一种真空泵抽速测量方法与流程

本发明涉及真空泵测量技术领域，具体涉及一种真空泵抽速测量方法。

背景技术：

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。真空泵的作用就是从被抽容器中抽除气体分子，降低被抽容器内的气体压力，使之达到要求的真空度。为了达到不同真空泵的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求，真空泵抽速值是一项重要的性能指标，但是，现有的真空泵抽速的测量方法大都过于复杂、繁琐，且测量准确性不佳，不利于日常使用。

因此，现有技术还有待改进和提高。

技术实现要素：

鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种真空泵抽速测量方法，旨在解决现有真空泵抽速的测量方法过于复杂、繁琐，且测量准确性不佳，不利于日常使用的问题。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

一种真空泵抽速测量方法，其中，包括步骤：

通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1；

通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为p2；

计算得出所述待测真空泵的抽速值s为：

所述的真空泵抽速测量方法，其中，所述步骤通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1中，所述气体的气体压力值p1为101.325kpa。

相较于现有技术，本发明提供了一种真空泵抽速测量方法，其中，包括步骤：通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1；通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为p2；计算得出所述待测真空泵的抽速值s为：通过该测量方法可以准确的测得所述待测真空泵的抽速值，省时省力且测量精度高，该测量方法简单、容易实现，值得推广应用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本发明实施例提供的一种真空泵抽速测量方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明的描述中，所使用的“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。参考术语“一个实施例”、“一个具体实施例”、“一些实施例”、“例如”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构或者特点包含于

本技术：
的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。各实施例中涉及的步骤顺序用于示意性说明本申请的实施，其中的步骤顺序不作限定，可根据需要作适当调整。

下面结合附图，详细说明本发明的各种非限制性实施方式。

发明人经过研究发现，现有的真空泵抽速的测量方法大都过于复杂、繁琐，且测量准确性不佳，不利于日常使用。

为了解决上述问题，请参阅图1，本发明实施例提供的一种真空泵抽速测量方法，其中，包括步骤：

s100、通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1；

具体地，气体质量流量控制器即mfc，mfc是带有控制气体质量流量的装置；所述设定流量q的单位为l/min，在一个实施例中，所述气体的气体压力值为标准大气压，即p1＝101.325kpa。

s200、通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为p2；

s300、计算得出所述待测真空泵的抽速值s为：

具体地，抽速值s的单位为l/min。

综上所述，本发明提供了一种真空泵抽速测量方法，其中，包括步骤：通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1；通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为p2；计算得出所述待测真空泵的抽速值s为：通过该测量方法可以准确的测得所述待测真空泵的抽速值，省时省力且测量精度高，该测量方法简单、容易实现，值得推广应用。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

技术特征：

1.一种真空泵抽速测量方法，其特征在于，包括步骤：

通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1；

通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为p2；

计算得出所述待测真空泵的抽速值s为：

2.根据权利要求1所述的真空泵抽速测量方法，其特征在于，所述步骤通过气体质量流量控制器放入设定流量q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为p1中，所述气体的气体压力值p1为101.325kpa。

技术总结
本发明公开了一种真空泵抽速测量方法，其中，包括步骤：通过气体质量流量控制器放入设定流量Q的气体进入正常运转的待测真空泵内，所述气体的气体压力值记为P1；通过压力计测得所述待测真空泵内部残余气体的气体压力值，记为P2；计算得出所述待测真空泵的抽速值S为：通过该测量方法可以准确的测得所述待测真空泵的抽速值，省时省力且测量精度高，该测量方法简单、容易实现，值得推广应用。

技术研发人员：胡尊波
受保护的技术使用者：胡尊波
技术研发日：2021.04.02
技术公布日：2021.07.23