一种具有磁感应联轴器结构的真空泵的制作方法

文档序号:10764110
一种具有磁感应联轴器结构的真空泵的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有磁感应联轴器结构的真空泵,包括真空泵本体、磁感应联轴器和电机,及设置在真空泵本体上的固定架,及设置在真空泵本体上的输入轴,及设置在电机上的输出轴,磁感应联轴器由磁性转子、磁力片、导体转子、导磁盘和隔离罩,真空泵本体上设有用于固定输入轴的固定座,输入轴上卡设有花键,磁性转子上设有与花键相配合的花键槽,磁力片固定在磁性转子上,导体转子固定在输出轴上,导磁盘固定在导体转子上,磁性转子上配合有转套,转套上设有定位杆,固定架固定在真空泵本体上,固定架内侧设有固定块,固定块上设有滑槽,定位杆上设有与滑槽相配合滑动的滑块。降低了磁铁使用量,可调节输入轴转速,不会发生去磁效应。
【专利说明】
一种具有磁感应联轴器结构的真空泵
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种具有磁感应联轴器结构的真空栗。
【背景技术】
[0002]目前,公知的真空栗是一种旋转式变容真空栗须有前级栗配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业,具有便捷,使用灵活的特点。像在光电或半导体领域中,因为制程的需求,如蚀刻、气相沉积等,往往需要将产品容置在真空的环境下以进行生产作业,为此,会需要真空栗进行气体吸除排放作业,来产生制程所需的环境;真空栗的气体吸除排放作业,可将一腔室中的气体排出腔室,进而改变所述腔室的气压,甚至让所述腔室接近真空状态。
[0003]但是现有技术的真空栗具有以下缺点:
[0004]1、永磁材料昂贵,提高制造成本:外磁转子与内磁转子均使用永磁铁,如此,提高了制造成本。
[0005]2、联轴器易产生去磁效应。

【发明内容】

[0006]本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单,使用方便,操作简单,降低了磁铁使用量,成本低,可调节输入轴转速,安装及拆卸方便,不会发生去磁效应,适用范围广,使用寿命长,具有安全可靠作用的具有磁感应联轴器结构的真空栗。
[0007]为解决上述问题,本实用新型采用如下技术方案:
[0008]—种具有磁感应联轴器结构的真空栗,包括真空栗本体、磁感应联轴器和电机,及设置在真空栗本体上的固定架,及设置在真空栗本体上的输入轴,及设置在电机上的输出轴,所述磁感应联轴器由磁性转子、磁力片、导体转子、导磁盘和隔离罩,所述真空栗本体上设有用于固定输入轴的固定座,所述输入轴上卡设有花键,所述磁性转子上设有与所述花键相配合的花键槽,所述磁力片固定在磁性转子上,所述导体转子固定在输出轴上,所述导磁盘固定在导体转子上,所述磁性转子上配合有转套,所述转套上设有定位杆,所述固定架固定在真空栗本体上,所述固定架内侧设有固定块,所述固定块上设有滑槽,所述定位杆上设有与所述滑槽相配合滑动的滑块,所述固定座上设有防护罩,所述防护罩与固定架固定,所述隔离罩固定在防护罩内壁上。
[0009]作为优选的技术方案,所述固定块上设有滑动槽,所述滑动槽上可滑动的设有用于固定滑块与固定块的固定螺栓,所述滑块上设有便于固定螺栓穿过的螺栓孔,所述固定座上设有与所述磁性转子相配合的柔性限位块,所述固定座上设有用于支撑及供输入轴旋转的轴承,所述磁性转子上设有与所述输入轴相配合的轴孔。
[0010]作为优选的技术方案,所述磁力片上具有多个磁极区块,所述磁极区块由N极区块及S极区块交错设置在所述磁力片上。
[0011]作为优选的技术方案,所述固定块上设有便于滑块配入滑槽的端口,所述防护罩上设有便于定位杆左右滑动的通槽。
[0012]作为优选的技术方案,所述隔离罩采用非导体材质制成。
[0013]作为优选的技术方案,所述固定座上设有用于固定真空栗本体和固定座的固定螺钉。
[0014]本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗的有益效果是:其结构简单,使用方便,操作简单,降低了磁铁使用量,成本低,可调节输入轴转速,安装及拆卸方便,不会发生去磁效应,适用范围广,使用寿命长,具有安全可靠的作用。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗的结构示意图;
[0017]图2为本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗的花键结构图;
[0018]图3为本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗的磁性转子结构图
[0019]图4为本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗的固定块结构图。
【具体实施方式】
[0020]参阅图1、图2、图3和图4所示的一种具有磁感应联轴器结构的真空栗,包括真空栗本体1、磁感应联轴器3和电机2,及设置在真空栗本体I上的固定架4,及设置在真空栗本体I上的输入轴5,及设置在电机2上的输出轴6,所述磁感应联轴器3由磁性转子7、磁力片8、导体转子9、导磁盘10和隔离罩11,所述真空栗本体I上设有用于固定输入轴5的固定座12,所述输入轴5上卡设有花键13,所述磁性转子7上设有与所述花键13相配合的花键槽14,所述磁力片8固定在磁性转子7上,所述导体转子9固定在输出轴6上,所述导磁盘10固定在导体转子9上,所述磁性转子7上配合有转套15,所述转套15上设有定位杆16,所述固定架4固定在真空栗本体I上,所述固定架4内侧设有固定块17,所述固定块17上设有滑槽18,所述定位杆16上设有与所述滑槽18相配合滑动的滑块19,所述固定座12上设有防护罩20,所述防护罩20与固定架4固定,所述隔离罩11固定在防护罩20内壁上。
[0021]本实用新型中一个较佳的实施例,所述固定块17上设有滑动槽21,所述滑动槽21上可滑动的设有用于固定滑块19与固定块17的固定螺栓22,所述滑块19上设有便于固定螺栓22穿过的螺栓孔23,所述固定座12上设有与所述磁性转子7相配合的柔性限位块24,所述固定座12上设有用于支撑及供输入轴5旋转的轴承25,所述磁性转子7上设有与所述输入轴5相配合的轴孔26。
[0022]本实用新型中一个较佳的实施例,所述磁力片8上具有多个磁极区块(未图示),所述磁极区块(未图示)由N极区块及S极区块交错设置在所述磁力片8上。
[0023]本实用新型中一个较佳的实施例,所述固定块17上设有便于滑块19配入滑槽18的端口 101,所述防护罩20上设有便于定位杆16左右滑动的通槽(未图示)。
[0024]本实用新型中一个较佳的实施例,所述隔离罩11采用非导体材质制成。
[0025]本实用新型中一个较佳的实施例,所述固定座12上设有用于固定真空栗本体I和固定座12的固定螺钉102。
[0026]进一步的,降低磁铁的使用量:本实用新型采用磁性转子及导体转子做为联轴器的主要组件,其中,仅磁性转子以永磁铁制成,导体转子以低电阻材料,例如铜或是铝等导体金属来制成,如此,降低了磁铁的使用量。
[0027]进一步的,联轴器不会发生去磁效应:由于本实用新型采用磁性转子及导体转子做为联轴器的主要组件,在大扭矩应用时,由于磁性转子及导体转子异步运转,不会发生滑脱,可避免因滑脱所产生的热能,进而避免造成联轴器去磁效应。
[0028]进一步的,在本实用新型中,真空栗运转的转速可通过调整磁力片与导磁盘之间的距离来改变,距离越近,真空栗主体运转的转速越快,相反的,距离越远,真空栗主体运转的转速越慢。
[0029]本实用新型一种具有磁感应联轴器结构的真空栗具有以下优点:使用时,电机运转时,带动导体转子转动,并对磁力片的磁场产生切割效应造成感应电流,感应电流在导磁盘上产生感应磁场,感应磁场与磁力片的磁场作用,使得磁性转子发生转动,并驱动真空栗主体输入轴运转,通过在输入轴上设置的花键与设置在磁性转子上的花键槽相配合,以及在磁性转子上设置的与输入轴相配合的轴孔,可便于使用者调整磁力片与导磁盘之间的距离,而在调整好距离后,通过转套以及通过设置在固定块上的滑槽与设置在定位杆上的滑块配合,并通过设置在固定块上的固定螺栓来固定滑块,可将磁性转子进行固定,并与输入轴一起旋转,从而实现了真空栗工作的转速调整,通过所设的隔离罩,可阻绝电机端与真空栗主体端的气体相互流动。其结构简单,使用方便,操作简单,降低了磁铁使用量,成本低,可调节输入轴转速,安装及拆卸方便,不会发生去磁效应,适用范围广,使用寿命长,具有安全可靠的作用。
[0030]以上所述,仅为本实用新型的【具体实施方式】,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
【主权项】
1.一种具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:包括真空栗本体、磁感应联轴器和电机,及设置在真空栗本体上的固定架,及设置在真空栗本体上的输入轴,及设置在电机上的输出轴,所述磁感应联轴器由磁性转子、磁力片、导体转子、导磁盘和隔离罩,所述真空栗本体上设有用于固定输入轴的固定座,所述输入轴上卡设有花键,所述磁性转子上设有与所述花键相配合的花键槽,所述磁力片固定在磁性转子上,所述导体转子固定在输出轴上,所述导磁盘固定在导体转子上,所述磁性转子上配合有转套,所述转套上设有定位杆,所述固定架固定在真空栗本体上,所述固定架内侧设有固定块,所述固定块上设有滑槽,所述定位杆上设有与所述滑槽相配合滑动的滑块,所述固定座上设有防护罩,所述防护罩与固定架固定,所述隔离罩固定在防护罩内壁上。2.根据权利要求1所述的具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:所述固定块上设有滑动槽,所述滑动槽上可滑动的设有用于固定滑块与固定块的固定螺栓,所述滑块上设有便于固定螺栓穿过的螺栓孔,所述固定座上设有与所述磁性转子相配合的柔性限位块,所述固定座上设有用于支撑及供输入轴旋转的轴承,所述磁性转子上设有与所述输入轴相配合的轴孔。3.根据权利要求1所述的具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:所述磁力片上具有多个磁极区块,所述磁极区块由N极区块及S极区块交错设置在所述磁力片上。4.根据权利要求1所述的具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:所述固定块上设有便于滑块配入滑槽的端口,所述防护罩上设有便于定位杆左右滑动的通槽。5.根据权利要求1所述的具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:所述隔离罩采用非导体材质制成。6.根据权利要求1所述的具有磁感应联轴器结构的真空栗,其特征在于:所述固定座上设有用于固定真空栗本体和固定座的固定螺钉。
【文档编号】H02K49/10GK205446046SQ201620273206
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年4月1日
【发明人】陈敏
【申请人】宁波爱发科真空技术有限公司
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