一种单路双通气动往复运动机构的制作方法

文档序号:28527139发布日期:2022-01-15 11:02阅读:204来源:国知局
一种单路双通气动往复运动机构的制作方法

1.本实用新型属于气动设备技术领域,特别涉及一种单路双通气动往复运动机构。


背景技术:

2.在半导体领域,芯片制造过程中,经常要在狭小空间内实现上下或前后往复运动。目前使用的是大行程气缸来实现,然而,芯片制造时所需的往复运动幅度较小,大行程气缸输出运动量的余量较大,并且,气缸上连接两根气管,两根气管分均与气源香连通,两根气管分别进气,从而实现气缸输出往复运动。因此,相关技术中的此类往复运动机构存在所占空间大、成本高的技术问题。


技术实现要素:

3.本实用新型提供一种单路双通气动往复运动机构,用于解决相关技术中的此类往复运动机构所存在所占空间大以及成本高的技术问题。
4.本实用新型通过下述技术方案实现:一种单路双通气动往复运动机构,包括:
5.座体,所述座体设有与第一气管连接的连接杆,所述连接杆中开设有气流通道,所述气流通道与所述第一气管连通;
6.微型气缸,安装在所述座体上,所述微型气缸的进气口与所述气流通道连通,并且所述微型气缸的伸缩杆伸出于所述座体;
7.外接活塞杆,所述外接活塞杆与所述伸缩杆可拆卸固定连接;
8.导向套,可拆卸固定连接在所述座体上,所述导向套套接在所述外接活塞杆外;
9.能够产生正压气体和负压气体的气体发生装置,所述第一气管与所述气体发生装置连通。
10.进一步地,为了更好的实现本实用新型,所述气体发生装置为真空发生器。
11.进一步地,为了更好的实现本实用新型,还包括三通阀门、第二气管和第三气管,所述三通阀门包括第一连接口、第二连接口和第三连接口,所述真空发生器包括排气口和真空口,所述第一气管与所述第一连接口连通,所述第二气管连通所述排气口和所述第二连接口,所述第三气管连通所述真空口和所述第三连接口。
12.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述连接杆为直杆,所述伸缩杆与所述连接杆同轴,并且所述伸缩杆和所述连接杆朝向相反的方向。
13.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述连接活塞杆的中部开设有通孔,所述导向套的内孔孔壁上开设有导向槽,还包括销钉,所述销钉销接在所述通孔中,并且所述销钉滑动插装于所述导向槽内。
14.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述座体上开设有安装槽,所述微型气缸的外壳通过第一螺栓连接在所述安装槽中。
15.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述微型气缸的所述伸缩杆自由端设置有外螺纹,所述外接活塞杆的一端端面上开设有沉孔,所述沉孔的孔壁上设置有内螺纹,所
述外螺纹和所述内螺纹螺接。
16.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述座体上开设有螺栓孔,所述导向套上开设有螺纹孔,还包括第二螺栓,所述第二螺栓穿过所述螺栓孔并螺接于所述螺纹孔中。
17.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述螺栓孔为沉头孔。
18.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述第一气管通过旋转气接头与所述连接杆连接在一起。
19.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述旋转气接头包括中心管和转盘,所述转盘转动套接在所述中心管外且所述转盘位于所述中心管的中部;
20.所述中心管的一端转动插装在所述气流通道内,所述转盘通过连接件可拆卸固定连接在所述连接杆的端面上,所述第一气管与所述中心管的另一端连接在一起。
21.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述连接件为螺丝,所述转盘上开设有过孔,所述连接杆的端面上开设有螺丝孔,所述螺丝穿过所述过孔后螺接于所述螺丝孔中。
22.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述螺丝的数量、所述过孔的数量以及所述螺丝孔的数量均为若干个,若干个所述螺丝与若干个所述过孔以及若干个所述螺丝孔一一对应。
23.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述螺丝的数量、所述过孔的数量以及所述螺丝孔的数量均为四个,四个所述螺丝与四个所述过孔以及四个所述螺丝孔一一对应,并且四个所述螺丝孔以所述连接杆的中轴线圆周阵列分布。
24.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述旋转气接头还包括密封垫片,所述密封垫片垫装于所述连接杆的端面和所述转盘之间。
25.进一步地,为了更好地实现本实用新型,所述旋转气接头还包括密封轴承,所述转盘通过所述密封轴承转动套接在所述中心管外。
26.本实用新型相较于现有技术具有以下有益效果:
27.本实用新型提供的单路双通气动往复运动机构包括座体、微型气缸、外接活塞杆、导向套以及气体发生装置,上述座体设有与第一气管连接的连接杆,连接杆中开设有与上述第一气管连通的气流通道,微型气缸安装在座体上,微型气缸的进气口与气流通道连通,也即微型气缸的进气口与上述第一气管连通,并且微型气缸的伸缩杆伸出于座体并与外接活塞杆可拆卸固定连接,微型气缸的伸缩杆伸缩时驱动外接活塞杆伸缩,从而输出微量的往复运动,以满足芯片制造过程中所需的动力,导向套可拆卸固定连接在座体上,并且导向套套在外接活塞杆外,从而对外接活塞杆的伸缩运动进行导向,微型气缸体积小、成本地,使得整个运动机构在满足芯片制造要求的情况下,其体积更小,成本更低,上述气体发生装置能够产生正压气体和负压气体,第一气管与气体发生装置连通,气体发生装置产生的正压气体以及负压气体均通过第一气管输送至气缸,当第一气管将正压气体输入至气缸时,气缸的伸缩杆带动外接活塞杆伸出,当第一气管将负压气体输入至气缸时,气缸的伸缩杆带动外接活塞杆回缩,这样,本实用新型提供的往复运动机构只使用到一根气管(第一气管),实现朝气缸输入正压气体以及负压气体,从而实现外接活塞杆伸出以及回缩的动作,结构更加简单,一根气管相比两根气管所占的空间体积也更小,成本更低。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1是本实用新型实施例提供的单路双通气动往复运动机构的结构示意图;
30.图2是本实用新型实施例中的销钉的安装结构示意图;
31.图3是本实用新型实施例中的第一气管与连接杆的连接结构示意图;
32.图4是本实用新型实施例中的转盘的结构示意图。
33.图中:
34.1-座体;2-第一气管;3-连接杆;31-气流通道;4-微型气缸;5-外接活塞杆;6-导向套;61-导向槽;7-气体发生装置;8-三通阀门;9-第二气管;10-第三气管;11-销钉;12-旋转气接头;121-中心管;122-转盘;123-螺丝;124-密封垫片;125-密封轴承;126-过孔。
具体实施方式
35.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本实用新型所保护的范围。
36.实施例1:
37.本实用新型提供的单路双通气动往复运动机构包括座体1、微型气缸4、外接活塞杆5、导向套6以及气体发生装置7,其中:
38.座体1为一块体结构,在上述座体1上一体成型设有连接杆3,连接杆3与第一气管2连接,并且连接杆3的内部开设有气流通道31,在第一气管2连接在连接杆3上时,上述气流通道31与上述第一气管2连通。可选地,本实施例中的连接杆3为一根直杆。
39.微型气缸4安装在座体1上。可选地,在座体1上开设有安装槽,上述微型气缸4的外壳通过第一螺栓连接在上述安装槽中,从而实现将微型气缸4可拆卸固定安装在座体1上的目的,便于拆装。这样,微型气缸4实际上是嵌入上述座体1,安装槽的槽壁可以对微型气缸4进行防护。当然,微型气缸4也可通过卡接的方式嵌入安装在上述安装槽内。上述安装槽与上述气流通道31连通,并且微型气缸4的进气口与气流通道31连通,使得微型气缸4的进气口与上述第一气管2连通。该微型气缸4安装在座体1上时,其伸缩杆和上述连接杆3同轴,且伸缩杆和连接杆3朝向相反的方向。
40.该微型气缸4的伸缩杆伸出于座体1并与外接活塞杆5可拆卸固定连接。可选地,在微型气缸4的伸缩杆自由端设置有外螺纹,在上述外接活塞杆5的一端端面上看开设有沉孔,沉孔的孔壁上设置有内螺纹,这样,上述沉孔为螺孔,上述微型气缸4的伸缩杆自由端为螺柱,外螺纹和内螺纹螺接,也即螺柱螺接在螺孔中,以实现微型气缸4的伸缩杆与外接活塞杆5的可拆卸固定连接。
41.微型气缸4的进气口与上述第一气管2相连通,第一气管2与上述气体发生装置7相连通,这样,第一气管2将气体发生装置7产生的气体导入微型气缸4,微型气缸4的伸缩杆伸
缩,在伸缩杆伸缩时则驱动外接活塞杆5伸缩,从而输出微量的往复运动,以满足芯片制造过程中所需的动力。微型气缸4体积小、成本地,使得整个运动机构在满足芯片制造要求的情况下,其体积更小,成本更低。
42.导向套6可拆卸固定连接在座体1上,并且导向套6套在外接活塞杆5外,从而对外接活塞杆5的伸缩运动进行导向,以使得外接活塞杆5的往复运动更加精准。可选地,在上述座体1上开设有螺栓孔,在导向套6上开设有螺纹孔,第二螺栓穿过螺栓孔并螺接在螺纹孔中,从而实现将导向套6和座体1可拆卸固定连接在一起。更优地,上述螺栓孔为沉头孔,第二螺栓连接在螺栓孔中时,第二螺栓的螺帽沉入上述沉头孔中。
43.可选地,在上述连接活塞杆和导向套6之间设置有定位机构,具体地,该定位机构为销钉11,在上述连接活塞杆的中部开设有通孔,在导向套6的内孔孔壁上开设有导向槽61,上述销钉11销接在通孔中,并且销钉11滑动插装于导向槽61内。上述导向槽61为沿上述导向套6的轴向。这样,利用销钉11的作用,则可以避免外接活塞杆5相对于导向套6转动。
44.上述气体发生装置7能够产生正压气体和负压气体,第一气管2与气体发生装置7连通,气体发生装置7产生的正压气体以及负压气体均通过第一气管2输送至气缸,当第一气管2将正压气体输入至微型气缸4时,微型气缸4的伸缩杆带动外接活塞杆5伸出,当第一气管2将负压气体输入至微型气缸4时,微型气缸4的伸缩杆带动外接活塞杆5回缩,这样,本实用新型提供的往复运动机构只使用到一根气管(第一气管2),实现朝微型气缸4输入正压气体以及负压气体,从而实现外接活塞杆5伸出以及回缩的动作,结构更加简单,一根气管相比两根气管所占的空间体积也更小,成本更低。
45.可选地,本实施例中的气体发生装置7为真空发生器,其包括进气口、排气口以及真空口,其中,排气口排出正压气体,真空口输出负压气体。真空发生器具有体积小的优点,从而使得本实施例提供的单路双通气动往复运动机构具有体积小的优点。上述第一气管2连接在一个三通阀门8的接口上,该三通阀门8具有三个接口,定义与上述第一气管2相连的接口为第一连接口,另外两个接口分别为第二连接口和第三连接口,在第二连接口和第三连接口处分别连接第二气管9和第三气管10,第二气管9与上述真空发生器的排气口相连通,第三气管10与上述真空发生器的真空口相连通。这样,在微型气缸4上连接一根第一气管2,便可实现朝微型气缸4中输入正压气体和负压气体。
46.本实施例的一种可选实施方式如下:上述第一气管2通过旋转气接头12与连接杆3连接在一起。借助旋转气接头12的旋转作用,使得连接杆3(也即座体1)、微型气缸4、外接活塞杆5以及导向套6组成的组件能够相对于第一气管2旋转,进一步提高本实施例提供的单路双通气动往复运动机构的使用灵活性以及实用性。可以理解的是,本实施例中的第一气管2也可以通过普通的气管接头连接在连接杆3上。
47.作为本实施例的一种可选实施方式:上述旋转气接头12包括中心管121和转盘122,转盘122转动套接在中心管121外且转盘122位于中心管121的中部,这样,转盘122可以相对于中心管121旋转。上述转盘122通过连接件可拆卸固定连接在上述连接杆3的端面上,上述中心管121的一端转动插装于上述气流通道31内,第一气管2连接在中心管121的另一端上。通过上述结构,不仅能够实现将连接杆3的气流通道31和第一气管2连通,而且使得连接杆3能够相对于第一气管2转动,结构简单可靠,成本低。
48.可选地,本实施例中的连接件为螺丝123,在上述转盘122上开设有过孔126,在连
接杆3的端面上开设有螺丝孔,螺丝123穿过过孔126后螺接于螺丝孔中,从而将转盘122与连接杆3稳固地连接在一起,并且便于拆装。
49.上述螺丝123的数量、上述过孔126的数量以及上述螺丝孔的数量均为若干个,若干个螺丝123与若干个过孔126以及若干个螺丝孔一一对应。这样可将转盘122更加稳固地与连接杆3连接在一起。具体地,螺丝123的数量、过孔126的数量以及螺丝孔的数量均为四个,四个螺丝123与四个过孔126以及四个螺丝孔一一对应,并且四个螺丝孔以连接杆3的中轴线圆周阵列分布。
50.更优地,在上述连接杆3的端面和转盘122之间垫装有密封垫片124,从而对转盘122和连接杆3之间的连接位置进行密封,避免漏气。需要说明的是,上述螺丝123穿过上述密封垫片124。
51.更优地,上述转盘122通过密封轴承125转动套接在中心管121外,不仅能够实现密封转盘122和中心管121之间的缝隙,而且可使得转盘122能够灵活地在中心管121上转动。
52.以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型记载的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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