一 台先达到为优先，如1#多晶炉1已经达到正常运行条件，PLC控制器优先处理，后续2#、 3#……9# (11#或13#)依次达到时，以真空压力传感器10将相应的信号反馈至PLC控制 器，PLC控制器以优先度处理为准；如果当1#多晶炉1已经完成生产周期，其它联动多晶炉 尚未完成，并正常运行时，根据PLC的优先处理原则，需要自动切换至2#或3#或9# (11#或 13#)，以保证多晶炉1抽真空的正常运行，并不得出现真空泵系统2运行控制混乱的情况发 生；如果在运行过程中，出现有故障，造成其中的一台的多晶炉1内真空度无法达到，即超 过0. OOSmbar时，报警灯电路或蜂鸣器响声提示电路会有相应的报警灯提示或蜂鸣器响声 提示，直至人为处理并消除该报警，并通过该多晶炉1相对应的联动不锈钢球阀6的关闭自 动脱离连动系统并启动该多晶炉的抽真空机构，以保证机器的正常运行；在生产过程中，如 果出现一台真空泵系统2抽空不能满足多晶炉的生产需求时，可以同时开启2台或多台真 空泵系统运行，以保证生产机器正常运行。
[0018] 以上所述的具体实施案例，对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果 进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施案例而已，并 不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、 改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个 多晶炉（1)--对应，抽真空机构包括真空泵系统（2)、防倒流电磁阀（3)和排外阀（4)，真 空泵系统（2)的抽真空口连接防倒流电磁阀（3)后连接至相对应的多晶炉（1)，真空泵系统 (2)的出气口连接排外阀（4)后连接至抽空排外管（5)，其特征在于：还包括PLC控制器、真 空压力传感器（10)和多个联动不锈钢球阀（6)，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀 (6)，联动不锈钢球阀（6)的一端并接在相应的多晶炉（1)和防倒流电磁阀（3)之间，另一 端通过总抽空管（11)并接在一起，真空压力传感器（10)安装在总抽空管（11)上，所述的 联动不锈钢球阀（6)和防倒流电磁阀（3)的信号输入端均连接在PLC控制器上，所述的真 空压力传感器（10)的信号输出端连接在PLC控制器上。
2. 根据权利要求1所述的用于多晶炉的联动抽真空装置，其特征在于：还包括联动抽 真空机构，该联动抽真空机构包括联动真空泵系统（7)、联动防倒流电磁阀（8)和联动排外 阀（9)，所述的多个联动不锈钢球阀￠)的另一端并接在一起后依次连接联动防倒流电磁 阀（8)、联动真空泵系统（7)和联动排外阀（9)后连接至抽空排外管（5)，所述的联动防倒 流电磁阀⑶也连接在PLC控制器上。
3. 根据权利要求1或2所述的用于多晶炉的联动抽真空装置，其特征在于：所述的PLC 控制器上连接有报警灯电路或蜂鸣器响声提示电路，并且报警灯电路或蜂鸣器响声提示电 路与总抽空管（11)上的真空压力传感器（10)相对应配合。
4. 根据权利要求1或2所述的用于多晶炉的联动抽真空装置，其特征在于：所述的多 晶炉（1)设置有9个或11个或13个，所述的抽真空结构也具有相应的9个或11个或13 个。
【文档编号】F04B49/06GK203906236SQ201420301393
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年6月6日 优先权日:2014年6月6日
【发明者】夏发义 申请人:天合光能（常州）科技有限公司