专利名称：压力调节阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种压力调节阀，特别涉及一种可减少由表面污染所带来 的问题的压力调节阀。
背景技术：
化学气相淀积室常常装配有压力调节阀以满足其内反应对于压力的要求。 然而其内的化学反应往往伴随有副产品的产生，此副产品在高温下为气态，而
其流过压力调节阀时， 一旦温度低于一定程度便转换为固态粉粒而极易覆盖于 压力调节阀的阀门叶片之上而导致其表面污染，严重时将导致其功能失效。
请参考图1,其为已知的压力调节阀的截面示意图。其安装于化学气相淀积
室与气泵之间，气泵通过该压力调节阀的开口 10向化学气相淀积室注入或从中 排除气体，从而调节淀积室内的气压。该压力调节阀具有一阀门叶片20，其在 发动机40的带动下可绕着中心轴30转动，以打开或关闭阀门。当其转动到如 图l所示的位置时，即阀门叶片20完全遮盖开口 10，阀门为关闭状态，以保持 淀积室内的气压；其旋转至其它位置时，阀门为打开状态，以改变淀积室内的 气压。然而由上述可知，淀积室内的反应往往伴随着副产品的产生，其于经过 该阀门叶片20时，会由于温度降低而转换为粉粒P附着于其上而造成污染。严 重时，如图1所示，堆积于阀门叶片周边的粉粒P会阻碍阀门叶片的转动，从 而导致该压力调节阀无法正常工作。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种压力调节阀，以解决现有压力调节阀由于 表面污染所带来的问题。
为此，本实用新型提供一种压力调节阀，其中形成有通孔，其包括阀门 叶片，沿着与通孔垂直的方向移动，其中当该阀门叶片移动至第一位置时，完
全遮挡住通孔，当该阀门叶片移动至第二位置时，完全暴露出通孔。
进一步的，所述的压力调节阀还包括与阀门叶片相连的温控装置，以控制
阀门叶片的温度。
进一步的，该阀门叶片具有相对于其移动方向倾斜的倾斜面。
进一步的，上述倾斜面相对于运动方向倾斜的角度大于或等于30度。 进一步的，该阀门叶片具有与其移动方向平行且与上述倾斜面相对的移动面。
进一步的，上述移动面上对称安装有多个滚^"。 进一步的，上述滚^^的个数为四个，对称安装于上述移动面。 进一步的，压力调节阀内形成有两个滑槽，其对称位于通孔两侧，其中上 述滚轮于该滑槽内滚动以带动阀门叶片的移动。
进一步的，所述的压力调节阀还包括发动机，以驱动阀门叶片的移动。 本实用新型提供的压力调节阀，其阀门叶片以平移的方式来开启或关闭阀 门，相对于现有技术的转动方式，避免了附着于阀门叶片上的粉粒阻碍其转动 而导致其失效的情况；同时，其采用了温控装置来控制阀门叶片的温度与阀门 叶片的倾斜表面设计来减少其表面的粉粒附着量，从而实现了更为有效的阀门 控制方式。
图1为已知的压力调节阀的截面示意图2为本实用新型一实施例提供的压力调节阀的正侧图3为本实用新型一实施例提供的压力调节阀的右侧图4为本实施例的压力调节阀的内部示意图5为本实施例的压力调节阀处于关闭与完全打开状态时的示意图6为本实用新型一实施例中阀门叶片的截面示意图与立体图。
具体实施方式
下面参照附图并结合实施例对本实用新型进行详细的描述。
请参考图2与图3,其分别为本实用新型一实施例提供的压力调节阀的正侧图与右侧图。再合并参考图4与图5，其中图4为本实施例的压力调节阀的内部 示意图，图5为本实施例的压力调节阀处于关闭与完全打开状态时的示意图。
如图所示，该压力调节阀具有外壳10,其内形成有通孔12,通孔12两侧 分别接通反应室(例如，化学气相淀积室)与气泵，以使气泵通过该通孔12向 反应室内注入或从中排除气体。压力调节阀内包括阀门叶片14,其可沿着与通 孔12垂直的方向移动，如图5中的箭头方向。其中当阀门叶片14处于图5所 示的第一位置时，完全暴露出通孔12,该压力调节阀处于完全打开状态；阀门 叶片14向箭头方向移动，逐渐遮挡通孔12,当其移动至图5所示的第二位置时， 完全遮挡住通孔12，该压力调节阀处于关闭状态。如此，利用阀门叶片14的平 移运动来打开或关闭阀门，避免了先前技术中粉粒堆积于阀门叶片表面时阻碍 其转动而引起其失效的问题。
如图，该压力调节阀还包括与阀门叶片14相连的温控装置16，以控制阀门 叶片14的温度，从而使反应室中产生的副产品于接触阀门叶片14时，不会因 温度降低而转化为固态粉粒而堆积于其上，由此减少了阀门叶片14表面的污染。 该温控装置16由热传导件162与控温件164组成，其中热传导件162与阀门叶 片14连接，以将热传给阀门叶片14,而控温件164感测并控制热传导件162的 温度。另外发动机18与阀门叶片14连接以为阀门叶片14的移动提供驱动力。
以上描述了利用温控装置16来减少阀门叶片14表面粉粒堆积的方法，而 具有特定结构的阀门叶片14也可以达到此效果。请参考图6，其为本实用新型 一实施例中压力调节阀的阀门叶片14的截面示意图与立体图。阀门叶片14具 有相对于其移动方向(如图中箭头方向)倾斜的倾斜面142,粉粒P便附着于该 表面，由于其特定的倾斜设计，而使得粉粒P易于沿着倾斜面142滑落，减少 附着量。从力学角度，其倾斜角度为30度或大于30度，更加有益粉粒P的滑 落。而在本实施例中阀门叶片的形状为四边形，但是本实用新型并不限制其形 状，其可为任意形状，只要可以遮挡柱通孔12即可。
可见，温控装置16通过控制阀门叶片14表面的温度而减少副产品转化为 固态粉粒的几率；阀门叶片14倾斜面142的设计又可减少其表面的固态粉粒附 着量，从而从两方面有效的减少了阀门叶片14表面粉粒附着量。
此外，与倾斜面相对的另一面可设定为移动面144,其与阀门叶片14的移
动方向平行，为减少移动中的摩擦，于其上对称安装有多个滚轮146。在本实施 例中安装有4个滚轮146,但本实用新型并不限制其个数。为了定位滚轮146的 滑动轨迹，可于压力调节阀内设计两个滑槽20，其对称位于通孔12的两侧。
以上仅为举例，并非用以限定本实用新型，本实用新型的保护范围应当以 权利要求书所涵盖的范围为准。
权利要求1.一种压力调节阀，其中形成有通孔，其特征是，包括阀门叶片，沿着与通孔垂直的方向移动，其中当该阀门叶片移动至一第一位置时，完全暴露出通孔，当该阀门叶片移动至一第二位置时，完全遮挡住通孔。
2. 根据权利要求1所述的压力调节阀，其特征是，还包括 与阀门叶片相连的温控装置，以控制阀门叶片的温度。
3. 根据权利要求2所述的压力调节阀，其特征是，上述温控装置包括热传 导件与控温件，其中热传导件与阀门叶片连接，控温件感测并控制热传导件的温度。
4. 根据权利要求1所述的压力调节阀，其特征是，其中该阀门叶片具有相 对于其移动方向倾斜的倾斜面。
5. 根据权利要求4所述的压力调节阀，其特征是，其中上述倾斜面相对于 运动方向倾斜的角度大于或等于30度。
6. 根据权利要求4所述的压力调节阀，其特征是，其中该阀门叶片具有与 其移动方向平行且与上述倾斜面相对的移动面。
7. 根据权利要求6所述的压力调节阀，其特征是，其中上述移动面上对称 安装有多个滚轮。
8. 根据权利要求7所述的压力调节阀，其特征是，其中上述滚轮的个数为 四个，对称安装于上述移动面。
9. 根据权利要求7所述的压力调节阀，其特征是，其中压力调节阀内形成 有两个滑槽，其对称位于通孔两侧，其中上述滚轮于该滑槽内滚动以带动阀门 叶片的移动。
10. 根据权利要求1所述的压力调节阀，其特征是，还包括发动机，以驱动 阀门叶片的移动。
专利摘要本实用新型揭露了一种压力调节阀，其阀门叶片以平移的方式来开启或关闭阀门，相对于现有技术的转动方式，避免了附着于阀门叶片上的粉粒阻碍其转动而导致其失效的情况。该压力调节阀中形成有通孔，其包括阀门叶片，沿着与通孔垂直的方向移动，其中当该阀门叶片移动至一第一位置时，完全暴露出通孔；当该阀门叶片移动至一第二位置时，完全遮挡住通孔。
文档编号F16K17/36GK201187590SQ20082005656
公开日2009年1月28日 申请日期2008年3月25日 优先权日2008年3月25日
发明者亮 许 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司