一种低温泵的气体吸附装置的制造方法

文档序号:10949965
一种低温泵的气体吸附装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及到一种低温泵的气体吸附装置,其包括中心板(1),第一阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞片(21)、第四阵列排布冷伞片(22),所述第一阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞片(21)、第四阵列排布冷伞片(22)排列设置在中心板(1)的四周,并形成一个圆形或正多边形结构,中心板(1)为圆板形。本实用新型的技术效果,提高气体吸附装置与气体的接触面积,有效的增加气体的吸附效率,从而进一步提高低温泵内的真空度。
【专利说明】
一种低温泵的气体吸附装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及到一种低温栗,尤其涉及到一种低温栗的气体吸附装置。【背景技术】
[0002]低温栗是利用低温表面冷凝气体的真空栗,又称冷凝栗。低温栗可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。[〇〇〇3]在低温栗内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于栗的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度必须低于25K;抽氢时, 冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附:气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③ 低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
[0004]一般说来,栗的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K 时,水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,栗的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,栗的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
[0005]低温栗的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。凝结热与气体种类有关,对于80K、133.322帕?升的氮气冷凝在20K冷板上的凝结热为0.3?0.6焦耳。工作冷板接受的辐射热与周围壁面板温度和工作冷板温度两者的4次方之差成正比。因此,4.2K和20K工作冷板均用50?100K的冷板来屏蔽,以减少工作冷板所接受的辐射热。
[0006]目前的低温栗内置的气体吸附装置主要采用圆柱式气体吸附装置,但这种圆柱式气体吸附装置存在的缺点是与气体的接触面积较少,其接触面积只有一个面,其不利于气体的吸附。【实用新型内容】
[0007]为了解决现有气体吸附装置存在接触面积较少的缺点,本实用新型提供一种低温栗气体吸附装置。
[0008]为了实现上述的技术目的,本实用新型提供一种新型的低温栗气体吸附装置,其包括中心板(1)、第一阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞片 (21)、第四阵列排布冷伞片(22),所述第一阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、 第三阵列排布冷伞片(21)、第四阵列排布冷伞片(22)排列设置在中心板(1)的四周,并形成圆形或正多边形结构。
[0009]本实用新型的优选实施方案是,所述中心板为圆形板。
[0010]本实用新型的优选实施方案是,所述中心板为方形板。
[0011]本实用新型的优选实施方案是,所述第一阵列排布冷伞片、第二阵列排布冷伞片, 第三阵列排布冷伞片,第四阵列排布冷伞片上均包含至少两块冷伞片。
[0012]本实用新型的优选实施方案是,所述冷伞片包含第一伞片,第二伞片,第三伞片, 其中,第一伞片和第三伞片对称的设置在第二伞片的两侧,所述第一伞片与第二伞片的夹角成120°。
[0013]本实用新型的优选实施方案是,所述冷伞片截面为圆弧形。
[0014]本实用新型的技术效果,提高气体吸附装置与气体的接触面积,有效的增加气体的吸附效率,从而进一步的提高低温栗内的真空度。【附图说明】[0〇15]图1为本实用新型的结构不意图。【具体实施方式】
[0016]为了更清楚的叙述本实用新型的技术方案,下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
[0017]图1为本实用新型的结构示意图,参照图1所示,一种低温栗气体吸附装置,其包括中心板1、第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片22,其中,第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片(22)排列设置在中心板(1)的周围,并形成圆形或正多边形结构。[0〇18]中心板1为方形板或圆形板,第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片(22)均包含两片以上的冷伞片(23)。第一阵列排布冷伞片2、第二阵列排布冷伞片20、第三阵列排布冷伞片21、第四阵列排布冷伞片(22)中相邻两个冷伞片(23)等距。
[0019]在本实用新型中,其中一种实施方式是冷伞片23的截面为圆弧形。
[0020]在本实用新型中,冷伞片23包括第一伞片10、第二伞片11、第三伞片12,其中,第一伞片10和第三伞片12对称的设置在第二伞片11的两侧,所述第一伞片10与第二伞片11的夹角成120*3。每个冷伞片23上都粘有具有吸附功能的活性碳。
[0021]以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式,其描述较为详细,只要本领域的技术人员在查看到本实用新型的实施例后,不脱离本实用新型构思的前提下,所做的改变都属于本实用新型的保护范围。但本文所述的实施例不能理解为对本实用新型的保护范围限制。
【主权项】
1.一种低温栗的气体吸附装置,其特征在于,所述气体吸附装置包括中心板(1)、第一 阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞片(21)、第四阵列排布 冷伞片(22),所述第一阵列排布冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞 片(21)、第四阵列排布冷伞片(22)排列设置在中心板(1)的四周,并形成圆形或正多边形结构。2.根据权利要求1所述的一种低温栗的气体吸附装置,其特征在于,所述中心板(1)为 圆形板。3.根据权利要求1所述的一种低温栗的气体吸附装置,其特征在于,所述第一阵列排布 冷伞片(2)、第二阵列排布冷伞片(20)、第三阵列排布冷伞片(21)、第四阵列排布冷伞片 (22)上均包含至少两块冷伞片(23)。4.根据权利要求3所述的一种低温栗的气体吸附装置,其特征在于,所述冷伞片(23)包 含第一伞片(10)、第二伞片(11)、第三伞片(12),其中,第一伞片(10)和第三伞片(12)对称 的设置在第二伞片(11)的两侧,所述第一伞片(10)与第二伞片(11)的夹角成120%5.根据权利要求3所述的一种低温栗的气体吸附装置,其特征在于,所述冷伞片(23) 为圆弧形。
【文档编号】F04B37/08GK205638848SQ201620219383
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月22日
【发明人】毛文瑞
【申请人】上海优拓低温技术有限公司
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