密封组件的制作方法

文档序号:5759255阅读:286来源:国知局
专利名称:密封组件的制作方法
技术领域
本发明涉及一种用于密封的装置,尤指一种密封组件。
背景技术
在许多精密的高科技产业中,例如晶圆等半导体厂,其皆需要高度密封,以避免灰尘微粒进入设备或产品中,此时晶圆传递闸门等处便会使用密封组件。而现有的密封组件主要有两种:其一,包含有一气压缸及一闸门,气压缸上下推动斜向的闸门,以封住横向的开口 ;然而由于气压缸仅能上下移动闸门,导致闸门缺乏横向的固定力来紧密抵靠横向开口,因此闸门需要特殊的造型及设计来达到高度密封的需求,但却因闸门制作难度高而提高了制作成本。其二,包含有两方向的气压缸及一闸门,其中一气压缸将闸门上推后,再由第二个气压缸将闸门向横向开口推抵,此举虽可降低闸门的制作难度,但不仅需要两段式的动作才能完成该动作,并且其两方向的气压缸,同样造成了复杂的机构,导致不易制作。除了上述的缺点外,两种密封组件尚有以下的共通缺点:第一,由于闸门具有一定的重量,并且为了使闸门紧密抵靠于横向开口,因此气压缸需要有一定的出力,进而须消耗一定的能量。第二,若闸门具有一定的体积,则往往会装设多个气压缸来共同推动,但多个气压缸同时作动难免会有时间差,进而导致闸门移动的角度不正确,并造成无法有效密封。

发明内容
有鉴于前述现有密封组件无法简化机构以降低成本、无法降低气压缸的出力及多个气压缸造成时间差的缺点及不足,本发明的目的在于提供一种密封组件,其可有效解决上述缺点。为达到上述的发明目的,本发明所采用的技术手段为设计一种密封组件,其中包含:一壳体;至少一动力装置,其设有一移动部,移动部能够相对壳体移动;一连杆组,其装设于壳体及动力装置上,且被动力装置的移动部驱动;一闸门,其枢设于壳体及连杆组上,且被连杆组驱动旋转。本发明的优点在于,通过使壳体、连杆组及闸门相互枢设以共同组成肘节机构,并通过肘节机构以转动型式关闭闸门,以可提供横向力于闸门上,进而可有效抵靠并密封开口 ;而肘节机构本身构造简单,并且仅需使用单一方向的动力装置,以可有效降低成本;此夕卜,通过肘节机构的省力特性,以可降低动力装置的出力;最后,通过设置连杆组于动力装置与闸门之间,以可通过连杆来吸收各动力装置的时间差,进而有效降低时间差对闸门移动的影响。本发明通过单一动作便可完成密封动作并且构造简单,同时达到降低成本、降低动力装置的出力及降低时间差所造成的影响的目的。另外,通过可横向串接多数组动力装置及增加连杆组的连杆数,以可适用于各种尺寸的闸门或提高增加闸门封闭开口的闭合力量。进一步而言,所述的密封组件,其中,壳体设有至少一枢设区块,各枢设区块包含有一动力枢设部及一闸门枢设部,该闸门枢设在闸门枢设部上;各动力装置对应于壳体的其中一枢设区块;连杆组包含有至少一第一杆、至少一第二杆及至少一第三杆;第一杆的一端枢设在相对应的动力装置的移动部;第二杆的一端枢设在壳体上相对应的动力枢设部,第三杆的一端枢设在闸门上,该第一杆、第二杆及第三杆的另一端以一连杆轴相互枢设。所述的密封组件,其中,连杆组中,相互枢设的一个第一杆及一个第二杆为一个连杆单元,第三杆位于相邻两连杆单元之间,并且各连杆单元的连杆轴为同一根长轴。所述的密封组件,其中,壳体上具有两枢设区块;动力装置的数量为两个;连杆组具有两第一杆、两第二杆及一第三杆。所述的密封组件,其中,连杆组的第一杆与第二杆的长度皆短于第三杆。所述的密封组件,其中,动力装置为气压缸,移动部为压杆。


图1为本发明的立体外观图;图2为本发明的闸门开启时的示意图;图3为本发明的闸门关闭时的示意图。附图标记说明:10_壳体;11_枢设区块;111-闸门枢设部;112-动力枢设部;21-压杆;30-连杆组;31-第一杆;32-第二杆;33-第三杆;34_连杆轴;40_闸门。
具体实施例方式以下配合附图及本发明的较佳实施例,进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段。请参阅图1及图2所示,本发明的密封组件包含有一壳体10及一呈相互枢设的闸门40,其设有至少一动力装置(图中未示),动力装置设有一可被驱动的移动部,该移动部可相对于壳体10移动,另设有相对应于动力装置的连杆组30,其装设于壳体10及动力装置上且可利用移动部予以驱动,闸门40枢设于连杆组30上且被连杆组30所驱动旋转。本发明的其中一种具体实施例可设计为包含有一壳体10、两动力装置(图中未示)、一连杆组30及一闸门40。前述的壳体10设有两横向设置的枢设区块11,各枢设区块11包含有一动力枢设部112及一闸门枢设部111,闸门枢设部111位于动力枢设部112的上方。前述的动力装置可为一气压缸,移动部可为该气压缸可伸缩的压杆21,压杆21可相对壳体10上下移动,两气压缸分别对应于壳体10的两枢设区块11。前述的连杆组30装设于壳体10及气压缸上,且包含有两连杆单元及一第三杆33 ;两连杆单元分别对应于壳体10的两枢设区块11及两气压缸,且各包含有一第一杆31及一第二杆32,第一杆31的底端枢设相对应的气压缸的压杆21 ;第二杆32的顶端枢设壳体10上相对应的动力枢设部112 ;第三杆33位于两连杆单元之间,第三杆33的底端、第一杆31的顶端及第二杆32的底端以一连杆轴34相互枢设,两连杆单元的连杆轴34为同一根长轴;第一杆31与第二杆32的长度约略相等,并且短于第三杆33。前述的闸门40装设于壳体10及连杆组30上,闸门40下侧枢设壳体10上的两闸门枢设部111 ;闸门40背面中央处枢设在连杆组30的第三杆33的顶端。请参阅图2及图3所示,在本实施例中,本发明配合一斜向下的开口使用,欲将闸门40关上时,使气压缸的压杆21上移,连杆组30的第一杆31受其推动而连带使第二杆32相对壳体10的动力枢设部112逆时针转动(从图2的视角来看,以下相同),第二杆32转动的同时连带移动连杆轴34,由此连带上移第三杆33,并使第三杆33些微逆时针转动,进而推动闸门40,使闸门40以壳体10的闸门枢设部111为轴逆时针转动,并且由此关闭该斜向开口 ;闸门40闭合时,压杆21与第一杆31成一直线以提高其封闭开口所需的推力,并且压杆21可具有抵抗反向力作用。通过使壳体10的枢设区块11、连杆组30及闸门40相互枢设以共同组成肘节机构,并通过肘节机构以转动型式关闭闸门40,以可提供横向力于闸门40上,进而可有效抵靠并密封开口 ;而肘节机构本身构造简单,并且仅需使用单一方向的气压缸,以可有效降低成本;此外,肘节机构使用在相同力矩下,力臂与出力成反比的原理,通过调整第一杆31及第二杆32的长度来连带调整力臂,进而达到的省力的功效,并降低气压缸的出力;最后,通过设置连杆组30于气压缸与闸门40之间,以可通过连杆来带动作动较慢的压杆21,进而吸收各气压缸作动的时间差,并藉此有效降低时间差对闸门40移动的影响。本发明通过单一动作便可完成密封动作并且构造简单,同时达到降低成本、降低气压缸的出力及降低时间差所造成的影响的目的。在其他实施例中,本发明的壳体可仅具有单一枢设区块,具有单一气压缸,连杆组具有单一连杆单元及单一第三杆,其亦可同样使用并发挥本发明的众多功效。在其他实施例中,本发明的壳体亦可具有多数枢设区块,具有多数气压缸,连杆组具有多数连杆单元及多数第三杆,由此横向串接在一起,进而可用于推动大尺寸的闸门或提高增加闸门封闭开口的闭合力量。以上所述仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明做任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明技术方案的范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种密封组件,其特征在于,包含: 一壳体; 至少一动力装置,其设有一移动部,移动部能够相对壳体移动; 一连杆组,其装设于壳体及动力装置上,且被动力装置的移动部驱动; 一闸门,其枢设于壳体及连杆组上,且被连杆组驱动旋转。
2.如权利要求1所述的密封组件,其特征在于: 壳体设有至少一枢设区块,各枢设区块包含有一动力枢设部及一闸门枢设部,该闸门枢设在闸门枢设部上; 各动力装置对应于壳体的其中一枢设区块; 连杆组包含有至少一第一杆、至少一第二杆及至少一第三杆;第一杆的一端枢设在相对应的动力装置的移动部;第二杆的一端枢设在壳体上相对应的动力枢设部,第三杆的一端枢设在闸门上,该第一杆、第二杆及第三杆的另一端以一连杆轴相互枢设。
3.如权利要求2所述的密封组件,其特征在于:连杆组中,相互枢设的一个第一杆及一个第二杆为一个连杆单元,第三杆位于相邻两连杆单元之间,并且各连杆单元的连杆轴为同一根长轴。
4.如权利要求2所述的密封组件,其特征在于:壳体上具有两枢设区块;动力装置的数量为两个;连杆组具有两第一杆、两第二杆及一第三杆。
5.如权利要求3所述的密封组件,其特征在于:壳体上具有两枢设区块;动力装置的数量为两个;连杆组具有两第一杆、两第二杆及一第三杆。
6.如权利要求2至5中任一项所述的密封组件,其特征在于:连杆组的第一杆与第二杆的长度皆短于第三杆。
7.如权利要求1至5中任一项所述的密封组件,其特征在于:动力装置为气压缸,移动部为压杆。
8.如权利要求6所述的密封组件,其特征在于:动力装置为气压缸,移动部为压杆。
全文摘要
本发明为一种密封组件,其包含有一壳体及一相互枢设的闸门,以一由动力装置所驱动的肘节连杆组与闸门枢设连接,以转动型式关闭闸门,可有效抵靠并密封开口;而肘节机构本身构造简单可以较小动力提供较大出力,可降低动力装置的出力;通过设置连杆组于动力装置与闸门之间,以可吸收各动力装置的时间差。本发明通过单一动作便可完成密封动作并且构造简单,同时解决现有密封组件无法简化机构以降低成本、无法降低气压缸的出力及复数气压缸造成时间差的缺点。
文档编号F16K31/12GK103174841SQ20111043316
公开日2013年6月26日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者陈俊仁, 詹明祥, 施智圣, 张祐语 申请人:麦丰密封科技股份有限公司
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