具有改进结构的罗茨泵的制作方法

文档序号:9920424阅读:369来源:国知局
具有改进结构的罗茨泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有改进结构的罗茨栗,其运转方式使得前级栗串联地连接,尤其是,涉及具有改进结构的罗茨栗,其允许在运行中间将未被前级栗处理过并被抽吸在其内的气体排放到外面。
【背景技术】
[0002]罗茨真空栗被称作增压真空栗。当栗轴使用时,该栗连接到前级栗(例如,干型真空栗)和干型真空栗。
[0003]1.普通型的罗茨真空栗
[0004]罗茨真空栗的排气速度和最终真空度可根据前级栗的排气特征来确定。一般地,前级栗的最终压力越低或排气速度越快,则罗茨真空栗的最终压力越低且排气速度越快。普通型的罗茨真空栗设计成在排气端口处的压力为10托尔的状态下运行。
[0005]具有快的排气速度的罗茨真空栗主要是在需要减少工作时间时使用。就栗的运行来说,罗茨真空栗不工作,直到连接到罗茨真空栗的前级栗处的真空容器压力下降到10托尔为止,且当它达到10托尔时,罗茨真空栗开始工作,于是,它不能有效地减少工作时间。
[0006]当罗茨栗的排气端口和前级栗的吸入端口串联地连接时,前级栗首先工作,因此,抽吸和排出真空容器的过程气体。过程气体移动通过串联连接的罗茨栗的两个转子之间的小间隙,并被抽吸到前级栗内。这里,罗茨栗的转子与过程气体的运动相干扰,于是,前级栗处的压力下降到10托尔之前,工作时间拖得很长。
[0007]为了解决上述问题,连接到串联连接的两个栗之间的罗茨栗的入口端口顶部的管子绕道罗茨栗,并连接到前级栗的入口端口顶部,因此,解决了罗茨栗转子与气体运动相干扰的问题,然而,在该情形中,需要使用绕道罗茨栗和前级栗的管子,于是增加了设备的成本。
[0008]此外,当试图通过使用罗茨真空栗来减少工作时间时,难于获得足够的效果,同时带来提高的设备成本。
[0009]2.旁路型罗茨真空栗
[0010]为了解决工作时间长的问题,这是普通型罗茨真空栗固有的问题,旁路型罗茨真空栗以这样的方式构成:就罗茨真空栗的运行来讲,最终压力下降到10托尔,且为了减少运行开始之前所需的时间,罗茨真空栗在大气压(760托尔)下与前级栗同时被驱动,因此,减少了工作过程的时间。上述旁路型罗茨真空栗被称作大气压运行型栗。
[0011]就传统的旁路阀型罗茨真空栗的结构(图5)来说,连接到前级栗的罗茨栗被强制以大气压同时地驱动,且当罗茨栗的电动机开始转动时,主轴转子7转动,与连接到主轴转子的主轴齿轮相啮合的从动齿轮同时以相反方向转动,两个转子7和8转动,过程气体通过入口端口 9被抽吸,并传输到排气端口 10,连接到排气端口 10的前级栗抽吸和排出过程气体。
[0012]与连接到罗茨真空栗的前级栗的排气速度相比,罗茨栗的排气速度要快5?10倍。考虑到这一点,当两个栗在大气压下同时被驱动时,前级栗抽吸和排出过程气体,该过程气体已由罗茨栗抽吸和排出,与前级栗的排气速度水平相一致,剩余的过程气体在由连接两个栗的罗茨栗的排气端口和前级栗的入口端口所限定的空间内受压缩。在普通型的罗茨栗情形中,还未被处理过的气体递增地填充连接到前级栗的空间,过程气体的压缩量逐渐地增加,罗茨栗的工作载荷继续增加。在该情形中,转子被强制用较大功率转动,电动机的电流可能超过额定电流,电流继续增加,这可能让罗茨栗的电动机受损,转子、齿轮、轴承密封部件等,它们在罗茨栗内转动,也可能受损。
[0013]作为解决压缩气体保持在罗茨栗和前级栗之间空间内的问题的一种方式,如图5所示,提供了前级栗,其中,连接栗的排气端口 10和入口端口 9的通道11和12形成在包含气缸I的外壁处,因此,压缩和将气体排放到空气中。当未被处理且保持在通道11内的气体(即,在前级栗中未被抽吸和排放的气体)保持在罗茨栗的排放端口 10周围且被压缩时,受压缩的气体沿着排气循环通道11移动,并沿着入口循环通道12循环,且借助于转子7和8的转动来受压缩,并被推向排气端口 10。此时,带有循环孔13的阀座13a形成在排气循环通道11和入口循环通道12之间,旁路阀系统28、29和30使阀座13a的循环孔13打开和关闭,因此,改进了由于压缩的残余气体引起的问题。
[0014]具体来说,就旁路阀系统28、29和30来说,当连接到罗茨栗的前级栗同时在大气压下被驱动时,未被前级栗处理过的压缩气体保持在罗茨栗的排气循环通道11空间内并受压缩。被正在关闭循环孔13的弹簧29所弹性地支承的旁路阀28,通过空间11内的压缩气体被打开,上述压缩气体移入入口循环通道12的空间内。压缩气体通过执行吸入操作的转子7和8移动到排气端口,于是,压缩气体连续地循环,这解决了由于剩余压缩气体引起的问题,同时减少了工作时间。
[0015]然而,根据以上描述的传统技术,该技术针对大气压操作类型的罗茨栗,在以下的过程中,其中,在栗运行的初始阶段,通过同时驱动连接到罗茨栗的前级栗来抽吸和排放具有大气压的气体,罗茨栗被强制在真空环境下抽吸压缩气体,并将气体朝向前级栗移动,然而,未从前级栗排出的压缩气体可继续在罗茨栗内循环,并可通过压缩程序进行处理,还可被排放掉。上述大气压运行类型的罗茨栗是高效的,可比普通型罗茨栗减少一点工作时间(其中,剩余气体没有循环过程),然而,前级栗需要抽吸、压缩和排放如下气体:通过入口端口在真空系统内正常被抽吸的气体,以及从罗茨栗排出的过程气体并连同被强制在罗茨栗内连续循环的受压缩剩余空气,于是,前级栗的排放速度可影响罗茨栗的排放速度,因此降低排放效率,如此的方式不能有效地减少工作时间,这意味着存在着许多仍有待解决的问题。此外,当压缩空气中罗茨栗内循环时,在排放入口通道的空间内和旁路阀28正在关闭的循环孔13的横截面处可发生过载,于是,电动机可能受损,进行转动运动的部件也可能受损。上述问题通常发生在工作场所,于是,出现在罗茨栗内的如此的问题必须紧急予以解决。

【发明内容】

[0016]因此,本发明的提出是要解决上述问题。本发明的目的是提供具有能够解决如下问题的改进结构的罗茨栗,这些问题是,当大气压操作类型的罗茨栗和前级栗在大气压下同时运行时,由于罗茨栗的排放速度受前级栗排放速度影响,所以,排放速度变慢,工作时间不减少,这些问题还有,在压缩气体所循环通过的排放和吸入循环通道处会发生过压缩,于是,电动机和部件受损。
[0017]本发明的另一目的是提供具有能够解决如下问题的改进结构的罗茨栗,从而阻止由于前级栗的排放速度而变得减慢,该问题是排放速度由于前级栗而变得越来越慢,当罗茨栗连接到前级栗时,前级栗的排放速度变得相对减慢,从而改进结构,该结构在所有时间内可保持罗茨栗恒定的排放速度。
[0018]为了达到上述目的,提供罗茨栗,其具有改进的结构,该结构由气缸形成,气缸具有入口端口和排放端口,入口端口连接到真空设备的那侧,而排放端口与前级栗那侧接触;以及一对转子,转子在气缸内互相啮合转动,并压缩从入口端口那侧输入的气体,以及强制地通过排放端口排放到前级栗的那侧,罗茨栗包括旁路排放通道,其设置在气缸的一侧,同时与排放端口那侧连通;第一排放阀的排放端口,其设置在气缸一侧的顶上,同时与旁路排放通道连通;锥形阀座,其设置在旁路排放通道和排放端口之间,锥形阀座形成为这样:其上侧较宽,而其下侧较窄;以及第一排放阀,其由金属球形成,金属球放置在阀座顶上,并通过自重与阀座紧密接触和关闭形成在阀座处的外排放孔,且通过保持在旁路排放通道内的气体压力从阀座升起,因此,打开外排放孔。
[0019]根据本发明示范的实施例,具有第一排放阀的排放端口和外排放孔的阀座形成在第一排放阀体处,第一排放阀体处对应于分离体,第一排放阀体组装并配合到气缸上。
[0020]有利的效果
[0021]在本发明中,当旁路排放通道11中的剩余气体由于缺乏通过排放端口 10的排放而超过预定量时,第一排放阀15再次打开,气体排放到外面,在存在有未在连接到罗茨栗的前级栗内处理过的压缩过程气体的情形中,第一排放阀体17的第一排放阀15可通过气体压力打开,因此,排放掉压缩气体。这样,不管前级栗的排放速度如何,都可保持设计的排放速度,于是,能够解决如下的问题,该问题是,当旁路排放通道11中的气体受压缩时,会发生电动机的过载,由于电动机过载部件会受损或损坏,且不管前级栗的排放速度如何,都可保持设计的排放速度,因此,减少工作过程时间和产生真空的工作时间。
[0022]此外,使用自重型的金属球,阀座做成锥形,其中,顶部较宽,而底部较窄。可以将球阀容纳到第一排放阀体内的如此方式来完成组装。第一排放阀体可分开制造并组装到气缸上,这可导致制造和组装更加容易。
【附图说明】
[0023]参照附图将会更好地理解本发明,附图仅是借助于图示来给出的,因此,对本发明没有限制,附图中:
[0024]图1是平面剖视图(沿着图2中线A-A截取的横截面),示出根据本发明的罗茨栗;
[0025]图2是侧视剖视图(沿着图1中线B-B截取的横截面),示出根据本发明的罗茨栗,其中,第一排放阀系统14、15和17制成一个组装部件的形式,并组装到栗气缸;
[0026]图3是显示根据本发明罗茨栗的视图,其中,第一排放阀系统16和17 —体地形成在栗气缸上,同时示出第一排放阀15的组装状态;
[0027]图4A和4B是描述根据本发明的罗茨栗操作状态的视图;以及
[0028]图5是显示传统旁路阀型的罗茨栗结构的视图。
【具体实施方式】
[0029]在下面的描述中,本发明将参照附图进行描述,附图示出作为本发明宗旨的特殊的实施例。
[0030]这些示范的实施例将被详细地描述,详细程度达到可让本技术领域内技术人员可实施本发明。应该理解到,即使各种示范的实施例彼此可能不同,也不意图排斥其他的实施例。例如,这里相对于示范实施例所描述特征的各方面和结构,可由另一个示范实施例来实施,而不会脱离本发明的精神和范围。
[0031]此外,应该理解到,各个披露的示范实施例中个
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