真空泵的制作方法

文档序号:8547796阅读:364来源:国知局
真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空泵,作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的工艺室、其它的密闭室的气体排气机构等利用。
【背景技术】
[0002]以往,作为这种真空泵,例如公知有专利文献I所记载的真空泵。在该文献I所记载的真空泵(以下称为“以往的真空泵”)中,作为防止泵内生成物的附着的手段,是通过向该文献I的图2中图示的线圈(25)中通入交流电流而使良导热体(24)与散热板(20)的温度上升,通过散热板(20)对动翼(5)、静翼(4)以及螺纹槽泵级(9)的气体流路进行加热。
[0003]但是,在以往的真空泵中,虽然如前述那样,动翼(5)、静翼(4)以及螺纹槽泵级(9)的气体流路能够加热,但由于外壳(I)内的下部侧不能够加热(参照该文献I的图2),所以生成物容易附着在外壳(I)内的下部侧,存在作为真空泵整体的生成物的附着量比较多的问题。
[0004]此外,根据以往的真空泵,如专利文献I的图2中图示的那样,将线圈(25)收容在良导热体(24)中,线圈(25)的配线贯通该良导热体(24)地与连接器(26)相连。因此,磁通从该良导热体(24)的贯通孔(线圈(25)的配线通过的孔)以及线圈(25)的配线泄漏,也存在因其泄漏磁通而发生真空泵内部的电装零件误动作等磁通泄漏引起的真空泵电气系统的事故的可能性。
[0005]但是,在以往的真空泵中,通过气体吸气口(2)的气体经过动翼(5)、静翼(4)以及螺纹槽泵级(9)的气体流路向排气口(3)的方向流动,吸气口(2) —侧成为高真空,另一方面,排气口(3) —侧成为低真空(参照专利文献I的段落0052的记载)。此时,即使在接近排气口(3)的螺纹槽泵级(9)的下游,也与排气口(3)同样地成为低真空。
[0006]但是,根据以往的真空泵,由于如前述那样线圈(25)配置在了成为低真空的螺纹槽泵级(9)的下游(参照专利文献I的图2),所以产生真空放电引起的线圈(25)的绝缘包覆破坏,线圈(25)的寿命短。此外,也存在产生线圈(25)的绝缘包覆破坏引起的短路等泵电气系统的故障,不能够长期稳定地连续运行真空泵的问题。
[0007]此外,在以往的真空泵中,在外壳(I)的下部外周安装连接器(26),并且用配线(无附图标记)连接该连接器(26)和线圈(25),从连接器(26)经由前述配线向线圈(25)通入有交流电流(参照该文献I的图2)。
[0008]但是,根据以往的真空泵,由于前述连接器(26)的端部侧、尤其是连接了配线的一侧配置在外壳(I)内的真空中(参照该文献I的图2),所以必须使用昂贵的真空连接器作为连接器(25)(参照该文献I的段落0051的记载),也存在真空泵整体的成本不得不增高的冋题。
[0009]专利文献1:日本国特开2002 - 21775号公报。

【发明内容】

[0010]本发明是为了解决前述问题而提出的,其目的在于能够降低作为真空泵整体的生成物的附着量,并且有效地防止磁通泄漏引起的真空泵电气系统的事故。此外,本发明的其它目的还在于能够使真空泵长期安定地连续运行,以及实现真空泵整体的成本降低。
[0011]为了达到前述目的,本发明第I技术方案的真空泵具备:内包在泵壳中的转子,固定在前述转子上的旋转轴,前述旋转轴旋转可能地支承的支承机构,使前述旋转轴旋转的驱动机构,以及在与前述转子的外周侧或者内周侧之间形成螺纹槽排气通路的螺纹槽排气部定子,其特征在于,在前述螺纹槽排气部定子的下部设有加热部,前述加热部具备磁轭,线圈,和加热板,通过向前述线圈中通入交流电流产生的电磁感应加热,对前述磁轭以及前述加热板进行加热。
[0012]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述转子内包在基座隔架中,在前述转子的下部配置有定子基座,前述加热部设在前述螺纹槽排气部定子与前述定子基座之间,并且具备加热器隔架,前述加热板与前述螺纹槽排气部定子抵接地安装在前述加热器隔架上,通过对前述磁轭以及前述加热板进行加热,从而对前述加热器隔架、前述螺纹槽排气部定子、前述基座隔架或者前述定子基座的至少一种进行加热。
[0013]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述加热部由具有凹部的前述加热器隔架,配置在前述凹部内的前述磁轭,配置在前述磁轭上的前述线圈,以及与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述凹部封堵地安装在前述加热器隔架上的前述加热板来构成。
[0014]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述加热部由具有凹部的前述加热器隔架,配置在前述凹部内的前述磁轭,与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述凹部封堵地安装在前述加热器隔架上的具有槽的前述加热板来构成。
[0015]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述加热部由前述加热器隔架,安装在前述加热器隔架上的前述磁轭,与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述磁轭内包地安装在前述加热器隔架上的具有槽的前述加热板,以及配置在前述槽内的前述线圈来构成。
[0016]在本发明第I技术方案中,其特征在于,具备:连接器装设部,用于将连接器装设在前述加热器隔架的外侧面上;配线穿入孔,仅形成在前述加热器隔架上或者形成在前述加热器隔架及前述磁轭双方上,使前述凹部或者前述槽和前述连接器装设部连通;以及配线,穿入前述配线穿入孔中,连接前述线圈与前述连接器。
[0017]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述加热部具备:温度传感器,安装在前述加热板或者前述螺纹槽排气部定子或者前述磁轭上;和温度控制机构,基于前述温度传感器的检测值,控制前述加热板或者前述螺纹槽排气部定子或者前述磁轭达到规定的温度。
[0018]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述加热部具备:温度传感器,安装在前述线圈上;和保护控制机构,基于前述温度传感器的检测值,控制前述线圈不超过规定的温度。
[0019]在本发明第I技术方案中,其特征在于,作为能够比前述基座隔架及前述定子基座优先地对前述螺纹槽排气部定子进行加热的手段,通过在前述螺纹槽排气部定子与前述基座隔架或者前述定子基座之间留有间隙或者夹装导热率更低的中间部件,使前述螺纹槽排气部定子不直接与前述基座隔架或者前述定子基座接触。
[0020]在本发明第I技术方案中,其特征在于,由磁性材料一体地形成前述加热器隔架和前述磁轭。
[0021]在本发明第I技术方案中,其特征在于,一体地形成前述加热器隔架和前述基座隔架。
[0022]在本发明第I技术方案中,其特征在于,一体地形成前述定子基座和前述加热器隔架与前述基座隔架。
[0023]在本发明第I技术方案中,其特征在于,采用了如下的结构:在前述加热器隔架和前述加热板上设置螺栓穿入孔,通过穿入这些螺栓穿入孔中的紧固螺栓使前述加热器隔架和前述加热板为一体地安装在前述螺纹槽排气部定子上的结构,或者在前述螺纹槽排气部定子和前述加热板上设置螺栓穿入孔,通过穿入这些螺栓穿入孔中的紧固螺栓使前述螺纹槽排气部定子和前述加热板为一体地安装在前述加热器隔架上的结构,或者在前述螺纹槽排气部定子上设置螺栓穿入孔,通过穿入该螺栓穿入孔中的紧固螺栓,将前述螺纹槽排气部定子在前述基座隔架或者前述定子基座上安装成前述螺纹槽排气部定子的下侧端面与前述加热板抵接的结构,作为能够比前述加热器隔架优先地对前述螺纹槽排气部定子进行加热的手段,采用了通过在前述加热器隔架和前述加热板的边界附近设置减重部,降低从前述加热板向前述加热器隔架的传热的结构。
[0024]为了达到前述目的,本发明第2技术方案的真空泵,具备:内包在泵壳中的转子,固定在前述转子上的旋转轴,前述旋转轴旋转可能地支承的支承机构,使前述旋转轴旋转的驱动机构,以及在与前述转子的外周侧或者内周侧之间形成螺纹槽排气通路的螺纹槽排气部定子,其特征在于,在前述螺纹槽排气部定子的下部设有加热部,前述加热部具备磁轭,线圈,和加热板,还具备将前述线圈与连接器连接的配线,和磁通泄漏降低机构,通过向前述线圈中通入交流电流产生的电磁感应加热,对前述磁轭以及前述加热板进行加热。
[0025]在本发明第2技术方案中,其特征在于,前述转子内包在基座隔架中,在前述转子的下部配置有定子基座,前述加热部设在前述螺纹槽排气部定子与前述基座隔架之间,并且具备加热器隔架,前述加热板与前述螺纹槽排气部定子抵接地安装在前述加热器隔架上,进而,前述加热部具备仅形成在前述加热器隔架上或者形成在前述加热器隔架及前述磁轭双方上的配线穿入孔,前述配线穿入前述配线穿入孔中,前述磁通泄漏降低机构装设在前述配线穿入孔中或者前述连接器的周围,前述交流电流从前述连接器经由前述配线流动,通过对前述磁轭以及前述加热板进行加热,从而对前述加热器隔架、前述螺纹槽排气部定子、前述基座隔架或者前述定子基座的至少一种进行加热。
[0026]在本发明第2技术方案中,其特征在于,前述加热部由具有凹部的前述加热器隔架,配置在前述凹部内的前述磁轭,配置在前述磁轭上的前述线圈,以及与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述凹部封堵地安装在前述加热器隔架上的前述加热板来构成。
[0027]在本发明第2技术方案中,其特征在于,前述加热部由具有凹部的前述加热器隔架,配置在前述凹部内的前述磁轭,以及与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述凹部封堵地安装在前述加热器隔架上的具有槽的前述加热板来构成。
[0028]在本发明第2技术方案中,其特征在于,前述加热部由前述加热器隔架,安装在前述加热器隔架上的前述磁轭,与前述螺纹槽排气部定子抵接地并且前述磁轭内包地安装在前述加热器隔架上的具有槽的前述加热板,以及配置在前述槽内的前述线圈来构成。
[0029]在本发明第I或者第2技术方案中,其特征在于,前述加热部还具备能够将前述凹部或者前述槽内设定成外气压的密封机构。
[0030]在本发明第I或者第2技术方案中,其特征在于,作为前述密封机构的具有弹性的O型环,能在前述加热板上安装前述O型环安装的O型环槽,和从前述O型环槽的开口端面到底面之间设有最小直径部,前述最小直径部通过大于前述O型环的内径或者由设在前述O型环槽的边缘上的突起部来构成,从而具有前述O型环脱落防止功能的O型环脱落防止机构。
[0031]在本发明第I技术方案中,其特征在于,前述转子内包在泵座中,前述螺纹槽排气部定子在前述转子的外周侧由外侧螺纹槽排气部定子来构成,在前述转子的内周侧由内侧螺纹槽排气部定子来构成,前述加热部设在前述内侧螺纹槽排气部定子以及前述外侧螺纹槽排气部定子的下部,前述加热板与前述内侧螺纹槽排气部定子或者前述外侧螺纹槽排气部定子的任一种抵接,前述磁轭配置在前述泵座上,前述线圈配置在前述磁轭上,并且具有通过对前述加热板以及前述磁轭进行加热,从而对前述内侧螺纹槽排气部定子、前述外侧螺纹槽排气部定子或者前述泵座的至少一种进行加热的功能,前述加热板作为两个以上的分离加热板分离成多个。
[0032]其特征在于,前述分离加热板通过其材质不同而每个前述分离加热板的发热量不同。
[0033]其特征在于,通过前述分离加热板为以该分离形成的间隙部为基准左右不对称的截面形状,每个前述分离加热板的发热范围以及发热量不同。
[0034]其特征在于,前述分离加热板通过至少一个前述分离加热板由层压材料形成,每个前述分离加热板的发热量不同。
[0035]其特征在于,前述分离加热板通过该分离的部分在上下方向上重合,该分离的部分成为了折曲的通路形状。
[0036]在本发明第I技术方案中,其特征在于,在前述泵座上设有配置了前述磁轭的凹部,用于装设连接器的连接器装设部,从前述连接器装设部向前述凹部连通的配线穿入孔,以及穿入前述配线穿入孔中并连接前述线圈和前述连接器的配线。
[0037]在本发明第I或者第2技术方案中,其特征在于,具备装设在前述配线穿入孔中或者前述连接器的周围的磁通泄漏降低机构。
[0038]其特征在于,前述磁通泄漏降低机构是装设在前述配线穿入孔中的屏蔽管。
[0039]其特征在于,前述磁通泄漏降低机构是装设在前述连接器的周围的屏蔽板。
[0040]在本发明第2技术方案中,其特征在于,前述转子内包在泵座中,前述螺纹槽排气部定子在前述转子的外周侧由外侧螺纹槽排气部定子来构成,在前述转子的内周侧由内侧螺纹槽排气部定子构成,前述加热部设在前述内侧螺纹槽排气部定子以及前述外侧螺纹槽排气部定子的下部,前述加热板与前述内侧螺纹槽排气部定子或者前述外侧螺纹槽排气部定子的任一种抵接,前述磁轭配置在前述泵座上,前述线圈配置在前述磁轭上,并且具有通过对前述加热板以及前述磁轭进行加热,从而对前述内侧螺纹槽排气部定子、前述外侧螺纹槽排气部定子或者前述泵座的至少一种进行加热的功能,在前述泵座上设有用于装设前述连接器的连接器装设部,前述磁通泄漏降低机构是由磁性材料构成的屏蔽管,前述配线被前述屏蔽管包覆。
[0041]其特征
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