专利名称：一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种机械制造领域的机械结构，尤其是适用于一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置。
背景技术：
真空镀膜设备的镀膜基片需放置在伞架上，在镀膜时伞架转动。由于镀膜时的真空度要求很高，因此伞架的传动装置要求具有很好的密封性。通常伞架的传动装置采用O型密封圈进行密封，但是采用O型密封圈容易磨损，需定期更换，影响了生产效率，增加了生产成本。
发明内容为了克服现有真空镀膜技术中伞架传动装置采用的密封圈容易磨损的问题，本实用新型提供一种用于真空镀膜设备的伞架传动装置。本实用新型采用的技术方案是一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。进一步,所述传动轴通过皮带轮与驱动电机相连。进一步，所述固定轴内设有可放置电缆、水管、气管等辅助管路的空腔。进一步，所述传动装置的外侧设有水冷装置。本实用新型的有益效果体现在转动装置的密封由磁性流体密封结构代替O型密封圈密封结构，减少磨损，提高使用寿命；将真空镀膜设备所需的辅助管路放置在固定轴内，在检修时，可以将整个装置拆下，方便安装检修。
图I是本实用新型传动装置的整体结构示意图。图2是本实用新型传动装置侧面图。图3是本实用新型传动装置剖面图。
具体实施方式
参照图I至图3，一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰I、传动轴2和固定轴3，所述传动轴2与所述固定轴3之间和所述传动轴2与所述固定法兰I之间均设有磁流体密封，所述传动轴2和伞架4传动连接。进一步,所述传动轴2通过皮带轮5与驱动电机6相连。进一步，所述固定轴3内设有可放置电缆、水管、气管等辅助管路的空腔。[0016]进一步，所述传动装置的外侧设有水冷装置。本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本实用新型的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。
权利要求1.一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。
2.如权利要求I所述的一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于所述传动轴通过皮带轮与驱动电机相连。
3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于所述固定轴内设有可放置电缆、水管、气管辅助管路的空腔。
4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于所述传动装置的外侧设有水冷装置。
专利摘要本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，特点是包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。本实用新型传动结构不易磨损；将真空镀膜设备所需的辅助管路放置在固定轴内，安装检修方便。
文档编号F16J15/43GK202746604SQ20122027554
公开日2013年2月20日 申请日期2012年6月8日 优先权日2012年6月8日
发明者洪婧, 陈军, 刘黎明, 关永卿, 陈虹飞, 田俊杰, 汪文忠, 邓凤林, 郑栋, 将卫金, 赵山泉 申请人:杭州大和热磁电子有限公司