一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法与流程

本发明属于太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法。

背景技术：

目前的真空泵停泵处理流程如下：

1、对丰盛镀膜设备关闭加热进行降温；

2、打开预抽，将设备抽至真空状态；

3、打开主抽，将设备内部压力抽至0mbar；

4、打开恒压氮气，对adxen602h真空泵进行不间断氮气吹扫2小时；

5、2小时后“stop”adxen602h真空泵，真空泵停止运行，关闭真空泵冷却水进水和回水，关闭真空泵稀释氮气，关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；

6、每隔2个小时4个人同步进行手动盘泵：①用一字螺丝刀拆开真空泵外壳，②用3mm内六角拆开罗茨泵端盖，③用21mm棘轮套筒扳手左右摇动进行盘泵，直至顺畅无卡滞。

太阳能光伏电池硅片在正膜完成镀膜过程中所需的真空环境由多级罗茨泵提供，真空泵在运行过程中，由于真空泵长时间高负荷运转，同时真空泵在运行过程中始终处于高温以及高转速状态状态，在真空泵停止运行后，由于转子氮化硅附着，导致转子间间隙减小，泵体内部氮化硅粉尘沉积，真空泵内部温度降低导致真空泵卡死，在复机启动时真空泵无法启动。甚至通过手动盘泵无法盘动的情况，最终导致真空泵卡死返修。

技术实现要素：

本发明的目的在于：为解决目前真空泵停机后真空泵维护过程复杂，人力资源投入高，复机难度大，真空泵卡死维修成本高的问题，提供一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法。

本发明采用的技术方案如下：

1.一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法，包括以下步骤：

(1)对设备进行降温：设定加热温度为200℃；

(2)打开预抽，将设备抽至真空状态；

(3)打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；

还包括以下步骤：

(4)打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；

(5)待设备降温至200℃以下后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；

(6)点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；

(7)在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响，有异响及时处理；

(8)2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭真空泵的吹扫氮气；关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；

(9)断电2小时后对真空泵进行手动盘泵进一步检查确认真空泵是否有卡滞情况。

作为优选，所述步骤(6)的真空泵低速运行时间不低于两小时。

作为优选，所述真空泵的型号为adxen602h真空泵。

作为优选，所述设备为丰盛镀膜设备。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本发明中，停泵流程相比，新的方法为防止adxen602h真空泵停机后卡滞，增加了大量防止真空泵卡滞的动作，如n2持续吹扫，低速运行，异常状态的预处理，且效果明显。现场实践结果对比，前几次停机真空泵均出现真空泵卡滞现象，造成人力资源的极大浪费，需四人同时对60个真空泵进行间隔2小时循环盘泵，以减少真空泵卡死情况，对真空泵卡死无法简单修复的，进行返厂维修；采用新型的停泵方法后，只需adxen602h真空泵停机2小时后检查真空泵有无卡滞现象，过程节省大量人力，且真空泵复机顺利，无卡滞现象。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明的实施流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，即所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。

实施例1

本发明较佳实施例提供的一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法，包括以下步骤：

(1)对设备进行降温：设定加热温度为200℃；

(2)打开预抽，将设备抽至真空状态；

(3)打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；

(4)打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；

(5)待设备降温至200℃以下后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；

(6)点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；

(7)在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响，有异响及时处理；

(8)2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭真空泵的吹扫氮气；关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；

(9)断电2小时后对真空泵进行手动盘泵进一步检查确认真空泵是否有卡滞情况。

所述步骤(6)的真空泵低速运行时间不低于两小时。

所述真空泵的型号为adxen602h真空泵。

所述设备为丰盛镀膜设备。

本实施例的工作原理：本方案按以下步骤依次进行，

1、对丰盛镀膜设备进行降温：设定加热温度为200℃，利用丰盛镀膜设备自带的冷却水进行循环降温；

2、打开预抽阀，adxen602h真空泵通过预抽管道将设备抽至真空状态；

3、打开主抽阀，adxen602h真空泵同时通过预抽管道和主抽管道将设备内部压力pv值抽至0；

4、打开恒压n2，对adxen602h真空泵进行持续不间断吹扫，在降温的同时，同步进行真空泵的吹扫工作；

5、在adxen602h真空泵依次点按“set”，“enter”选择“setting”,“enter”,选择“therm.adpt°”，“enter”,选择“inputvalue”，“enter”，修改设定值100℃→70℃，“enter”设定完成，连按“set”返回主界面；

6、待丰盛镀膜设备温度五个温区ⅰ，ⅱ，ⅲ，ⅳ，ⅴ降温至200℃以下后，关闭加热，对丰盛镀膜设备进行破真空，待压力pv值上升到1645且常压指示灯亮时，关闭丰盛镀膜设备恒压n2，以进一步对丰盛镀膜设备进行降温(设备停机降温要求：80℃以下)预计4小时。

7、在丰盛镀膜设备降温过程中可同步进行adxen602h真空泵的操作：点按“control”,直至显示器左上角出现“x”，点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行状态2小时；

8、在adxen602h真空泵低速运行过程中检查每个泵是否有异响，有异响及时处理，保持真空泵冷却水和吹扫n2持续开启；

9、2小时后再次点按“stop”adxen602h真空泵，此时adxen602h真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭adxen602h真空泵的吹扫氮气；将“inputvalue”设定值改回100℃，关闭电源，关闭尾排手阀；

10、断电2小时后一个人对adxen602h真空泵进行手动盘泵进一步检查确认真空泵是否有卡滞情况。

本方案在丰盛镀膜设备降温过程中采用阶梯降温方式，同时对adxen602h真空泵进行不间断吹扫，保持adxen602h真空泵低速运行2小时以上后再停机。

和以前的停泵流程相比，经过现场实践结果对比，前几次停机adxen602h真空泵均出现adxen602h真空泵卡滞现象，同时导致adxen602h真空泵卡死进行返厂维修，采用新型的停泵方法后，adxen602h真空泵无卡死现象，且复机顺利，无卡滞现象。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。