专利名称：真空阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空阀，包括一带有一阀门流通断面和一包围着阀门流通断面的 阀座的壁，该阀座具有一位于一平面中的密封面或者一位于一平面中的密封图，并且包括 一阀瓣，该阀瓣可从一打开位置经一关闭行程调节到一关闭位置，在该打开位置中它打开 阀门流通断面，在该关闭位置中它关闭阀门流通断面，并且具有一密封圈，该密封圈在关闭 位置中压紧在阀座的密封面上，或者具有一密封面，在关闭位置中阀座的密封圈压紧在该 密封面上，其中阀瓣在真空阀关闭时从阀瓣的打开位置出发经一关闭行程的主断面沿着一 主关闭方向调节，该主关闭方向平行于阀瓣，并且平行于密封面的平面或者阀座密封圈的 平面，并且紧接着在关闭行程的主断面上为了使阀瓣接近阀座在一与阀瓣成一定角度，并 且与密封面的平面或者阀座密封圈的平面成一定角度走向的关闭行程的末端部分上调节。
背景技术：
在大量的不同的结构形式下的真空阀按照平板阀的类型，在该平板阀中阀门流通 断面通过一阀瓣关闭，该阀瓣相对于包围着阀门流通断面的阀座压紧，已是众所周知的。在 这里为了使由一弹性材料组成的密封不遭受太大的剪切应力，已知，阀瓣的关闭移动分两 级实施。在关闭行程的第一部分中，该部分包括关闭行程延伸的绝大部分，阀瓣从一打开阀 门流通断面的打开位置移动到一盖住阀门流通断面的、但是尚从阀座上抬起的中间位置。 在关闭行程的末端部分中阀瓣从中间位置移动到关闭位置，在该关闭位置中它压紧到阀座 上，并且密封阀门流通断面。在一传统的滑阀类型中通过机械元件产生阀瓣的两级移动过程，该元件布置在一 由至少一驱动件移动的支撑板和阀瓣之间。在该机械元件中可涉及到滚动体，该滚动体在 阀瓣和支撑板之间的楔形的间隙中引导，并且涉及到在该两个板之间的杠杆机构或者偏转 元件。为了避免或者限制在第二移动工步时阀杆的弯曲，支撑板或者一同样经用作支撑的 机械元件与支撑板相连接的支座板相对于一处在阀座对面的阀壳体壁支承。这样的滑阀例 如由 US4560141A、DE3209217C2、DE3224387C2 和 US3185435A 已是众所周知的。此外关闭移动的第二部分可通过阀杆围绕着一垂直于阀杆的轴线的偏转实现。该 阀杆的偏转例如可通过一滑杆导向装置实现，例如参见US7066443B2、或者经一自身的驱动 件、例如参见 US7059583B2、US6390448B 1 或者 DE19633798A1。此外已知的是，由于阀瓣借助于至少一驱动件可相对于支撑板调节，所以可实施 关闭移动的第二部分，该支撑板借助于至少一驱动件可在关闭行程的第一部分上调节。这 样的真空阀例如由US6056266和US6899316B2所公开。此外由US6776394B2已知一所谓的摆式阀，在该摆式阀中阀瓣首先不是直线移动 而是沿着一圆弧偏转。为了阀瓣在阀座上达到足够的压紧力，这里在阀壳体中设有可调节 的推杆，用该推杆阀瓣可压紧在阀座上。由US2007/0228314A1得知一摆式阀，在该摆式阀 中可调节的推杆支承在阀瓣中，并且支撑在壳体上。在平板阀或者滑阀的其它类型中密封面和密封圈以三维的方式这样构成，以便在阀瓣直线插入阀座时没有剪切荷载作用到合成橡胶的密封上。阀瓣在它的整个关闭行程上 从它的打开位置直到它的关闭位置直线地移动。一这样的阀例如由US4921213已是众所周 知的。
此外已知的是，两个可彼此独立操纵的密封元件布置在一共同的阀壳体中，其中 第一阀门流通断面可由第一密封元件密封，并且第二阀门流通断面可由第二密封元件密 封。平板阀也被称为L阀，在该平板阀中在关闭移动的第一部分中阀瓣平行于阀座的 平面直线地移动，并且在关闭移动的末端部分中基本上垂直于阀座移动，并且压紧在阀座 上。当在关闭移动的末端部分中移动相对于第一工步的移动方向倾斜、并且相对于阀座的 平面倾斜进行时，那么也被称为J阀。
发明内容
本发明的任务是提供一种开头时提到的类型的真空阀，该真空阀具有一简单的结 构，其中一在根据本发明的方式下构成的真空阀尤其是适合于纵向延伸的或者缝隙式的阀 门流通断面。由于至少一在关闭行程的末端部分上引导阀瓣的导向元件布置在壁上，该导 向元件与一布置在阀瓣上的导向元件共同起作用，所以根据本发明在开头时提到的类型的 真空阀中达到了该任务的目的，其中阀瓣在关闭行程的末端部分上的导向装置通过与密封 面的平面或者阀座的密封圈的平面构成一定角度的导向面实现，该导向面至少布置在一阀 瓣的导向元件上或者布置在一布置在壁上的导向元件上。通过至少一导向元件在具有阀门流通断面的壁上的布置，该导向元件在关闭行程 的末端部分上引导阀瓣，可以实现一简单的节省空间的结构。在这种情况下一为了阀瓣的 压紧施加到阀座上的压紧力可直接被具有阀门流通断面的壁吸收，这尤其是在纵向延伸的 或者缝隙式的阀门流通断面时是有利的(因为真空阀的其它部件的公差或者柔性不影响 阀瓣在阀门流通断面的长度上均勻的压紧到阀座上)。在本发明的一有利的结构形式中，在阀门流通断面之前和之后(与主关闭方向相 联系)用于阀瓣在它关闭行程的末端部分上关闭移动引导的导向元件布置在壁上，该壁与 阀瓣的导向元件共同起作用。至少两个分别共同起作用的导向元件的一个在这里具有一与 阀瓣构成一定角度、并且与密封面的平面或者阀座的密封圈的平面构成一定角度的导向面 (即该导向面不与密封面的平面或者阀座的密封圈的平面平行)。该导向面在这里优选的 方式是具有一不变的倾斜角，该导向面也可称为斜面，但是其中一变化的倾斜角也是可设 想的和可行的。代替至少一布置在阀门流通断面之后的导向元件在壁上的布置(与主关闭 方向相联系)至少一布置的导向元件也可以布置在真空阀的一侧壁上，该侧壁远离具有阀 门流通断面的壁。在本发明的一可能的结构形式中规定，一位于阀门流通断面之前的壁的凸起(与 主关闭方向相联系)或者安装在壁上、并且远离该壁的部件伸入一在阀瓣中的凹槽中。在 这里壁的凸起或者安装在壁上的、并且远离该壁的部件和凹槽、必要时与布置在其上的部 件相联系、例如导向辊形成用于阀盘在关闭行程的末端部分上导向的、共同起作用的导向 元件。在本发明的另一结构形式中规定，阀瓣的凸起或者安装在阀瓣上、并且远离该阀瓣的 部件伸入一位于阀门流通断面之前(与主关闭方向相联系)的、在壁中的凹槽中。在这里阀瓣的凸起或者远离该阀瓣的部件和凹槽、必要时与布置在其上的部件一起、例如导向辊 形成用于阀瓣在关闭行程的末端部分上导向的导向元件。至少一在阀门流通断面之后(与主关闭方向相联系)相对于壁固定布置的导向 元件可以由一壁的凸起、一安装在壁上、并且远离该壁的部件、一在远离该壁的侧壁中的凹 槽、一侧壁的凸起或者一安装在侧壁上、并且远离该侧壁的部件构成。在本发明的一可能的结构形式中，阀瓣构成真空阀的唯一的密封元件。在本发明 的另一结构形式中相对于构成在第一壁中用于第一阀门流通断面密封的真空阀的第一密 封元件的阀瓣另外可设有一第二密封元件，该密封元件用于在第二壁中第二阀门流通断面 的密封。两个密封元件在这里布置在真空阀的阀壳体的内腔之内，其中第一壁和第二壁是 该阀壳体的部件，并且优选的是在面对面的侧面上限定内腔。两个密封元件可彼此独立地 操纵。第二阀门流通断面用第二密封元件的密封例如可按照L阀的形式构成。通过密封 圈垂直放到密封面上密封圈的负荷可保持尽可能地小，以便第二密封元件设计用于大量的 关闭和打开过程。在一 J阀形式下的结构或者第二阀门流通断面用第二密封元件密封的其 它的结构也是可设想的和可行的。一另外装备有第二密封元件的根据本发明的真空阀例如作为传送阀可用于基片 在真空加工设备中的实施。在正常运行中真空阀的打开和关闭用第二密封元件实施。当第 二密封元件需要维护时，那么真空阀可用第一密封元件关闭，并且接着可进行在第一密封 元件上的维护，通过第一阀门流通断面的密封借助于第一密封元件关闭的真空设备的部分 不会吹进气体。
本发明其它的优点和细节下面借助于
。其中图1以视图的形式表示了一本发明的在阀瓣的打开位置中的真空阀的第一个实 施例；图2表示了一图1所示的在阀对面一侧上的视图，其中略去了在图2中位于前面 的阀壳体的壁；图3表示了一沿着图1所示的A-A剖切线的剖面；图4表示了一沿着图1所示的B-B剖切线的剖面；图5和图6表示了根据图1和图2所示的真空阀的图示，但是在阀瓣的关闭位置 中；图7表示了一沿着图5所示的C-C剖切线的剖面；图8表示了一沿着图5所示的D-D剖切线的剖面；图9表示了一根据图8所示的剖面，但是在阀瓣的中间位置中；图10和图11表示了图9所示的局部放大图；图12表示了一沿着图5所示的E-E剖切线的剖面；图13表示了一在阀瓣的打开位置中、根据第一个实施例的真空阀的斜视图；图14表示了一根据图10所示的变型的结构形式的剖面；图15表示了一根据图11所示的另一变型的结构形式的剖面；
图16表示了一在两个密封元件的打开位置中、根据本发明的真空阀的另一实施 例；
图17表示了一图16所示的沿着F-F剖切线的剖面；图18表示了一根据图17所示的剖面，但是在两个密封元件的中间位置中；图19表示了一图16所示的沿着G-G剖切线的剖面，但是其中第二密封元件位于 在图18中所示的中间位置中；图20表示了一根据图18所示的剖面，但是在两个密封元件的关闭位置中；图21表示了一根据其它的结构形式的真空阀的向视图，其中第一密封元件处在 关闭位置中，并且第二密封元件处在中间位置中；图22表示了一图21所示的沿着I-I剖切线的剖面；图23表示了一图21所示的沿着H-H剖切线的剖面；图24表示了一根据其它的结构形式的真空阀的对面一侧的视图；图25表示了一图24所示的沿着J-J剖切线的剖面；图26表示了根据图23所示的剖面，但是拆下了第二密封元件；图27表示了如图25所示的在相同的剖切平面中的剖面，但是沿着相反的视向，并 且拆下了密封元件；图28表示了一在第二密封元件的关闭位置中、根据其它的结构形式的真空阀的 斜视图；图29表示了一通过第二密封元件的驱动件的剖面。类似的部件在不同的实施例中用相同的附图标记表示。
具体实施例方式下面借助于图1至图13说明本发明的第一个实施例。根据该实施例的真空阀具 有一带有壁1、2和侧壁3、4、43、44的阀壳体，所述壁包围着一内腔5，该内腔表示阀的真空 区域，即在连接到阀的阀腔上的状态下在内腔5中可保持一真空。壁1具有一阀门流通断面6，该阀门流通断面可被一阀瓣7关闭。处于对面的壁2 同样具有一开口 8。阀门流通断面6、内腔5和开口 8形成一通过真空阀的通道。阀壳体在传统的方式下借助于法兰可与真空设备的其它部件相连接，该法兰在第 一和第二壁1、2上构成或者布置在第一和第二壁1、2上。该法兰在示意图中未表示。在真空阀完全打开的状态中阀瓣7处在它的打开位置中(参见图1至图4)，并且 阀门通流断面6打开，优选的是完全打开，即沿着阀门流通断面6的轴线9的方向看它不遮 盖阀门流通断面6。在真空阀完全关闭的状态中，阀瓣7处在它的关闭位置(参见图5至图8)，其中它 压紧在一包围着阀门流通断面6的阀座上。阀座在图示的实施例中由一密封面10形成，一 布置在阀瓣7上的弹性密封圈11压紧在该密封面上。在一变化的结构形式中密封圈也可 以布置在阀座上，并且密封面可以布置在阀上。密封圈11由一合适的合成橡胶材料、例如 氟橡胶(Viton)组成。两个驱动件12用于阀瓣7在它的关闭行程上从它的打开位置到它的关闭位置的 调节、并且用于返回时在反过来的打开行程上的调节，该驱动件构成柱塞液压缸单元。也可以仅使用一个驱动件。同样可以使用两个以上的驱动件。使用的驱动件也可以其它的形式 构成，例如构成带有合适的变速装置的电动机。每个驱动件12轴向移动一各自的阀杆13，其中阀瓣7安装在阀杆上。同样可以设 有两个以上的图示的阀杆13、也可以设有两个以下的图示的阀杆13。驱动件12分别用于阀瓣7在它的整个关闭行程上的调节。即对于关闭行程的不 同的部分不存在单独的驱动件。在阀瓣7从它的打开位置到它的关闭位置调节时阀瓣首先在一关闭行程的主断 面上沿着主关闭方向14直线地移动，该主断面构成关闭行程的绝大部分。在这种情况下阀 瓣7在它的平面中移动，即主关闭方向14与阀瓣7平行。此外主关闭方向14与平面45平 行，阀座的密封面10布置在该平面中，如果在所提到的变化的结构形式中一密封圈布置在 阀座上，主关闭方向14与平面45平行，阀座的密封圈布置在该平面中。此后阀瓣7在关闭行程的末端部分上相对于阀瓣的主平面成一定角度(即不平行 地)调节，并且相对于阀座的密封面10的平面45成一定角度调节，如果一密封圈布置在阀 座上，或者相对于阀座的密封圈的平面45成一定角度调节，直到阀瓣7紧贴在阀座上，并且 密封圈11压紧在密封面10上。在该阀瓣7的关闭位置中阀门流通断面6被阀瓣7密封。 阀瓣在关闭行程的末端部分上的移动在阀杆13的弹性弯曲下实现。在图9至图11中表示了阀瓣7的中间位置，该中间位置占据的是在关闭行程的主 断面的末端处或者在关闭行程的末端的起始端处的位置。这里可以清楚地看到，阀瓣沿着 阀门流通断面的轴线9的方向看遮盖阀门流通断面、但是被阀座抬高了。为了形成阀瓣7 在关闭行程末端上的导向装置，设有布置在壁1上的导向元件15、16，该导向元件与阀瓣7 的导向元件17、18共同起作用。在这里与主关闭方向14相连系在阀门流通断面6之前和 之后分别至少设有一相对于壁1固定的导向元件15、16，该导向元件中至少一位于阀门流 通断面6之前的导向元件15布置在壁1上。在图示的实施例中至少一位于阀门流通断面 6之后的导向元件16同样布置在壁1上。布置在侧壁3上也是可以考虑的和可行的，该侧 壁离具有阀门流通断面6的壁1远一些，后面还要更详细地说明。在图示的实施例中布置在壁1上的导向元件15和16由布置在壁1上的凸起形成， 该凸起构成单独的、安装在壁1上的零件。这样的凸起与壁1构成整体也是可考虑的和可 行的。布置在壁1上的导向元件15和16具有导向面19、20，该导向面与平面45构成一 定角度，阀座的密封面10位于该平面中，或者如果一密封圈布置在阀座上，则阀座的密封 圈位于该平面中。沿着与主关闭方向14交叉的方向在阀门流通断面之前设有多个布置在壁1上的 导向元件15，这尤其是由图2、图6和图12可清楚地看到(在图2和图6中虽然略去了前 壁1，但是表示了安装在壁1上的导向元件15、16)。各自的导向元件15伸入一凹槽，该凹 槽在朝向壁1的阀瓣7的一侧上构成，并且该凹槽包括一形成导向面21的壁部分，该壁部 分限制凹槽的侧凹区域。导向面21在关闭行程的末端中与各自的导向元件15的导向面19 共同起作用。导向面21与平面45构成一定角度，阀座的密封面10位于该平面中，或者如 果一密封圈布置在阀座上，则阀座的密封圈位于该阀座中。各自的具有导向面21的凹槽形 成阀瓣7的导向元件17。
代替多个与主关闭方向交叉、彼此保持一定间距的凹槽在阀瓣7中也可以布置一直通的凹槽，导向元件15伸入该凹槽中，或者一直通的板条状的导向元件15伸入该凹槽 中。为了使阀瓣7达到足够的稳定性那么该阀瓣必须具有一相应的总的厚度。一阀瓣7的导向元件18与在阀门流通断面6之后布置在壁1上的导向元件16共 同起作用，该导向元件在一远离阀瓣7的前边缘上的凸起上形成(与主关闭方向14相联 系)，该凸起在它背向壁1的一侧上具有一导向面22，该导向面与平面45构成一定角度，阀 座的密封面10位于该平面中，或者如果一密封圈布置在阀座上，则阀座的密封圈位于该平 面中。导向元件18的导向面22与布置在壁1上的导向元件16的导向面20共同起作用。因此在图示的实施例中两组共同起作用的导向面19、21 ；20,22分别与所提到的 密封面10的平面45或者阀座的密封圈的平面45构成一定角度。但是这也是可考虑的和 可行的，仅两组共同起作用的导向面19、21 ；20,22的一组分别与密封面10的平面45或者 阀座的密封圈的平面45构成一定角度。每个与密封面10的平面45或者阀座的密封圈的平面45构成一定角度的导向平 面的角度优选的是在8°和40°之间的范围中，该导向平面与所提到的平面包围着该角 度，其中在10°和30°之间的范围是特别优选的。在图示的实施例中共同起作用的导向面19、21 ；20、22分别构成平面。替代一各 自与所提到的平面构成一定角度的导向面的平面的结构该导向面也可以构成曲面地，即它 相对于所提到的平面的角度将在它的走向上变化，在这种情况下另外相对于与平面45构 成一定角度的部分(必要时带有变化的角度)也可以布置一位置或者一部分，在该部分中 导向面与平面45平行，尤其是在导向面的起始端上(与在阀瓣7关闭时它的导向功能相联 系)。在图示的实施例中构成平面的导向面彼此平行，由此可获得低的表面压力。在真空阀关闭时从阀瓣7的打开位置出发该阀瓣由驱动件12首先沿着主关闭方 向14移动，直到导向元件15、17 ；16、18相互啮合。因此导向元件仅在关闭移动的末端部分 上，而不是在关闭移动的主断面上共同起作用。在阀瓣7通过驱动件12继续移动时，其中 阀杆13被驱动件12沿着相同的方向继续移动，通过阀瓣7的导向装置借助于共同起作用 的导向元件15、17 ;16、18导致阀瓣与主关闭方向14成一定角度移动，而且沿着一位于从主 关闭方向14和阀门流通断面6的轴线9夹紧的平面中的方向。在这种情况下阀瓣接近阀 座，并且最终压紧在该阀座上。该阀瓣的导向装置在它关闭移动的末端部分中也可以称为 滑杆导向装置。在图14中表示了一前面描述的真空阀的实施例的一变型。这里固定在壳体上处 在通流断面6之后(与主关闭方向14相联系)的导向元件16布置在侧壁3上，而且在该 侧壁中构成凹槽，该侧壁具有一形成导向面的壁部分，该壁部分限制凹槽的侧凹区域。导向 元件16也可以构成布置在侧壁3上的凸起，该凸起与侧壁3构成整体，或者由一安装在侧 壁3上的部件构成，并且具有导向面20。导向元件16与一布置在阀瓣6上的导向元件18 共同起作用，该导向元件具有一导向面22。导向面20、22类似于与图1至图13相联系所描 述的实施例的结构。借助于图1至图13所述的实施例的另一可能的变型表示在图15中。这里布置在 壁1上的、位于阀门流通断面6之前的(与主关闭方向14相联系)导向元件15或者一这样的导向元件15的每一个由一凹槽在壁1中构成，该凹槽具有一由凹槽的壁部分形成的导 向面19。该导向元件15与一布置在阀瓣7上的导向元件17共同起作用，该导向元件由一 布置在阀瓣7上的凸起构成，该凸起具有一与导向面19共同起作用的导向面21。在这里构 成导向元件17的凸起可由一安装在阀瓣7上的部件构成或者与阀瓣7构成整体。导向面 19,21类似于与图1至图13相联系所描述的实施例的结构。在所述的实施例的一可能的变型中由两组共同起作用的导向元件15、17或者16、 18代替一导向面可以具有一个或者多个滚子，该滚子可以在两个导向元件的其它的导向面 上滚动，其中该导向面在所述的方式下与平面45构成一定角度，密封面10或者阀座的密封 圈位于该平面中。因此例如在阀门流通断面6之前布置在壁1上的导向元件或者这样的导 向元件15的每一个由一滚子构成，该滚子由一安装在壁1上的、并且远离该壁的支承件可 旋转地支承。类似地适合于相对于壁固定布置的导向元件16的结构。代替相对于壁1固 定布置的导向元件15、16阀瓣7的导向元件17、18也可以包括这样的滚子，所述滚子由支 承件可旋转地支承。根据本发明的真空阀的结构没有封闭的阀壳体或者没有处在具有阀门流通断面6 的壁1对面的壁2也是可行的。具有通流断面6的壁也可以是真空腔的部分，在这种情况 下阀瓣7可以布置在腔之内或者布置腔之外。这样的真空阀也被称为门，通过该真空阀可 关闭一在腔的壁中的开口。—根据本发明的方式构成的真空阀尤其适合于纵向延伸的阀门流通断面6的关 闭，即与主关闭方向14交叉测量的阀门流通断面的长度显著大于沿着主关闭方向14测量 的宽度。例如与主关闭方向14交叉测量的阀门流通断面6的长度至少为100cm。这样的阀 门流通断面用于基片在真空腔之间或者在真空区域中的转运，例如在平板电视屏幕的镶板 加工时。—根据本发明的真空阀可以沿着一个方向构成固定压差(压差直到大气压)或者 可以沿着两个方向构成固定压差(压差直到大气压)。当根据本发明的真空阀在应用中使用时，在该应用中阀门流通断面6的密封仅要 求一阀瓣7沿着压紧到阀座的方向上起作用的压差，因此也可以规定，阀瓣7在它的关闭位 置中通过至少一驱动件仅相对轻地压紧在阀座上，并且全部密封压力通过压差产生。在这 里有利的方式是该单位密封长度的压力可小于lN/mm(没有作用的压差)，用该压力密封圈 11通过至少一驱动件12的作用压紧在密封面10上。例如该单位密封长度的压力可以为 0. l_0.3N/mm。一这样的结构尤其是在真空阀的结构中可以作为门使用。本发明的另一实施例表示在图16至图28中。相对于构成第一密封元件的阀瓣7 另外设有一第二密封元件23，该密封元件可独立于阀瓣7调节。相对于在第一壁1中由阀 瓣7可关闭的第一阀门流通断面6另外在第二壁2中设有一第二阀门流通断面24，该阀门 流通断面在第二密封元件23的打开位置中被该密封元件打开，并且在第二密封元件23的 关闭位置中被该密封元件密封。第二密封元件的打开位置表示在图17中，在该打开位置中第二阀门流通断面24 打开。为了关闭第二密封元件23从它的打开位置出发第二密封元件23首先借助于至少 一驱动件25沿着主关闭方向46调节，在图示的实施例中设有两个驱动件25。优选的是主 关闭方向46与阀瓣7的主关闭方向14平行并且同向。例如第二密封元件23的主关闭方向46也可与阀瓣7的主关闭方向14平行并且反向。当第二密封元件23达到一中间位置 时，在该中间位置中第二密封元件盖住第二通流断面24，但是尚被包围着第二通流断面24 的阀座抬起(参见图18和图19)，那么第二密封元件23借助于至少一驱动件25的调节结 束。接着第二密封元件23的调节借助于至少一另一驱动件26进行。在图17至图20、22、 23和25中驱动件26仅示意地作为滑块表示。一驱动件的可能的结构表示在图29中。优 选的是沿着与主关闭方向46交叉的方向或者与第二通流断面24的纵向延伸平行的方向设 有多个驱动件26，该驱动件可同步地操纵。因此第二密封元件23由一支承单元27支承，该支承单元至少包括一驱动件26。 在图示的实施例中支承单元27固定在两个阀杆28上。也可以设有两个以上的阀杆28或 者两个以下的阀杆28。支承单元27至少固定在一阀杆28上。各自的阀杆28由各自的驱 动件25移动，其中支承单元27、并且第二密封元件23用它沿着第二密封元件23的主关闭 方向调节。第二密封元件23与支承单元27的连接经至少一布置在支承单元27上的驱动件 26实现，该驱动件与第二密封元件的主关闭方向垂直或者与在壁2中的第二阀门流通断面 24的轴线29平行调节第二密封元件23。因此第二密封元件23从在图18和图19中表示的 中间位置出发沿着到包围第二阀门流通断面24的阀座的方向移动，并且紧贴在该阀座上， 其中一弹性密封圈30压紧在一密封面31上。在图示的实施例中密封圈30布置在第二密 封元件23上，并且密封面31布置在阀座上。一相反的布置同样是可行的。当第二关闭件23借助于至少一驱动件26压紧在包围着第二阀门流通断面24的 阀座上时，那么支承单元27支承在背向阀门流通断面24的一侧上。在这种情况下阀杆28 略微弯曲。以该方式用于第二密封元件23压紧在阀座上所需的压紧力基本上经阀壳体传 递(并且不经阀杆28)。支承单元27在第二密封元件23的关闭位置中的支承一方面在阀瓣7上实现，并 且另一方面在至少一与主关闭方向14相联系布置在阀门流通断面6之后的导向元件16上 实现。在这种情况下一弹性支承环32布置在支承单元27上，支承通过该支承环实现，以避 免金属对金属的接触。同样其它形式构成的弹性支承件可布置在支承单元27上和/或者 布置在部件上，它在它背向第二壁2的一侧支承在该部件上。 支承例如如图所示经一支承单元27的板状部件33实现，支承环32布置在该部件 上或者以其它的方式构成的弹性的支承件可以布置在该部件上。在与主关闭方向14相联系位于阀门流通断面6之后的一侧上一支承布置在另一 固定壳体的部件上也是可行的，该部件布置在壁1上或者布置在远离壁1的侧壁3上。如果在阀瓣7的打开位置中一与主关闭方向14相联系阀瓣7的前面部分压紧在 壁1上，这是优选的，以便获得一阀瓣7的前面部分的确定的稳定的位置，支承单元27的支 承在该部分上实现。阀瓣7的前面部分在壁1上的贴紧可通过导向元件15、17的共同起作 用的导向面34、35实现。在这里至少该导向面34、35的一个与密封面10的平面45或者包 围着阀门流通断面6的阀座的密封圈的平面45构成一定角度。同样代替共同起作用的导 向面两个导向元件15、17的一个至少可以具有一滚子，该滚子在两个导向元件15、17的其 它的导向面上滚动。驱动件25、26可以传统的方式构成，这如由说明书的引言中所提到的
12US6899316B2所公开。因此支承单元可具有一通长的梁式部件，一组协调的液压缸在该部件 中构成，活塞布置在该液压缸中。图29表示了一与此相对应地略微变型的驱动件26的结 构形式。一罐形部件36拧紧在板式部件33上(螺栓孔38表示在图29中)，该部件具有一 汽缸室37。一活塞39布置在汽缸室37中，该活塞借助于压缩空气可在汽缸室中移动。一 活塞杆40被活塞39操纵，板式第二密封元件23固定在该活塞杆上。一波纹管41用于在 罐形零件36和活塞39之间的密封。一弹簧42将活塞39牵引到一位置中，在该位置中第 二密封元件23被包围着第二阀门流通断面24的阀座抬起。一在该方式下构成的真空阀例如可以用在真空设备中，用于在真空下实施对基片 的加工工序，尤其是如果设有多个加工室，在该加工室中可进行平行的真空加工。在正常运 行时阀瓣7保持在它的打开位置，并且真空阀的打开和关闭借助于第二密封元件23实施， 第二阀门流通断面24可被该密封元件打开或者密封。当第二密封元件需要维护时，例如必 须更换弹性密封圈30时，那么第一阀门流通断面6借助于阀瓣7密封。在这种情况下第二 密封元件23处在它的打开位置中或者它的中间位置中。然后可以打开真空阀的阀壳体，并 且拆下待实施维护的第二密封元件，如在图26和图27中表示的。在这里腔可保持在真空 下，真空阀经第一通流断面6连接在该腔上，或者连接到第一阀门流通断面6上的真空设备 的部件上。在实施第二密封元件的维护和装配之后阀壳体可重新关闭，并且在完成用泵抽 吸之后阀瓣7打开。在一在该方式下构成的真空阀相对于一在第二密封元件从它的阀座上抬起的意 义下起作用的压差可取消第二密封元件的固定压差的结构，该压差直到大气压力。当要密 封一更高的沿着该方向起作用的压差时，那么可经阀瓣7实现。代替按照所描述的L阀的结构形式第二密封元件23的调节也可以使用一以其它 的方式构成的L阀。第二密封元件23的移动和调节也可以按照滑阀的形式实现。在该滑 阀中在关闭移动的末端部分中第二密封元件由一支撑板支撑，并且优选的是一布置在支撑 板的对面一侧上的支座板由支撑板支撑。支撑板或者如果有的话支座板在这里可类似于板 状部件33支撑在阀瓣上，并且支撑在一位于第一阀门流通断面之后的部件上(与主关闭方 向14相联系)。在带有一支撑机构的按照滑阀形式的结构时仅需设有一种驱动件，该驱动 件调节各自的阀杆，并且这里通过第二密封元件23在整个关闭行程上调节。对于第二阀门流通断面通过第二密封元件23的关闭也可以使用一种结构，在该 结构中只进行一密封元件的线性的调节，其中阀座具有一三维的结构，并且在第二密封元 件的关闭位置中一相应地构成三维的密封圈压紧在具有一与其相一致的走向的密封面上。附图标记表
1壁32支承环
2壁33板式部件
3侧壁34导向面
4侧壁35导向面
5内腔36罐形部件
6阀门流通断面37汽缸室
7阀瓣38螺栓孔
8开口39活塞0098] 9 轴线
40活塞杆 41波纹管 42弹簧 43侧壁 44侧壁
45平面
0099]10密封面
0100]11密封圈
0101]12驱动件
0102]13 阀杆
0103]14主关闭方向
0104]15导向元件
46主关闭方向
0105]16导向元件
0106]17导向元件
0107]18导向元件
0108]19导向面
0109]20导向面
0110]21导向面
0111]22导向面
0112]23第二密封元件
0113]24第二阀门流通断面
0114]25驱动件
0115]26驱动件
0116]27支承单元
0117]28阀杆
0118]29轴线
0119]30密封圈
0120]31密封面
权利要求
真空阀包括-一带有一阀门流通断面(6)和一包围着阀门流通断面(6)的阀座的壁(1)，该阀座具有一位于一平面中的密封面(10)或者一位于一平面中的密封圈，并且-包括一阀瓣(7)，该阀瓣可从一打开位置，经一关闭行程调节到一关闭位置，在该打开位置中该阀瓣打开阀门流通断面(6)，在该关闭位置中该阀瓣关闭阀门流通断面(6)，并且该阀瓣具有一密封圈(11)，该密封圈在关闭位置中压紧在阀座的密封面(10)上，或者具有一密封面，在关闭位置中阀座的密封圈压紧在该密封面上，-其中阀瓣(7)在真空阀关闭时从阀瓣(7)的打开位置出发经一关闭行程的主断面沿着一主关闭方向(14)调节，该主关闭方向平行于阀瓣(7)，并且平行于密封面(10)的平面或者阀座密封圈的平面，并且紧接着在关闭行程的主断面上为了使阀瓣(7)接近阀座在一与阀瓣(7)成一角度，并且与密封面(10)的平面或者阀座密封圈的平面成一角度走向的关闭行程的末端部分上调节，其特征在于，至少一在关闭行程的末端部分上引导阀瓣(7)的导向元件(15，16)布置在壁(1)上，该导向元件与一布置在阀瓣(7)上的导向元件(17，18)共同起作用，其中阀瓣(7)在关闭行程的末端部分上的导向通过与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度的导向面(19，20，21，22)实现，所述导向面中的至少一个导向面布置在一阀瓣(7)的导向元件(17，18)上或者布置在一布置在壁(1)上的导向元件(15，16)上。
2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，至少设有一与主关闭方向(14)相联系 在阀门流通断面(6)之前、布置在壁⑴上的导向元件(15)和至少一与主关闭方向(14) 相联系在阀门流通断面(6)之后、相对于壁⑴固定的导向元件(16)，该导向元件分别与一 阀瓣⑵的导向元件(17，18)共同起作用。
3.根据权利要求1或者2所述的真空阀，其特征在于，一与主关闭方向(14)相联系位 于阀门流通断面(6)之前的导向元件(15)由一壁⑴的凸起构成或者由一安装在该壁上、 并且远离该壁的部件构成，并且伸入一在阀瓣(7)中的凹槽中。
4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，一导向面(19)布置在凸起上，该导向 面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度，并且与阀瓣(7) 的导向元件(17)共同起作用，和/或者一导向面(21)布置在一在阀瓣(7)中的凹槽的壁 部分上，该导向面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度， 并且与布置在壁(1)上的导向元件(15)共同起作用。
5.根据权利要求3或者4所述的真空阀，其特征在于，多个与主关闭方向(14)相联系 位于阀门流通断面(6)之前的导向元件(15)布置在壁(1)上，并且多个凹槽布置在阀瓣 (7)上，布置在壁⑴上的导向元件(15)伸入所述凹槽中。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，阀瓣(7)的导向元件(17) 由阀瓣(7)的凸起或者一安装在阀瓣(7)上、并且远离该阀瓣的部件构成，并且伸入一与主 关闭方向(14)相联系位于阀门流通断面(6)之前在壁(1)中的凹槽中。
7.根据权利要求6所述的真空阀，其特征在于，在壁(1)中的凹槽的壁部分具有一导向 面(19)，该导向面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度， 并且与阀瓣(7)的导向元件(17)共同起作用，和/或者布置在阀瓣(7)上的凸起具有一导 向面(21)，该导向面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度，并且与布置在壁上的导向元件(15)共同起作用。
8.根据权利要求6或者7所述的真空阀，其特征在于，多个导向元件(17)布置在阀瓣 (7)上，并且壁⑴在与主关闭方向(14)相联系的区域中在阀门流通断面(6)之前具有多 个凹槽，阀瓣(7)的导向元件(17)伸入所述凹槽中。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，一与主关闭方向(14)相 联系位于阀门流通断面(6)之后的导向元件(16)由壁⑴的凸起或者一安装在壁上、并且 远离该壁的部件构成，并且与一阀瓣的导向元件(18)共同起作用，其中布置在壁(1)上的 导向元件(16)和/或者与该导向元件共同起作用、布置在阀瓣(7)上的导向元件(18)具 有一导向面(20，22)，该导向面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45) 构成一角度。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，一与主关闭方向(14)相 联系位于阀门流通断面(6)之后的导向元件(16)布置在真空阀的侧壁(3)上，该侧壁远离 具有阀门流通断面(6)的壁(1)，并且与一布置在阀瓣(7)的导向元件(18)共同起作用，其 中布置在侧壁(3)上的导向元件(16)和/或者布置在阀瓣(7)的导向元件(18)具有一与 密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度导向面(20，22)。
11.根据权利要求9或者10所述的真空阀，其特征在于，与至少一与主关闭方向(14) 相联系布置在阀门流通断面(6)之后相对于壁(1)固定的导向元件(16)共同起作用的阀 瓣(7)的导向元件(18)由一在与主关闭方向(14)相联系阀瓣(7)的前边缘上伸出的阀瓣 的凸起构成。
12.根据权利要求11所述的真空阀，其特征在于，一导向面(22)布置在背离壁(1)的 凸起的一侧上，该导向面与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的真空阀，其特征在于，为了阀瓣(7)在关闭行 程上的调节至少设有一驱动件(12)，该驱动件在整个关闭行程上调节阀瓣(7)。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的真空阀，其特征在于，真空阀具有一带有一容 纳阀瓣⑵的内腔(5)的阀壳体，该内腔由具有阀门流通断面(6)的壁⑴的一侧限定，并 且形成真空阀的真空区域。
15.根据权利要求14所述的真空阀，其特征在于，内腔(5)由处于具有阀门流通断面 (6)的壁⑴对面的壁(2)的一侧限定，该壁(2)具有另一开口(8，24)。
16.根据权利要求14或者15所述的真空阀，其特征在于，导向元件(15，16，17，18)布 置在阀壳体的内腔(5)中，该导向元件在关闭行程的末端部分上引导阀瓣(7)。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的真空阀，其特征在于，在阀壳体的内腔(5) 中除了构成在第一壁⑴中用于第一阀门流通断面(6)密封的第一密封元件的阀瓣(7)还 布置一第二密封元件(23)，该密封元件在一它打开一布置在第二壁(2)中的第二阀门流通 断面(24)的打开位置和一它关闭和密封第二阀门流通断面(24)的关闭位置之间可独立于 阀瓣(7)调节。
18.根据权利要求17所述的真空阀，其特征在于，第二密封元件(23)可调节到一中间 位置，在该中间位置中它盖住第二阀门流通断面(24)，但是被一包围着第二阀门流通断面 (24)的第二阀座抬起。
19.根据权利要求18所述的真空阀，其特征在于，为了第二密封元件(23)在打开位置 和中间位置之间的调节至少设有一驱动件(25)，该驱动件布置在阀壳体之外，并且可至少 被一阀杆(28)轴向调节，第二密封元件(23)与该阀杆一起移动。
20.根据权利要求19所述的真空阀，其特征在于，至少设有另一驱动件(26)，该驱动件 布置在一支承单元(27)上，该支承单元至少安装在一阀杆(28)上，并且借助于该阀杆第二 密封元件(23)可在中间位置和关闭位置之间调节。
21.根据权利要求18至20中任一项所述的真空阀，其特征在于，一在第二密封元件 (23)在它的打开位置和它的中间位置之间调节时与第二密封元件(23) —起移动的部件 (33)在第二密封元件(23)的关闭位置中在它背离第二阀门流通断面(24) —侧的区域中支 撑在阀瓣(7)上。
22.根据权利要求21所述的真空阀，其特征在于，此外在第二密封元件(23)在它的打 开位置和它的中间位置之间调节时与第二密封元件(23) —起移动的部件(33)在它背离第 二阀门流通断面(24) —侧的区域中支撑在至少一个导向元件(16)上，该导向元件布置在 具有第一阀门流通断面(6)的第一壁(1)上或者布置在远离第一壁(1)的侧壁(3)上。
23.根据权利要求21或者22所述的真空阀，其特征在于，支承单元(27)的支撑部件 (33)板状地构成。
全文摘要
本发明涉及一种真空阀，该真空阀包括带有一阀门流通断面(6)和一包围着阀门流通断面(6)的阀座的壁(1)和一阀瓣(7)，其中，阀瓣(7)在真空阀关闭时从其打开位置经一关闭行程的主断面沿着一主关闭方向(14)调节，该主关闭方向平行于阀瓣(7)，并且平行于密封面(10)的平面或者阀座密封圈的平面，并且紧接着在关闭行程的主断面上为了使阀瓣(7)接近阀座在一与阀瓣(7)成一角度，并且与密封面(10)的平面或者阀座密封圈的平面成一角度走向的关闭行程的末端部分上调节。至少一在关闭行程的末端部分上引导阀瓣(7)的导向元件(15，16)布置在壁(1)上，该导向元件与布置在阀瓣(7)上的导向元件(17，18)共同起作用，其中阀瓣(7)在关闭行程的末端部分上的导向通过与密封面(10)的平面(45)或者阀座的密封圈的平面(45)构成一角度的导向面(19，20，21，22)实现，所述导向面至少布置在一阀瓣(7)的导向元件(17，18)上或者布置在一布置在壁(1)上的导向元件(15，16)上。
文档编号F16K3/18GK101889162SQ200880119187
公开日2010年11月17日 申请日期2008年12月5日 优先权日2007年12月6日
发明者B·杜利 申请人:Vat控股公司