专利名称：阀门装置及电子元件的温度调节装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及调节用于调节测试中的电子元件温度的复数种流体流量的阀门装置 以及电子元件的温度调节装置。
背景技术：
在半导体集成电路元件等电子元件的测试中，由于要求将电子元件的温度维持在 高温、常温或低温，且电子元件在工作中会自我发热，故有必要调节电子元件的温度。
发明内容
发明所要解决的技术问题借助吸热装置(heat sink)利用冷媒或热媒调节电子元件温度的情况，如果不能 准确地控制它们的流量，就存在无法很好地调节电子元件温度的问题。本发明要解决的技术问题在于，提供可以准确控制复数种流体流量的阀门装置以 及温度调节装置。解决技术问题的方法依据本发明，提供一种阀门装置，作为调节用于调节被测试电子元件温度的复数 种流体的流量的阀门装置，其特征在于，包括复数个可以流通流体的流路和集合复数个流 路的集合部，所述集合部的内部具有形成有第1槽的转换部件，所述转换部件通过使所述 第1槽面向复数个所述流路中的至少两个流路，连通至少两个所述流路(参照权利要求1)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第1槽的开口幅度向着端部逐渐减少(参照 权利要求2)。对上述发明无特别限定，优选地，所述转换部件为所述集合部的内部设置的可以 旋转的旋转部件(参照权利要求3)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件为所述集合部的内部设置的可以 旋转的轴，所述第1槽形成于所述轴的侧面(参照权利要求4)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件上以所述旋转轴心为中心与所述 第1槽对称的位置上形成有第2槽(参照权利要求5)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第2槽的开口幅度向着端部逐渐减少(参照 权利要求6)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件具有贯穿所述旋转部件的旁路 (参照权利要求7)。对上述发明无特别限定，优选地，复数个所述流路呈放射状地集合于所述集合部， 所述第1槽、所述第2槽及所述旁路实质上平行地设置(参照权利要求8)。对上述发明无特别限定，优选地，复数个所述流路包括第1流路、与所述第1流路 邻接的第2流路和与所述第2流路邻接的第3流路，所述旋转部件可以旋转到将所述第1 槽面向所述第1流路和所述第2流路的第1旋转位置、将所述第1槽面向所述第1流路、所述第2流路和所述第3流路的第2旋转位置以及将所述第1槽面向所述第2流路和所述第 3流路的第3旋转位置(参照权利要求9)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第1流路为冷媒流入的第1流入路，所述第2 流路为流出冷媒或热媒至少一种的流出路，所述第3流路为热媒流入的的第2流入路(参 照权利要求10)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，在所述 流出路混合所述第1流入路流入的冷媒和所述第2流入路流入的热媒(参照权利要求11)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第1槽的开口幅度，为了使所述第1流入路 和所述第2流入路流向所述流出路的流体的流量实质上一定，向着端部逐渐减少(参照权 利要求12)。对上述发明无特别限定，优选地，复数个所述流路还包括第4流路、与所述第4流 路邻接的第5流路和与所述第5流路邻接的第6流路，所述旋转部件上形成有第2槽，所述 旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述第2槽面向所述第4流路和所述第5流路，所所述 旋转部件位于所述第2旋转位置时，所述第2槽面向所述第4流路、第5流路和所述第6流 路，所述旋转部件位于所述第3旋转位置时，所述第2槽面向所述第5流路和所述第6流路 (参照权利要求13)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第4流路为返回冷媒的第1返回路，所述第5 流路为冷媒或热媒的至少一种流入的第3流入路，所述第6流路为返回热媒的第2返回路 (参照权利要求14)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，将所述 第3流路流入的流体分配到所述第1返回路和所述第2返回路(参照权利要求15)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第2槽的开口幅度，为了使从所述第3流路 流向所述第1返回路和所述第2返回路的流体的流量实质上一定，向着端部逐渐减少(参 照权利要求16)。对上述发明无特别限定，优选地，所述旋转部件具有贯穿所述旋转部件的旁路，所 述旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述旁路连通所述第3流路和所述第6流路，所述旋 转部件位于所述第3旋转位置时，所述旁路连通所述第1流路和所述第4流路(参照权利 要求17)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第1 6流路实质上等间距地连接于所述集 合部(参照权利要求18)。对上述发明无特别限定，优选地，还包括旋转所述旋转部件的旋转驱动部件(参 照权利要求19)。对上述发明无特别限定，优选地，所述转换部件为所述集合部的内部设置的可以 滑动的可动部件(参照权利要求20)。对上述发明无特别限定，优选地，所述可动部件上与所述第1槽对称的位置形成 有第2槽(参照权利要求21)。对上述发明无特别限定，优选地，所述第2槽的开口幅度向着端部逐渐减少(参照 权利要求22)。对上述发明无特别限定，优选地，所述可动部件具有贯穿所述可动部件的旁路
5(参照权利要求23)。另外，依据本发明，还提供一种电子元件的温度调节装置，作为调节被测试电子元 件温度的温度调节装置，其特征在于，包括与所述被测试电子元件接触的吸热装置、向所述 吸热装置供给冷媒的冷媒供给单元、向所述吸热装置供给热媒的热媒供给单元和安装于所 述冷媒供给单元和所述热媒供给单元之间的上述阀门装置(参照权利要求24)。对上述发明无特别限定，优选地，所述吸热装置连接所述流出路和所述第3流入 路，所述冷媒供给单元连接所述第1流入路和所述第1返回路，所述热媒供给单元连接所述 第2流入路和所述第2返回路(参照权利要求25)。发明的有益效果本发明中，通过使转换部件上形成的第1槽面向至少两个流路连通这些流路，可 以准确地调节复数种流体的流量。
图1是表示本发明实施例的电子元件的温度调节装置的框图；图2是从下方观看本发明实施例的阀门装置的斜视图；图3是从上方观看本发明实施例的阀门装置的斜视图；图4是图2和图3所示的阀门装置的分解侧视图；图5是沿图3中V-V线的截面斜视图；图6是图2和图3所示的阀门装置的上部部件的后视图；图7是沿图6中VII-VII线的截面图；图8是图2和图3所示的阀门装置的下部部件的平面图；图9是沿图8中IX-IX线的截面图；图10是图8所示下部部件的后视图；图11是沿图8和图10的XI-XI线的截面图；图12是图2和图3所示阀门装置的阀门轴的侧视图；图13是图12所示阀门轴的主视图；图14是沿图13中XIX-XIX线的截面图；图15是表示位于本发明实施例的第1旋转位置的阀门轴的截面示意图；图16是表示位于本发明实施例的第2旋转位置的阀门轴的截面示意图；图17是表示位于本发明实施例的第3旋转位置的阀门轴的截面示意图；图18是表示本发明实施例的阀门装置的阀门轴的角度与流体的流量之间关系的 图；图19是表示本发明其他实施例的阀门装置的平面示意图；图20是图19所示阀门装置的滑动块滑向一方的截面示意图；图21是图19所示阀门装置的滑动块滑向另一方的截面示意图；图22是图19所示阀门装置的阀门块的侧视图。符号说明L···温度调节装置10…冷媒供给系统
6
11"泵
15..冷却器
151 热交换部
20..热媒供给系统
21"泵
25..加热器
251 热交换部
30..导热卡盘
40..阀门装置
50..上部部件
51a 51d…第1 4连接口
52a 52f".第1 6流路
54..通孔
55..大径部
60..下部部件
61..基部
62..第1连通孔
63..第2连通孔
65..集合部
651 筒状壁
65a 65f."第1 6开口
70..阀门轴
71"大径部
72..第1槽
73..第2槽
74..旁路
80..发动机
90..吸热装置具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例进行说明。
首先，对使用本实施例的阀门装置40的电子元件的温度调节装置1进行说明。图
1是表示本发明实施例的电子元件的温度调节装置的框图。本实施例的电子元件的温度调节装置1是在将被测试电子元件按压到测试头的 插口等的导热卡盘(寸一7 > ★ W々)30与该电子元件接触时，使用冷媒及热媒调节该 电子元件温度的装置。作为冷媒及热媒，可以举出例如氟元素系不活泼液体(例如3M公 司生产的Fluorinert (注册商标))及水系热传导液体(例如Dynalene Inc.公司生产的 Dynalene HC-10)等。如图1所示，该温度调节装置1包括向导热卡盘30供给冷媒的冷媒供系统10、向导热卡盘30供给热媒的热媒供给系统20、导热卡盘30内设置的用于调节冷媒和热媒各自 的流量并将它们混合的阀门装置40，以及与电子元件接触进行热交换的吸热装置90。另 外，图1中符号IC表示电子元件。冷媒供给系统10包括泵11、受液器12、调节器13、单向阀14及冷却器15，该冷媒 供给系统10中，通过泵11压送冷媒在系统内循环冷媒。另外，利用冷媒通过冷却器15的 热交换部151，以冷却冷媒到设定温度。热媒供给系统20同样也包括泵21、受液器22、调节器23、单向阀24及加热器25， 该热媒供给系统20中，通过泵21压送热媒在系统内循环热媒。另外，利用热媒通过该加热 器25的热交换部251，以加热热媒到设定温度。通过冷却器15的热交换部151的冷媒，经由冷媒供给配管16引入阀门装置40。 同样地，通过加热器25的热交换部251的热媒，经由热媒供给配管26引入阀门装置40。阀 门装置40分别调节并混合冷媒和热媒的流量使电子元件的温度达到目标温度，然后将冷 媒和热媒的混合液引入吸热装置90。吸热装置90内部形成有可以流通混合液的流体室90。该流体室90的底面竖式设 置有用于提高冷却或加热效率的多个散热片92。混合液从阀门装置40引到流体室91内 后，通过吸热装置90在电子元件与混合液之间进行热交换。接着，用毕的混合液从吸热装 置90返回阀门装置40，再通过各自的回收配管17、27回收到冷媒供给系统10和热媒供给 系统20。接下来对本实施例的阀门装置40的结构进行详细说明。图2和图3是本发明实 施例的阀门装置的斜视图，图4是该阀门装置的分解侧视图，图5是沿图3中V-V线的截面 斜视图。如图2 5所示，阀门装置40由与冷媒供给系统10及热媒供给系统20的配管16、 17、26、27连接的上部部件50、安装有吸热装置90的下部部件60、插入上部部件50中的可 旋转的阀门轴70以及使阀门轴70旋转规定角度的发动机80(参照图1)构成。图6是阀门装置的上部部件的后视图，图7是沿图6中VII-VII线的截面图。如图3所示，上部部件50的大约中央处形成有通孔54的同时，还在上表面的四角 形成4个连接口 51a 51d。第1连接口 51a连接冷媒供给系统10的冷媒供给配管16，第2连接口 51b连接热 媒供给系统20的热媒供给配管26。另一方面，第3连接口 51c连接冷媒供给系统10的冷 媒回收配管17，第4连接口 51d连接热媒供给系统20的热媒回收配管27。另外，如图6所示，上部部件50的下表面形成有6个流路52a 52f。第1和第2流入路52a、52c都是上部部件50的下表面上的从角落向中央弯曲成 弓状的槽。第1流入路52a —端与第1连接口 51a连通，来自冷媒供给系统10的冷媒流入 其中；第2流入路52c —端与第2连接口 51b连通，来自热媒供给系统20的热媒流入其中。与此相对，流出路52b与第1、第2流入路52a、52c不同，是上部部件50的下表面 上的直线状的延伸较短的槽。该流出路52b —端与下部部件60的第1连通孔62 (后述)连 通，流出通过第1、第2流入路52a、52c流入的冷媒及热媒到吸热装置90的流体室91。该 流出路52b设置在第1流入路52a和第2流入路52c之间。第3流入路52e也与流出路52b —样，是上部部件50的下表面上的直线状的延伸
8较短的槽。该第3流入路52e —端与下部部件60的第2连通孔63 (后述)连通，来自吸热 装置90流体室91的用毕的混合液流入其中。与此相对，第1、第2返回路52d、52f，与第1、第2流入路52a、52c —样，都是上部 部件50的下表面上的由角落向中央弯曲成弓状的槽。第1返回路52d —端与第3连接口 51c连通，第2返回路52f —端与第4连接口 51d连通。用毕的混合液经由第1、第2返回 路52d、52f返回到冷媒供给系统10和热媒供给系统20。如图6和图7所示，这6个流路52a 52f实质上等间距地呈放射状集合于通孔 54的大径部55。另外，第1流入路52a与第1返回路52d以通孔54为中心对称设置。同 样地，流出路52b和第3流入路52e以通孔54为中心对称设置，第2流入路52c与第2返 回路52f以通孔54为中心对称设置。图8是阀门装置的下部部件的平面图，图9是沿图8中IX-IX线的截面图，图10 是图8所示下部部件的后视图，图11是沿图8和图10的XI-XI线的截面图。如图8 11所示，下部部件60包括大致平板状的基部61和基部61的大约中央 处突起的筒状的集合部65。如图8和图9所示，集合部65具有可以插入上部部件50的通孔54的大径部55 的筒状壁651，该筒状壁651上实质上等间距地形成有6个开口 65a 65f。另外，该集合 部651的内孔652中插入后述的阀门轴70的大径部71。上部部件50与下部部件60装配时，第1开口 65a面向第1流入路52a。同样地， 第2开口 65b面向流出路52b，第3开口 65c面向第2流入路52c，第4开口 65d面向第1 返回路52d，第5开口 65e面向第3流入路52e，第6开口 65f面向第2返回路52f。如图8所示，进一步地，基部61上集合部65的第2开口 65b附近形成第1连通孔 62的同时，集合部65的第5开口 65e附近形成第2连通孔63。另外，上部部件50与下部 部件60装配时，第2开口 65b与第1连通孔62经由流出路52b连通的同时，第4开口 65d 与第2连通孔63经由第3流入路52e连通。如图11所示，第2连通孔63从表面61a到背面61b贯穿基部61，背面61b开有 第2开口 622。未在图中特别示出，第1连通孔62也一样，从表面61a到背面61b贯穿基部 61，背面61b上开有第1开口 621。该基部61的背面61b上，借助支承部件95装配有吸热 装置90，第1开口 621作为吸热装置90的流体室91的入口，第2开口 622作为该流体室 91的出口发挥作用。图12是阀门装置的阀门轴的侧视图，图13是图12所示阀门轴的主视图，图14是 沿图13中XIX-XIX线的截面图，图15 17是表示位于第1 3旋转位置的阀门轴的截面 示意图，图18是表示本实施例的阀门装置的阀门轴的角度与流体流量之间关系的图。如图12和图13所示，阀门轴70 —端具有大径部71的同时，另一端具有小径部 75。该小径部75联结有用于使阀门轴70旋转规定角度的发动机80(参照图1)的驱动轴。如图12 14所示，大径部71的侧面上形成有第1槽72和第2槽73。第1槽72 和第2槽73形成于以阀门轴70的旋转轴心为中心的对称位置。如图13所示，第1槽72 的开口幅度沿着侧面方向向两端逐渐减少。同样地，未在图中特别示出，第2槽73的开口 幅度沿着侧面方向向两端逐渐减少。另外，如图14所示，阀门轴70的大径部71的内部被旁路74贯穿。该旁路74形
9成于第1槽72和第2槽73之间，与第1、第2槽72、73实质上平行地设置。如图4和图5所示，该阀门轴70从上部部件50的通孔54的大径部55插入，阀门 轴70的小径部75从上部部件50的上表面突出。而且，上部部件50上装配下部部件60时， 阀门轴70的大径部71容纳于下部部件60的集合部65的内孔652里。阀门轴70的大径部71可旋转地容纳于集合部65中，可以由发动机80驱动连续 旋转到图15 17所示的第1 3旋转位置。图15所示的第1旋转位置中，阀门轴70的第1槽72面向第1流入路52a及流出 路52b，第2槽73面向第1返回路52d及第3流入路52e，第2流入路52c与第2返回路 52f经由旁路74连通。该第1旋转位置中，由于第1流入路52a与流出路52b经由第1槽72连通，向吸 热装置90的流体室91供给的混合液仅由冷媒供给系统10供给的冷媒构成。同样地，由于 第1返回路52d与第3流入路52e经由第2槽73连通，由吸热装置90流入的用毕的混合 液全部返回到冷媒供给系统。另一方面，热媒供给系统20供给的热媒全部不向吸热装置90供给，经由旁路74 和第2返回路52f全部返回到热媒供给系统20。通过该旁路74，抑制由压力所致的热媒泄 漏的同时，还可以抑制由停滞所致的热媒的冷却。图16所示的第2旋转位置中，阀门轴70的第1槽72面向第1流入路52a、流出路 52b及第2流入路52c的同时，第2槽73面向第1返回路52d、第3流入路52e及第2返回 路52f。另外，该第2旋转位置中，旁路74不面向任何一个流路。该第2旋转位置中，由于第1流入路52a、流出路52b及第2流入路52c经由第1 槽72连通，由冷媒供给系统10供给的冷媒通过第1流入路52a，和由热媒供给系统20供给 的热媒通过第2流入路52c，二者在集合部65混合，该混合液经由流出路52b向吸热装置 90的流体室91流出。构成该混合液的冷媒和热媒的比率为50 50。同样地，该第2旋转位置中，由于第1返回路52d、第3流入路52e及第2返回路 52f经由第2槽73连通，通过第3流入路52e流入到集合部65的混合液，经由第1、第2返 回路52d、52f分别分配并返回冷媒供给系统10和热媒供给系统20。此时混合液的分配比 率也是50 50。图17所示的第3旋转位置中，阀门轴70的第1槽72面向流出路52b及第2流入 路52c，第2槽73面向第3流入路52e及第2返回路52f，第1流入路52a与第1返回路 52d经由旁路74连通。该第3旋转位置中，由于流出路52b与第2流入路52c经由第1槽72连通，向吸 热装置90的流体室91供给的混合液仅由热媒供给系统20供给的热媒构成。同样地，由于 第3流入路52e与第2返回路52f经由第2槽73连通，从吸热装置90流入的用毕的混合 液全部返回到热媒供给系统。另一方面，由冷媒供给系统10供给的冷媒全部不向吸热装置90供给，经由旁路74 及第1返回路52d全部返回到冷媒供供给系统10。通过该旁路74，抑制由压力所致的冷媒 泄漏的问题，还可以抑制由停滞所致的冷媒的升温。本实施例中，由于第1槽72的开口幅度在其端部逐渐减少，阀门轴70从第2旋转 位置向第1旋转位置旋转时，如图18所示，由第1流入路52a流入的冷媒流量持续增加的同时，由第2流入路52c流入的热媒流量持续减少，结果，经由流出路52b向吸热装置90供 给的混合液的流量实质上一定。另外，图18中横轴表示阀门轴70相对于集合部65的相对 角度。同样地，由于第2槽73的开口在其端部逐渐减少，阀门轴70从第2旋转位置向第 1旋转位置旋转时，未在图中特别示出，流出到第1返回路52d的混合液流量持续增加的同 时，流出到第2返回路52f的混合液流量持续减少，结果，通过第3流入路52e的从吸热装 置90流入的混合液流量总是大致一定。相反地，阀门轴70从第1旋转位置向第2旋转位置旋转时，如图18所示，冷媒流 量持续减少的同时，热媒流量持续增加，结果向吸热装置90供给的混合液流量总是大致一 定。另外，流出到第1返回路52d的混合液流量持续减少的同时，流出到第2返回路52f的 混合液流量持续增加，结果，通过第3流入路52e的从吸热装置90流入的混合液流量总是
大致一定。阀门轴70从第2旋转位置向第3旋转位置旋转时，由于第1槽72的开口幅度在 其端部逐渐减少，如图18所示，由第1流入路52a流入的冷媒流量持续减少的同时，由第2 流入路52c流入的热媒流量持续增加，结果，通过流出路52b向吸热装置90供给的混合液
流量实质上一定。同样地，由于第2槽73的开口幅度在其端部逐渐减少，阀门轴70从第2旋转位置 向第3旋转位置旋转时，未在图中特别示出，流出到第1返回路52d的混合液流量持续减少 的同时，流出到第2返回路52f的混合液流量持续增加，结果，通过第3流入路52e的由吸 热装置90流入的混合液流量实质上一定。相反地，阀门轴70从第3旋转位置向第2旋转位置旋转时，如图18所示，冷媒流 量持续增加的同时，热媒流量持续减少，结果供给到吸热装置90的混合液流量总是大致一 定。另外，流出到第1返回路52d的混合液流量持续增加的同时，流出到第2返回路52f的 混合液流量持续减少，结果，通过第3流入路52e的从吸热装置90流入的混合液流量实质
上一定。如上所述，本实施例中，通过使阀门轴70上形成的第1槽72面向流路52a 52c 中的至少二个从而连通这些流路52a 52c，可以准确地调节冷媒及热媒的流量，并对电子 元件进行很好的温度调节。另外，代替阀门轴70，使用块状的阀门块70B构成阀门装置也是可以的。图19 20是表示本发明其他实施例的阀门装置的截面示意图，图21是表示用于该阀门装置的阀 门块的侧视图。如图19 21所示，该阀门块70B设在集合部65B中，可以借助未在图中特别示出 的驱动器滑动。如图22所示，该阀门块70B —侧的侧面上形成有第1槽71。与第1实施例一样， 该第1槽71的开口幅度在其端部逐渐减少。如图19 21所示，阀门块70B另一侧的侧面 上，与第1槽71对称的位置上形成有第2槽72。未在图中特别示出，该第2槽72的开口幅 度也在其端部逐渐减少。另外，第1、第2旁路76、77分别贯穿第1、第2槽71、72附近。通过阀门装置以50 50的比率混合冷媒和热媒向吸热装置90供给的情况下，如 图19所示，阀门块70B位于集合部65B内大致中央的位置。这样的状态下，第1槽71面向第1流入路52a、流出路52b及第2流入路52c的同时，第2槽72面向第1返回路52d、第 3流入路52e及第2返回路52f。与此相对，仅向吸热装置90供给冷媒的情况，如图20所示，阀门块70B滑至集合 部65B内的图中右侧，第1槽71面向第1流入路52a及流出路52b的同时，第2槽72面向 第1返回路52d及第3流入路52e。此时，由于第2流入路52c与第2返回路52f经由第1 旁路76连通，可以抑制热媒的泄漏及冷却。另外，由阀门装置仅向吸热装置90供给热媒的情况，如图21所示，阀门块70B滑 至集合部65B内的图中左侧，第1槽71面向流出路52b及第2流入路52c，第2槽72面向 第3流入路52e及第2返回路52f。此时，由于第1流入路52a与第1返回路52d经由第2 旁路77连通，可以抑制冷媒的泄漏及升温。具备以上说明的阀门块70B的阀门装置中，通过在集合部65内滑动阀门块70B，可 以使冷媒与热媒的混合比率连续性变化。另外，以上说明的实施例，是为了容易理解本发明而非为了限定本发明记载于此。 因此，上述实施例中公开的各要素旨在包含本发明的技术范围内所属的一切设计上的变更 与等同物的替换。例如，吸热装置90中设置两个独立的流体室，冷媒和热媒不混合，独立地在吸热 装置90中流通也是可以的。另外，本发明的旋转部件的形状不限于棒状，例如球状也是可以的。
权利要求
1 一种阀门装置，作为调节用于调节被测试电子元件温度的复数种流体的流量的阀门 装置，其特征在于，包括复数个可以流通流体的流路和集合复数个流路的集合部，所述集合部的内部具有 形成有第1槽的转换部件，所述转换部件通过使所述第1槽面向复数个所述流路中的至少 两个流路，连通至少两个所述流路。
2.根据权利要求1所述的阀门装置，其特征在于，所述第1槽的开口幅度向着端部逐渐 减少。
3.根据权利要求1或2所述的阀门装置，其特征在于，所述转换部件为所述集合部的内 部设置的可以旋转的旋转部件。
4.根据权利要求3所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件为所述集合部的内部 设置的可以旋转的轴，所述第1槽形成于所述轴的侧面。
5.根据权利要求3或4所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件上以所述旋转轴心 为中心与所述第1槽对称的位置上形成有第2槽。
6.根据权利要求5所述的阀门装置，其特征在于，所述第2槽的开口幅度向着端部逐渐 减少。
7.根据权利要求3 6任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件具有贯穿所 述旋转部件的旁路。
8.根据权利要求7所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路呈放射状地集合于 所述集合部，所述第1槽、所述第2槽及所述旁路实质上平行地设置。
9.根据权利要求3所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路包括第1流路、与所 述第1流路邻接的第2流路和与所述第2流路邻接的第3流路，所述旋转部件可以旋转到将所述第1槽面向所述第1流路和所述第2流路的第1旋转 位置、将所述第1槽面向所述第1流路、所述第2流路和所述第3流路的第2旋转位置以及 将所述第1槽面向所述第2流路和所述第3流路的第3旋转位置。
10.根据权利要求9所述的阀门装置，其特征在于，所述第1流路为冷媒流入的第1流 入路，所述第2流路为流出冷媒或热媒至少一种的流出路，所述第3流路为热媒流入的的第 2流入路。
11.根据权利要求10所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件位于所述第2旋转位 置时，在所述流出路混合所述第1流入路流入的冷媒和所述第2流入路流入的热媒。
12.根据权利要求10或11所述的阀门装置，其特征在于，所述第1槽的开口幅度，为了 使从所述第1流入路和所述第2流入路流向所述流出路的流体的流量实质上一定，向着端 部逐渐减少。
13.根据权利要求9 12任一项所述的阀门装置，其特征在于，复数个所述流路还包括 第4流路、与所述第4流路邻接的第5流路和与所述第5流路邻接的第6流路，所述旋转部件上形成有第2槽，所述旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述第2槽面 向所述第4流路和所述第5流路，所所述旋转部件位于所述第2旋转位置时，所述第2槽面 向所述第4流路、第5流路和所述第6流路，所述旋转部件位于所述第3旋转位置时，所述 第2槽面向所述第5流路和所述第6流路。
14.根据权利要求13所述的阀门装置，其特征在于，所述第4流路为返回冷媒的第1返回路，所述第5流路为冷媒或热媒的至少一种流入的第3流入路，所述第6流路为返回热媒 的第2返回路。
15.根据权利要求14所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件位于所述第2旋转位 置时，将所述第3流路流入的流体分配到所述第1返回路和所述第2返回路。
16.根据权利要求14或15所述的阀门装置，其特征在于，所述第2槽的开口幅度，为了 使从所述第3流路流向所述第1返回路和所述第2返回路的流体的流量实质上一定，向着 端部逐渐减少。
17.根据权利要求13 16任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述旋转部件具有贯 穿所述旋转部件的旁路，所述旋转部件位于所述第1旋转位置时，所述旁路连通所述第3流 路和所述第6流路，所述旋转部件位于所述第3旋转位置时，所述旁路连通所述第1流路和 所述第4流路。
18.根据权利要求13 17任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述第1 6流路实 质上等间距地连接于所述集合部。
19.根据权利要求3 18任一项所述的阀门装置，其特征在于，还包括旋转所述旋转部 件的旋转驱动部件。
20.根据权利要求1或2所述的阀门装置，其特征在于，所述转换部件为所述集合部的 内部设置的可以滑动的可动部件。
21.根据权利要求20所述的阀门装置，其特征在于，所述可动部件上与所述第1槽对称 的位置形成有第2槽。
22.根据权利要求21所述的阀门装置，其特征在于，所述第2槽的开口幅度向着端部逐 渐减少。
23.根据权利要求20 22任一项所述的阀门装置，其特征在于，所述可动部件具有贯 穿所述可动部件的旁路。
24.一种电子元件的温度调节装置，作为调节被测试电子元件温度的温度调节装置，其 特征在于，包括与所述被测试电子元件接触的吸热装置、向所述吸热装置供给冷媒的冷媒供给单 元、向所述吸热装置供给热媒的热媒供给单元和安装于所述冷媒供给单元和所述热媒供给 单元之间的权利要求1 23任一项所述的阀门装置。
25.根据权利要求24所述的电子元件的温度调节装置，其特征在于，所述吸热装置连 接所述流出路和所述第3流入路，所述冷媒供给单元连接所述第1流入路和所述第1返回 路，所述热媒供给单元连接所述第2流入路和所述第2返回路。
全文摘要
调节用于调节被测试电子元件温度的冷媒及热媒流量的阀门装置(40)，包括可以流通冷媒及热媒的流路(52a～52c)和集合这些流路(52a～52c)的集部(65)，集合部(65)的内部具有形成有第1槽(72)的阀门轴(70)，阀门轴(70)通过使第1槽(72)面向流路(52a～52c)中的至少两个，连通流路(52a～52c)中的至少两个。
文档编号F16K11/085GK102007329SQ20098010097
公开日2011年4月6日 申请日期2009年5月27日 优先权日2009年5月27日
发明者井出忠辉, 山下毅 申请人:株式会社爱德万测试