真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备可旋转地配置于栗座上的转子和将通过该转子的旋转吸入的气体排出的气体流路的真空栗。
【背景技术】
[0002]—直以来，作为这种真空栗，已知例如专利文献1所记载的复合分子栗。该文献1的复合分子栗构成为，通过转子^、3a)的旋转来从吸气口(la)吸入气体，将吸入的气体从排气口(lb)排出(参照该文献1的段落0024的记载)。
[0003]另外，参照该文献1的图1和图2，在该文献1所记载的复合分子栗中，在如前所述地将吸入的气体排出的气体流路中，上游侧气体流路由多个旋转叶片(2a)和固定叶片(2b)形成，下游侧气体流路由转子(3a)和定子(7a)形成为螺纹槽形状的流路。
[0004]而且，在该文献1所记载的复合分子栗中，作为防止如前所述地以定子(7a)作为固定零件而形成的下游侧气体流路上的生成物的堆积的机构，通过绝热件(支撑体9a、9b、9c)来将定子(7a)绝热，而且，利用来自转子(3a)的放射所导致的热和流动于下游侧气体流路的气体的摩擦所导致的热来加热定子(7a)(参照该文献1的段落0025和0026的记载)。
[0005]然而，在前述方式对定子(7a)的加热中，由于利用来自转子(3a)的放射所导致的热和流动于下游侧气体流路的气体的摩擦所导致的热，因而随着通过下游侧气体流路而排出的气体的流量，加热量变化，定子(7a)的温度变动是不可避免的。特别地，在该气体的流量小时，不能使定子(7a)的温度升温至既定的温度，存在不能有效地抑制下游侧气体流路上的生成物的堆积这一问题点。
[0006]专利文献1:日本专利第3098140号公报。
【发明内容】
[0007]发明要解决的课题
本发明是为了解决前述问题点而作出的，其目的是，提供如下的真空栗:不受到排出的气体的流量的影响，能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地稳定地进行加热，能够通过该加热来防止排气侧气体流路上的生成物的堆积，并且，能够谋求栗排气性能的提高。
[0008]用于解决课题的方案
为了达成前述目的，本发明的特征在于，在具备栗座、配置于所述栗座上的转子、围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动所述转子的支撑和驱动机构、以及将通过所述转子的旋转而吸入的气体引导至排出口的气体流路的真空栗中，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件加热的加热机构。
[0009]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述排气侧气体流路是由所述转子的外周面和与其对置的螺纹槽栗定子形成的螺纹槽状的流路，所述固定零件是所述螺纹槽栗定子。
[0010]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述排气侧气体流路是由配设于所述转子的外周面的旋转叶片和将由该旋转叶片赋予朝向所述气体流路的下游侧的运动量的气体分子向所述气体流路的下游侧引导的固定叶片形成的流路，所述固定零件是所述固定叶片。
[0011]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述加热机构成为如下的构造:在所述固定零件设置有安装部，在该安装部埋入设置有加热器，由此，该加热器对所述固定零件加热。
[0012]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述固定零件的所述安装部设置有密封机构，从而配设于大气侧。
[0013]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热机构是通过绝热空间和绝热隔离物而将所述固定零件绝热的构造。
[0014]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述栗座成为如下的构造:至少分割成上基座部和下基座部，通过紧固机构将所分割的该上基座部和该下基座部接合，由此，所述上基座部和所述下基座部存在热传导。
[0015]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热空间是所述栗座与所述固定零件之间的间隙。
[0016]在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热隔离物介于所述固定零件与位于其下部的所述栗座之间，而且将所述固定零件和所述栗座紧固，从而支撑所述固定零件。
[0017]在前述本发明中，也可以是其特征在于，在所述上基座部和下基座部的双方或任一方，设置有冷却机构。
[0018]发明的效果
在本发明中，如前所述，作为真空栗的具体构成，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和利用热传导来对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件直接加热的加热机构，因而起到以下的作用效果(1) (2)。
[0019]作用效果(1)依据本发明，由于加热机构对固定零件加热，因而那样的加热不受到排出的气体的流量的影响。另外，由于成为加热机构的加热对象的固定零件通过绝热机构而绝热，因而能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地稳定地加热，以及能够通过该加热而防止排气侧气体流路上的生成物的堆积。
[0020]作用效果(2)在本发明中，如前所述，由加热机构加热的固定零件通过绝热机构而绝热，因而除了该固定零件以外的零件不被该加热机构加热。因此，能够有效地防止欲防止加热机构的加热所导致的高温化和由此造成的强度下降的零件的高温化和由此造成的该零件的强度下降，例如，在气体流路整体中的吸气侧气体流路由旋转叶片和固定叶片构成为排出气体的流路的情况下，能够有效地防止该旋转叶片和固定叶片等零件的高温化和由此造成的该零件的强度下降，能够谋求栗排气性能的提高。
【附图说明】
[0021]图1是示出作为本发明的第1实施方式的真空栗的一部分的栗截面图。
[0022]图2是关于作为本发明的第1实施方式的真空栗所产生的热的传导方式和冷却管的设置场所等的说明图。
[0023]图3是图2的真空栗P1中的温度控制示例的说明图。
[0024]图4是图2的真空栗P1中的温度控制示例的说明图。
[0025]图5是图2的真空栗P1中的温度控制示例的说明图。
[0026]图6是图3的温度控制示例的实验结果的说明图。
[0027]图7是图4的温度控制示例的实验结果的说明图。
[0028]图8是图5的温度控制示例的实验结果的说明图。
[0029]图9是示出作为本发明的第2实施方式的真空栗的一部分的栗截面图。
[0030]图10是示出作为本发明的第3实施方式的真空栗的一部分的栗截面图。
【具体实施方式】
[0031 ] 以下，参照附图，对用于实施本发明的最佳方式详细地进行说明。
[0032]<第1实施方式>
图1是示出作为本发明的第1实施方式的真空栗的一部分的栗截面图，该真空栗P1作为例如半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理室或其他密闭室的气体排气机构等而利用。
[0033]在图1的真空栗P1中，外装壳1通过利用紧固机构D1将筒状的栗壳C和栗座B沿其筒轴方向一体地联接而成为有底的圆筒形状。
[0034]栗壳C的上端部侧(图1中的纸面上方)作为气体吸气口(省略图示)而开口，另外，在栗座B设置有气体排气口 2。气体吸气口连接至例如半导体制造装置的处理室等成为高真空的未图示的密闭室，气体排气口 2与未图示的辅助栗连通连接。
[0035]在栗壳C内的中央部，设置有圆筒状的定子列3。该定子列3竖立设置于栗座B上，在定子列3的外侧，设置有转子4，在定子列3的内侧，内置有作为支撑转子4的机构的磁力轴承或作为旋转驱动该转子4的机构的驱动电动机等未图示的各种电装零件。由于磁力轴承和驱动电动机是众所周知的，因而