一种带有泵油回收装置的真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空栗设备领域，尤其涉及一种带有栗油回收装置的真空栗。
【背景技术】
[0002]目前单晶炉在工作过程中要保证真空环境，目前的真空栗分为水环式真空栗、吸气式真空栗、和油式真空栗，其中油式真空栗的工作效果最好，可以有效防止气体回流，有效保证高真空环境，但油式真空栗在工作中其内部充满油介质，其排出的气体中含油量巨大，且现有的油式真空栗的耗油量过大，没有节油设施，造成的浪费也较多。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述现有的真空栗的栗油损耗较大的问题，本实用新型提供了一种带有栗油回收装置的真空栗以最大程度节约栗油，降低能耗。
[0004]提供了一种带有栗油回收装置的真空栗，其包括机壳，所述的机壳预留有进气口、真空腔、储油腔、出气口、所述的进气口、真空腔、储油腔、出气口依次相接通，在进气口通往真空腔的气路上罩有过滤纱网并安装有出气端朝向真空腔的第一单向阀，在真空腔内偏心设置有一转子，在转子上安装有若干个向外延伸的旋片，在真空腔的排气端口处安装有第二单向阀，在真空腔与储油舱之间的通道处安装有油液过滤器，在出气口相交位置处安装有油气分离器；在出气口处连接有栗油回收装置，栗油回收装置包括两块挡板、通气管路，所述的通气管路与真空栗的出气口相对接，两块挡板设置在通气管路内并位于出气口上方，在通气管路内并排设有多个集油管，多个集油管刚好充满通气管路的内腔，所述的集油管为底端缩口顶端扩口的通气管路。
[0005]进一步的，还包括第一回油管，所述的第一回油管的一端连通栗油回收装置，第一回油管的另一端连通真空栗的储油腔。
[0006]进一步的，还包括第二回油管，第二回油管一端连通真空栗的储油腔，第二回油管另一端连通真空栗的真空腔。
[0007]进一步的，在机壳底部安装有若干减震支撑。
[0008]本实用新型相对于现有技术而言具有以下有益效果:
[0009]增设了蓄油装置，蓄油装置可以有效回收栗油，大大降低了栗油的浪费率。
[0010]改进了真空栗的内部结构，使得真空栗在工作过程中栗油更易流动，进而降低了能耗。
[0011]双腔室和回流管的设计保证了真空栗内的液体循环，更加科学高效。
[0012]出气端的双过滤结构，大大降低了排出气体的含油量。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的正视结构示意图；
[0014]图2为本实用新型的栗油回收装置的结构示意图；
[0015]附图标记说明:第一单向阀一 1、真空腔一2、转子一3、第一回油管一4、第二单向阀一 5、油液过滤器一 6、储油腔一 7、第一油气分离器一 8、第二油气分离器一 9、挡板一 10、集油管一11、蓄油区一12.
【具体实施方式】
[0016]以下结合附图1、2对本实用新型做进一步说明:
[0017]如图1所示，提供了一种带有栗油回收装置的真空栗，包括机壳，所述的机壳分为三个腔室，分别为真空腔2、储油腔7和过滤腔、机壳的进气口开在真空腔2上，机壳的出气口开在过滤腔上，所述的进气口、真空腔2、储油腔7、过滤腔、出气口依次相接通，在进气口通往真空腔2的气路上罩有过滤纱网并安装，在过滤纱网下安装有第一单向阀1，第一单向阀1的出气端朝向真空腔2，在真空腔2内偏心设置有一转子3，在转子3上安装有若干个向外延伸的旋片，在真空腔2的排气端口处安装有第二单向阀5，第二单向阀5的导通端朝向储油腔7，在真空腔2与储油腔7之间的通道内安装有油液过滤器6，所述的储油腔7与过滤腔之间设有一带有缺口的密封板，在缺口内安装有第一油气分离器8，在过滤腔的出气口出安装有第二油气分离器9。
[0018]如图二所示，在过滤腔的出气口处接有栗油回收装置，所述的栗油回收装置包括具有多个折弯的通气管路，通气管路的一端接在真空栗的出气口处，在该处设有两块挡板10，两块挡板10设置在通气管路内并位于出气口上方，在通气管路内并排设有多个集油管11，多个集油管11刚好充满通气管路的内腔，所述的集油管11为底端缩口顶端扩口的通气管路，位于集油管11下方的通气管路还带有三角形的蓄油区12，该蓄油区12通过输油管连接到真空栗的储油腔7，在输油管上还安装有手旋阀门。
[0019]还包括第一回油管4，所述的第一回油管4的一端连通栗油回收装置，第一回油管4的另一端连通真空栗的储油腔7。
[0020]还包括第二回油管，第二回油管一端连通真空栗的储油腔7，第二回油管另一端连通真空栗的真空腔2。
[0021]在机壳底部安装有若干减震支撑。
[0022]在真空栗的真空腔2和储油腔7内充满栗油。
[0023]所述的转子3与外部电机相连。
[0024]以下结合附图1、2对本实用新型的运行机理进行说明:
[0025]首先将预设真空压力值输入至控制器内，控制器启动外部电机，外部电机带动转子3转动，因为转子3为偏心设置会形成一个真空区，此时入气口内开始持续通入气体，并储存至真空区内，等气体达到一定压力值通过第二单向阀5释放至储油腔7内，并穿过第一油气分离器8和第二油气分离器9抵达至出气口处，此时气体中还含有大量的油滴，气体首先遇到两个挡板10油滴附着在挡板10上并回流，气体在通过多弯折的管路时也会有一部分油滴附着在管路上，剩余气体在通过集油管11时，油滴会附着在集油管11上，油液通过输油管会回输至储油腔7内。
【主权项】
1.一种带有栗油回收装置的真空栗，其特征在于:包括机壳，所述的机壳预留有进气口、真空腔(2)、储油腔(7)、出气口、所述的进气口、真空腔(2)、储油腔(7)、出气口依次相接通，在进气口通往真空腔(2)的气路上罩有过滤纱网并安装有出气端朝向真空腔(2)的第一单向阀(1)，在真空腔(2)内偏心设置有一转子(3)，在转子(3)上安装有若干个向外延伸的旋片，在真空腔(2)的排气端口处安装有第二单向阀(5)，在真空腔(2)与储油舱之间的通道处安装有油液过滤器￠)，在出气口处安装有油气分离器；在出气口处连接有栗油回收装置，栗油回收装置包括两块挡板(10)、通气管路，所述的通气管路与真空栗的出气口相对接，两块挡板(10)设置在通气管路内并位于出气口上方，在通气管路内并排设有多个集油管(11)，多个集油管(11)刚好充满通气管路的内腔，所述的集油管(11)为底端缩口顶端扩口的通气管路。2.根据权利要求1所述的一种带有栗油回收装置的真空栗，其特征在于:还包括第一回油管(4)，所述的第一回油管(4)的一端连通栗油回收装置，第一回油管(4)的另一端连通真空栗的储油腔(7)。3.根据权利要求1所述的一种带有栗油回收装置的真空栗，其特征在于:还包括第二回油管，第二回油管一端连通真空栗的储油腔(7)，第二回油管另一端连通真空栗的真空腔⑵。4.根据权利要求1所述的一种带有栗油回收装置的真空栗，其特征在于:在机壳底部安装有若干减震支撑。
【专利摘要】本实用新型一种带有泵油回收装置的真空泵，其包括机壳，所述的机壳预留有依次相接通的进气口、真空腔、储油腔、出气口，在进气口通往真空腔的气路上罩有过滤纱网并安装有出气端朝向真空腔的第一单向阀，在真空腔内偏心设置有一转子，在真空腔的排气端口处安装有第二单向阀，在真空腔与储油舱之间的通道处安装有油液过滤器，在出气口相交位置处安装有油气分离器；在出气口处连接有泵油回收装置，泵油回收装置包括两块挡板、通气管路，所述的通气管路与真空泵的出气口相对接，在通气管路内并排设有多个集油管，出气端的双过滤结构，增设蓄油装置，大大降低了排出气体的含油量且可以有效回收泵油，大大降低了泵油的浪费率。
【IPC分类】F04C29/02, F04C18/344, F04C25/02
【公开号】CN205101226
【申请号】CN201520812540
【发明人】陈宏彬, 张浩强, 张鹏, 岳瑞存
【申请人】宁晋松宫电子材料有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年10月20日