铁氟龙接头的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种铁氟龙接头，其包括：螺纹部、腰部和销，所述螺纹部为具有外螺纹的圆柱，所述腰部为正六面体，所述销为圆柱形；所述腰部一侧为螺纹部，另一侧为销，由一条真空孔贯穿所述螺纹部、腰部和销。所述真空孔位于所述螺纹部的部分孔径扩大，并且在所述螺纹部开口处孔径逐渐扩大形成一个喇叭口。本实用新型的优点是：结构紧凑，工作稳定，能够防止打火，提高生产效率。
【专利说明】铁氟龙接头
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造业中使用的一种部件，具体是一种铁氟龙接头。
【背景技术】
[0002]在半导体制造业中，铁氟龙接头用于固定腔体内的一些陶瓷环。它能够先将下部的陶瓷环锁住，再将上部的陶瓷环通过另一端固定。现有的一些接头工作不够稳定，会打火，因此需要铁氟龙材质并带有真空的接头。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种铁氟龙接头，在固定部件的同时也防止打火。
[0004]按照本实用新型提供的技术方案，所述的铁氟龙接头包括:螺纹部、腰部和销，所述螺纹部为具有外螺纹的圆柱，所述腰部为正六面体，所述销为圆柱形；所述腰部一侧为螺纹部，另一侧为销，由一条真空孔贯穿所述螺纹部、腰部和销。
[0005]进一步的，所述真空孔位于所述螺纹部的部分孔径扩大，并且在所述螺纹部开口处孔径逐渐扩大形成一个喇叭口。
[0006]本实用新型的优点是:结构紧凑，工作稳定，能够防止打火，提高生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1本实用新型的结构示意图。
[0008]图2是图1的右视图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0010]如图1，2所示，本实用新型的铁氟龙接头包括螺纹部1、腰部2和销3，所述螺纹部I为具有外螺纹的圆柱，所述腰部2为正六面体，所述销3为圆柱形；所述腰部2 —侧为螺纹部1，另一侧为销3，由一条真空孔4贯穿所述螺纹部1、腰部2和销3。所述螺纹部I长度为15mm,腰部2长度7mm,销3长度21?30mm。销3外径9.5mm,螺纹部I外径11.5mm。
[0011]装配时，夹持该铁氟龙接头的腰部2进行旋转，通过螺纹部I锁紧下部陶瓷环，然后通过真空孔4将残留气体抽尽，再经过销3插入上部陶瓷环以达到固定。
[0012]如图1所示，为了方便与抽真空管道的连接，所述真空孔4位于所述螺纹部I的部分孔径扩大，从5.95_变成8.1_，形成一个圆台阶，并且在所述螺纹部I开口处孔径逐渐扩大形成一个喇叭口，供管道插入。
[0013]因此，本铁氟龙接头将上、下部分的陶瓷环固定的同时，防止了抽真空时有残留气体，防止打火。用铁氟龙材质，性能稳定。
【权利要求】
1.铁氟龙接头，其特征是:包括螺纹部(I)、腰部(2)和销(3)，所述螺纹部(I)为具有外螺纹的圆柱，所述腰部(2)为正六面体，所述销(3)为圆柱形；所述腰部(2)—侧为螺纹部(1)，另一侧为销(3)，由一条真空孔(4)贯穿所述螺纹部(I)、腰部(2)和销(3)。
2.如权利要求1所述铁氟龙接头，其特征是，所述真空孔(4)位于所述螺纹部(I)的部分孔径扩大。
3.如权利要求1或2所述铁氟龙接头，其特征是，所述真空孔(4)在所述螺纹部(I)开口处孔径逐渐扩大形成一个喇叭口。
【文档编号】F16L47/16GK203571310SQ201320779010
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】廖海涛, 孙文斌, 郭卫卫 申请人:无锡邑文电子科技有限公司