真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明是有关于一种定子(stator)的温度变得比转子(rotor)的温度更高的真空栗(pump)。
【背景技术】
[0002]以往，在半导体制造装置或液晶制造装置等的腔室(chamber)排气时，使用有涡轮分子栗(turbo-molecular pump)等真空栗。近年来，在半导体制造装置或液晶制造装置的蚀刻制造过程(etching process)中，真空栗上的产物附着量增加，而产生有如下等问题:真空栗的转子与产物接触的故障(trouble)增加，或者装置运转后短时间内需要大修(overhaul)。因此，要求将栗内部温度(接气部的温度)比以往大幅提高，而抑制反应产物的附着。
[0003]作为提高栗内部温度的方法，已知有如专利文献1所记载的方法。在专利文献1所记载的技术中，对与转子的外周相向配置的被加热构件直接加热。
[0004][现有技术文献]
[0005][专利文献]
[0006][专利文献1]日本专利特开平09-072293号公报
[0007]然而，在专利文献1中，加热部的一端固定于被加热构件，另一端固定于基座(base)。因此，当因加热而被加热构件膨胀时，在固定有加热部的一端的部分会妨碍被加热构件的膨胀，而在被加热构件产生不自然的应力。而且，随着被加热构件的温度上升，转子的温度也上升，因此，转子会向外周侧(被加热构件的方向)热膨胀。另一方面，因为在固定有加热部的一端的部分会妨碍被加热构件向外周侧的热膨胀，所以转子与被加热构件的间隙(gap)变小，而有双方接触的担忧。
【发明内容】
[0008][解决问题的技术手段]
[0009]本发明的优选的实施方式的真空栗包括:圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；基座，收纳有所述定子的至少一部分，且在所述定子的外周对向的位置形成有贯通孔；加热部，将所述贯通孔从大气侧向真空侧贯通而热接触于所述定子的外周面，且对所述定子进行加热；以及轴密封材料，将所述贯通孔与所述加热部的间隙真空密封。
[0010]更优选的实施方式中，所述加热部相对于所述基座的所述贯通孔隔着间隙而配置，并且以与所述贯通孔同心的状态在所述定子进行固定。
[0011]更优选的实施方式中，所述加热部及所述基座分别形成有销孔(pin hole)，所述销孔供定位销插入，所述定位销用于将所述加热部及所述基座设为所述同心状态。
[0012]更优选的实施方式中，还包括:限制部，对所述固定被解除时的所述加热部向大气侧的移动进行限制。
[0013]更优选的实施方式中，所述加热部包括将吸入的气体排出的排气管、及装设于所述排气管的加热器，所述排气管将所述基座的所述贯通孔贯通，并且一端热接触于所述定子的外周面，另一端露出至大气侧，且所述轴密封材料将所述贯通孔与所述排气管的间隙真空密封。
[0014][发明的效果]
[0015]根据本发明，可谋求定子加热时的可靠性提高。
【附图说明】
[0016]图1是表示本发明的真空栗的一实施方式的图，且表示涡轮分子栗的剖面图。
[0017]图2是从底面侧观察涡轮分子栗所得的图。
[0018]图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。
[0019]图4(a)、图4(b)是对定子加热部28对定子22的固定顺序进行说明的图。
[0020]图5是图1的图示左侧的定子22与基座20的固定部的放大图。
[0021 ]图6是对定位构件40进行说明的图。
[0022]图7(a)、图7(b)是表示兼用作加热部的排气管26的图。
[0023]图8是对间隙G2的效果进行说明的图。
[0024]图9 (a)、图9 (b)是表示在定子22与隔热构件24之间形成间隙G2的情况的图。
[0025]【主要元件符号说明】
[0026]1:涡轮分子栗10:转子
[0027]11:转子轴12:旋转叶片
[0028]13:转子圆筒部20:基座
[0029]20a、207、287:贯通孔20d:凸部
[0030]21:固定叶片22:定子
[0031]22a:平面部22b:台阶部
[0032]23:栗壳24:隔热构件
[0033]26:排气管27、262、280:加热器
[0034]28:定子加热部29、210:间隔件
[0035]30:壳体32:径向磁轴承
[0036]33:轴向磁轴承34:马达
[0037]35a、35b:机械轴承40:定位构件
[0038]200、205、221、265、286:销孔 201、201a、400:内周面
[0039]203:温度传感器206:销
[0040]209、222、282:螺栓211、223:垫圈
[0041]220、263:凸缘部220a、401:外周面
[0042]260:固定部261、284:轴密封件
[0043]281:加热器部件281a:孔部
[0044]283:密封塞285:轴部
[0045]G、G0、G1、G2、G3:间隙
【具体实施方式】
[0046]以下，参照图对用以实施本发明的方式进行说明。图1是表示本发明的真空栗的一实施方式的图，且表示涡轮分子栗的剖面图。涡轮分子栗1包括转子10，所述转子10形成有多段旋转叶片12及转子圆筒部13。在栗壳(pump casing) 23的内侧，与多段旋转叶片12相应地以层叠的方式配置有多段固定叶片21。沿栗轴向层叠的多段固定叶片21分别隔着间隔件(spacer) 29而配置于基座20上。旋转叶片12及固定叶片21分别包含沿周向配置的多个祸轮(turbine)叶片。
[0047]在转子圆筒部13的外周侧，隔着间隙而配置有圆筒形状的定子22。定子22螺固于基座20。在转子圆筒部13的外周面或定子22的内周面的任一面形成有螺纹槽，由转子圆筒部13与定子22构成螺纹槽栗。利用旋转叶片12及固定叶片21而排出的气体分子经螺纹槽栗部进一步压缩，最终从设于基座20的排气端口(port) 26排出。
[0048]在转子10固定有转子轴(shaft) 11，该转子轴11由径向(radial)磁轴承32及轴向(axial)磁轴承33支撑，且由马达(motor) 34旋转驱动。当磁轴承32、磁轴承33未动作时，转子轴11由机械轴承(mechanical bearing) 35a、机械轴承35b支撑。径向磁轴承32、轴向磁轴承33、马达34及机械轴承35b收纳在壳体(housing) 30内，所述壳体30固定于基座20。
[0049]在基座20设置有加热器27及温度传感器(sensor) 203，所述加热器27用以对基座20进行加热，所述温度传感器203对基座20的温度进行检测。本实施方式的涡轮分子栗1可用于产生大量反应产物的工艺，在定子22的下部外周面，固定有对定子22进行加热的专用的定子加热部28。图2是从底面侧观察涡轮分子栗所得的图，且将一部分以破断面表示。定子加热部28是以将基座20的周面内外贯通的方式而设置。也可设置两个以上的定子加热部28。
[0050]图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。如图3所示，定子加热部28是在加热器部件(heater block) 281安装有加热器280。加热器部件281利用螺栓(bolt) 282而固定于定子22的外周面。在配置有螺栓282的孔部281a，设置有用以密封该孔部281a的密封塞283。而且，在加热器部件281的轴部(贯通基座20的部分)，设置有轴密封件284作为真空密封件。利用该轴密封件284而将贯通基座20的加热器部件281的轴部与基座20的间隙密封。
[0051 ] 如图2所示，在定子22的外周面的一部分形成有平面部22a，使形成于加热器部件281的前端的平面接触于该平面部22a。
[0052]如图3所示，定子22利用螺栓222而固定于基座20，且在定子22与基座20之间配置有隔热构件24 (例如，圆筒状的隔热构件)。定子22由隔热构件24支撑，在定子22的凸缘(flange)部220的底面与基座20的上表面之间形成有间隙，从而凸缘部220未接触于基座20。
[0053]螺栓222的垫圈223由导热率比基座构件小的构件形成，且作为抑制从定子22