放气系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种放气系统，该放气系统包括：放气阀(1)、缓冲板(2)、锁室(3)以及盖板(4)，其中，所述盖板(4)用于封闭所述锁室(3)，所述放气阀(1)贯穿所述盖板(4)并能够控制打开或关闭；所述缓冲板(2)固接于所述锁室(3)的内部，且止挡所述放气阀(1)冲入的气体。该放气系统可以在不破坏基片的前提下快速把系统回复到大气状态。
【专利说明】放气系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种放气装置，具体地，涉及一种放气系统。
【背景技术】
[0002]在现有技术中，对于真空室进行放气的系统常常会因为放气打坏基片，对于基片来说，由于每次放气都会产生很大的气压层会产生很大的气流，对于基片来说，很容易就被打坏了。那么设计一种新的放气系统成为一种亟需解决的问题。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是克服了现有技术中的放气系统容易打坏基片的问题，提供一种放气系统，该放气系统可以在不破坏基片的前提下快速把系统回复到大气状态。
[0004]为了实现上述目的，本发明提供了一种放气系统，该放气系统包括:放气阀、缓冲板、锁室以及盖板，其中，所述盖板用于封闭所述锁室，所述放气阀贯穿所述盖板并能够控制打开或关闭；所述缓冲板固接于所述锁室的内部，且止挡所述放气阀冲入的气体。
[0005]优选地，该放气系统还包括:过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀中。
[0006]优选地，所述放气阀设置为多个，且多个所述放气阀均匀分布在所述锁室的外表面上。
[0007]优选地，该放气系统包括:储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀进入所述锁室中。
[0008]优选地，所述空气为干燥空气。
[0009]优选地，所述放气阀设置为可调节放气阀。
[0010]优选地，该放气系统还包括:引导管，所述引导管的一端连通于所述放气阀，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板上。
[0011]通过上述实施方式，本发明的放气系统可以选择性地实现快速放气，空气通过手动调节的放气阀进入锁室，充分调节这个放气阀，就可以在不破坏基片的前提下快速地把系统的气压回复到大气状态。放气阀直接安装在盖板上，它把充入的气体直接引导到缓冲板上，缓冲板固定在盖板的内侧，它的作用是把空气均匀地分布在真空室的每一个室壁上。
[0012]本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0014]图1是说明本发明的放气系统的【具体实施方式】的结构示意图。
[0015]附图标记说明
[0016]I放气阀2缓冲板
[0017]3锁室 4盖板
[0018]5基片 6驱动系统。
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0020]在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指附图所述的上下左右。“内、外”是指具体轮廓上的内与外。“远、近”是指与某个部件相对的远近。
[0021]本发明提供一种放气系统，该放气系统包括:放气阀1、缓冲板2、锁室3以及盖板4，其中，所述盖板4用于封闭所述锁室3，所述放气阀I贯穿所述盖板4并能够控制打开或关闭；所述缓冲板2固接于所述锁室3的内部，且止挡所述放气阀I冲入的气体。
[0022]通过上述实施方式，本发明的放气系统可以选择性地实现快速放气，空气通过手动调节的放气阀I进入锁室，充分调节这个放气阀1，就可以在不破坏基片5的前提下快速地把系统的气压回复到大气状态。放气阀I直接安装在盖板4上，它把充入的气体直接引导到缓冲板2上，缓冲板2固定在盖板4的内侧，它的作用是把空气均匀地分布在锁室3的每一个室壁上。
[0023]以下结合附图1对本发明进行进一步的说明，在本发明中，为了能够尽量的避免基片5的损坏，我们通过以下方式来更好地实现。
[0024]在本发明的一种【具体实施方式】中，在生产过程中，由于有抽真空和放气的过程，但是，对于放入的气，由于不确定性，很有可能放入了污染性的气体，对产品的成型有很大的影响，为了克服这个问题，该放气系统还包括:过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀I中，过滤器保证了空气中没有微小颗粒。
[0025]在该种实施方式中，为了实现本发明的宗旨，实现将空气均匀地分布在锁室3中，所述放气阀I设置为多个，且多个所述放气阀I均匀分布在所述锁室3的外表面上。
[0026]在该种实施方式中，该放气系统包括:储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀I进入所述锁室3中，通过上述的实施方式，在本发明中，可以铜鼓哦在储气罐中防止干燥的空气，这样当气体进入的时候，一方面可以减小内外的压差，另一方面也避免潮湿空气的进入，影响到本发明中的基片5的生产。
[0027]在该种实施方式中，为了实现上述的功能，所述空气为干燥空气，也可以防止放气阀I接触潮湿空气后灵明度受到影响。
[0028]在本发明的一种【具体实施方式】中，所述放气阀I设置为可调节放气阀，在该种放气阀I下可以调节充入气体的速度，从而更加方便操作者的操作，操作者可以根据阀门的大小来控制冲入的气体。
[0029]在该种实施方式中，该放气系统还包括:引导管(未在附图1中进行标注，其结构简单，可以通过描述得到具体结构)，所述引导管的一端连通于所述放气阀1，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板2上，引导管的设置，使得本发明的气体更容易分配均匀。
[0030]在本发明的使用方法中:
[0031]首先，本发明中的放气阀仅用很小的横截面导入空气(软放气)，当经过一段时间以后，开放大放气阀I的截面使室体快速回复到大气状态，这种逐步张开放气阀I的管路横截面的动作是通过依次打开多级控制阀来实现的，这样就可以找到快速放气而不打破基片的最好途径，当然在本发明中，还通过缓冲板2的设计使得本发明的放气系统可以将冲入的气体直接引导到缓冲板2上，把空气均匀地分布在锁室3中，放气系统中的驱动系统6带动基片5进行运动，在基片5的上方都设置有缓冲板2以止挡冲入的空气，从而避免了基片5的损坏。
[0032]以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0033]另外需要说明的是，在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0034]此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
【权利要求】
1.一种放气系统，其特征在于，该放气系统包括:放气阀(1)、缓冲板(2)、锁室(3)以及盖板(4)，其中，所述盖板(4)用于封闭所述锁室(3)，所述放气阀(1)贯穿所述盖板(4)并能够控制打开或关闭；所述缓冲板(2)固接于所述锁室(3)的内部，且止挡所述放气阀(1)冲入的气体。
2.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统还包括:过滤器，所述过滤器设置于所述放气阀(1)中。
3.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，所述放气阀(1)设置为多个，且多个所述放气阀(1)均匀分布在所述锁室(3)的外表面上。
4.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统包括:储气罐，所述储气罐中的空气能够通过所述放气阀(1)进入所述锁室(3)中。
5.根据权利要求4所述的放气系统，其特征在于，所述空气为干燥空气。
6.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，所述放气阀(1)设置为可调节放气阀。
7.根据权利要求1所述的放气系统，其特征在于，该放气系统还包括:引导管，所述引导管的一端连通于所述放气阀(1)，另一端将冲入的气体引导至所述缓冲板(2)上。
【文档编号】F16K24/04GK104455617SQ201410629532
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月10日 优先权日:2014年11月10日
【发明者】薛辉, 任俊春, 金海涛 申请人:芜湖真空科技有限公司