一种具有自检功能的胶带夹取装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有自检功能的胶带夹取装置，包括一导轨、两组夹头组件以及锁紧机构，两组所述夹头组件分别固设于所述导轨的滑块上，并依附所述导轨的滑块移动，所述锁紧机构设于所述导轨上并用于锁止所述夹头组件，该胶带夹取装置还包括至少一对接触式传感器，每对所述接触式传感器沿导轨的中心对称设置，经一固定件固定于所述导轨的轨道上，且所述接触式传感器的感应头部朝向所述夹头组件，所述接触式传感器电性连接于一控制器。本实用新型通过接触式传感器能够自动检测胶带夹取装置的所在定位点是否正确，并作出反馈提醒是否需要进行调整，从而保证胶带夹取装置位于正确位置，进而保证机台不会出现撞机以及破片的现象。
【专利说明】一种具有自检功能的胶带夹取装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种贴胶机，尤其涉及一种用于贴胶机上的具有自检功能的胶带夹取装置，属于IC (集成电路)测试领域。
【背景技术】
[0002]在目前实务作法中，在晶圆切割或研磨工艺之前会进行晶圆贴片的步骤，亦即在晶圆(Wafer)的其中一面上贴附上一胶带，例如蓝膜(blue tape)，由此使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在胶带上。
[0003]在上述制程基础下所用的现有晶圆贴胶设备主要包括有机台主体、晶圆载台、滚压机构、胶带夹取装置以及切刀组，后四者皆架设在机台主体上。胶带夹取装置用于夹取胶带，并运动至位于其下方的晶圆载台上，将胶带覆盖在晶圆的一面上，接着利用朝向该晶圆载台设置的切刀组切断胶带，再利用滚压机构滚压胶带使其牢固地平贴于晶圆上。
[0004]上述贴胶机的胶带夹取装置可以根据晶圆的尺寸不同，贴附不同尺寸的胶带，例如，贴胶机的胶带夹取装置可以调整8英寸或12英寸两种作业寸别，以适应不同晶圆的尺寸。该胶带夹取装置主要包括固设于机台主体上的导轨以及分别设于所述导轨的滑块上的两组夹头组件，通过滑块可以分别移动两组夹头组件，并调整夹头组件之间的距离以适应胶带的寸别。然而，胶带夹取装置的定位点在实际工作过程中通常会由于以下原因而出现错误或误差:
[0005]1.由于设备在工作过程中会频繁地发生震动，在受力的过程中夹头组件会发生偏移，从而导致胶带夹取装置的定位点产生误差；2.当调整为另一种寸别的胶带贴附晶圆时，需调整夹头组件之间的距离，然而工作人员未将夹头组件调整到准确的位置点上；
3.由于人工调整的不当或不精细而导致夹头组件之间的距离存在误差。
[0006]胶带夹取装置出现定位误差或错误容易导致机台撞机及破片现象，所以亟待解决这一技术问题。
实用新型内容
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种具有自检功能的胶带夹取装置，其能够自动侦测胶带夹头所在的位置，避免夹头定位出现错误或误差，保证了贴胶作业的顺利进行。
[0008]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0009]一种具有自检功能的胶带夹取装置，其应用于晶圆贴胶机上，所述晶圆贴胶机包括机台主体以及分别架设于所述机台主体上的工件承载台、滚压机构、切刀组以及该胶带夹取装置，该胶带夹取装置包括一导轨、两组夹头组件以及锁紧机构，两组所述夹头组件分别固设于所述导轨的滑块上，并依附所述导轨的滑块移动，所述锁紧机构设于所述导轨上并用于锁止所述夹头组件，该胶带夹取装置还包括至少一对接触式传感器，每对所述接触式传感器沿导轨的中心对称设置，经一固定件固定于所述导轨的轨道上，且所述接触式传感器的感应头部朝向所述夹头组件，所述接触式传感器电性连接于一控制器。
[0010]作为本实用新型的优选方案之一，所述固定件上设置有腰型孔，所述接触式传感器通过所述腰型孔可微调其在所述导轨的轨道上位置，并通过插设于腰型孔内的螺丝固定于所述导轨的轨道上。
[0011]作为本实用新型的优选方案之一，所述夹头组件包括气缸一，所述气缸一的一侧固设第一夹片，所述气缸的伸缩杆上固设第二夹片，所述第一夹片和第二夹片上下夹合胶带。
[0012]作为本实用新型的优选方案之一，所述夹头组件还包括气缸二和气缸三，所述气缸一经第一固定块固定于所述气缸二的一侧，所述气缸二带动所述气缸一上下运动，所述气缸二经第二固定块固定于所述气缸三上，所述气缸三带动所述气缸二水平运动，且所述气缸三固定于所述导轨的滑块上。
[0013]作为本实用新型的优选方案之一，所述锁紧机构包括一调节螺丝，所述调节螺丝穿设于所述导轨的滑块上，其螺纹部于锁止时抵住所述导轨的轨道。
[0014]通过以上技术方案，本实用新型提供的具有自检功能的胶带夹取装置，通过接触式传感器能够自动检测胶带夹取装置的所在定位点是否正确，并作出反馈提醒是否需要进行调整，从而保证胶带夹取装置位于正确位置，进而保证机台不会出现撞机以及破片的现象。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型结构特征和技术要点，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0016]图1为本实用新型实施例所公开的具有自检功能的胶带夹取装置的结构示意图；
[0017]图2为本实用新型实施例所公开的胶带夹取装置的局部结构示意图；
[0018]图3为本实用新型实施例所公开的贴胶机工作状态的左视示意图；
[0019]图4为本实用新型实施例所公开的具有自检功能的胶带夹取装置的夹头组件调整至第二接触式传感器的结构示意图；
[0020]图5为本实用新型实施例所公开的具有自检功能的胶带夹取装置连接控制器的示意图。
[0021]附图标记说明:1-机台主体，2-工件承载台，3-滚压机构，4-切刀组，5-胶带夹取装置，50-导轨，501-滑块，502-轨道，51-夹头组件，511-气缸一，512-第一夹片，513-第二夹片，514-气缸二，515-气缸三，516-第一固定块，517-第二固定块，52-锁紧机构，53a-第一接触式传感器，53b-第二接触式传感器，531-感应头部，54-固定件，54a_腰型孔，6-控制器，7-警报器，8-胶带。
【具体实施方式】
[0022]下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。
[0023]参见图1-3所示，一种具有自检功能的胶带夹取装置5，其应用于晶圆贴胶机上，该晶圆贴胶机包括机台主体I以及分别架设于机台主体I上的工件承载台2、滚压机构3、切刀组4以及该胶带夹取装置5，胶带夹取装置5用于夹取胶带8，并运动至位于其下方的用于承载晶圆的工件承载台2上，将胶带8覆盖在晶圆的一面上，接着利用朝向该工件承载台2设置的切刀组4切断胶带8，再利用滚压机构3滚压胶带8使其牢固地平贴于晶圆上。
[0024]该胶带夹取装置5包括一导轨50、两组夹头组件51以及锁紧机构52，两组夹头组件51分别固设于导轨50的滑块501上，并依附导轨50的滑块501移动，锁紧机构52设于导轨50上并用于锁止夹头组件51，该锁紧机构52可为一调节螺丝，该调节螺丝穿设于导轨50的滑块501上并于锁止时抵住导轨50的轨道502，以禁止滑块501再沿轨道502滑动，进而将夹头组件51固定于轨道502的某一位置上，于本实施例中，锁紧机构52还可以为其它任意扣卡机构。该胶带夹取装置5还包括一对第一接触式传感器53a及第二接触式传感器53b。如图1-2所示，一对第一接触式传感器53a及第二接触式传感器53b分别沿导轨50的中心对称设置，并经固定件54固定于导轨50的轨道502上，第一接触式传感器53a与第二接触式传感器53b的感应头部531朝向夹头组件51，同时，第一接触式传感器53a与第二接触式传感器53b分別电性连接于一控制器6 (参阅图5)。
[0025]其中，固定件54上设置有腰型孔54a，接触式传感器53通过腰型孔54a可微调其在导轨50的轨道502上的位置，并通过插设于腰型孔54a内的螺丝固定于导轨50的轨道502上。夹头组件51包括气缸一 511，气缸一 511的一侧固设第一夹片512及第二夹片513，第一夹片512和第二夹片513上下夹合胶带。夹头组件51还包括气缸二 514和气缸三515，气缸一 511经呈L型的第一固定块516固定于气缸二 514的一侧，气缸二 514带动气缸一 511上下运动，气缸二 514经第二固定块517固定于气缸三515上，气缸三515带动气缸二 514水平运动，且气缸三515固定于导轨50的滑块501上。
[0026]在贴胶机进行作业之前，必须将胶带夹取装置5调整在正确的位置，以防止撞机及破片的现象。如图1所示的，若导轨50的滑块501与第一接触式传感器53a接触时，则表明固设于导轨50上的夹头组件51位于正确的位置，能够正好适应8inch的胶带的夹取。如图4所示的，若导轨50的滑块501移动至第二接触式传感器53b处，并且滑块501抵触第二接触式传感器53b，则表明固设于导轨50上的夹头组件51能够适应12inch的胶带的夹取。
[0027]如图5所示，若导轨50的滑块501未抵触对称设置的第一接触式传感器53a或第二接触式53b，表明胶带夹取装置5未调整在正确的位置，第一接触式传感器53a或第二触式传感器53b发出反馈信号至控制器6，控制器6接收反馈信号后，可输出信号通知警报器7，警报器7再发出警报通知工作人员机台处于异常状态，再者，第一接触式传感器53a与第一接触式传感器53b可发出暂停信号至控制器6，控制器6发出指令控制晶圆贴胶机停止动作，进一步地避免晶圆遭到损害。
[0028]当然，以上所述的触式传感器未必只能够设定感应导轨的滑块，也可以感应夹取装置的其它结构，可根据机台的尺寸以及操作要求等等，具体设计接触式传感器所感应的位置。根据实际作业需求，机台需进行多种作业寸别时，可通过增加接触式传感器来调整夹头组件在具体作业寸别下的工作位置。
[0029]本实用新型的具体工作过程如下:
[0030]1.如图1所示的胶带夹取装置5处于正确的位置(即导轨50的滑块501的一端接触第一接触式传感器53a或第二接触式传感器53b),此时机台正常运作,气缸一 511的伸缩杆向下伸出带动第二夹片513向下移动，并与第一夹片512分开；
[0031]2.气缸三515带动气缸二 514沿水平方向向外侧稍作移动，进而带动气缸一 511以及夹片向外侧运动，以此，在两组夹片之间可以多出一定的空间以方便放置胶带；
[0032]3.将胶带放置于第一夹片512与第二夹片513之间，放置完毕后，气缸三515通过气缸二 514带动气缸一 511及夹片沿水平方向向内侧稍作移动，此时两组夹片之间的距离正好适应胶带的尺寸，接着气缸一 511的伸缩杆带动第二夹片513向上移动，第一夹片512和第二夹片513夹合住胶带8 ；
[0033]4.气缸二 514带动气缸一 511向下运动,进而带动夹片运动至工件承载台2的上方，并将胶带8贴附于位于工件承载台2上的产品(晶圆)上；
[0034]当胶带夹取装置5完成以上所有的动作之后，朝向工件承载台2的切刀组4由胶带的一端移动到胶带的另一端将胶带切断，以及滚压机构3运动至工件承载台2的上方滚压胶带，以完成所有贴胶工作。
[0035]综上所述，本实用新型通过接触式传感器能够自动检测胶带夹取装置的所在定位点是否正确，并作出反馈提醒是否需要进行调整，从而保证胶带夹取装置位于正确位置，进而保证机台不会出现撞机以及破片的现象。
[0036]上述【具体实施方式】，仅为说明本实用新型的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上所述内容并不限制本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种具有自检功能的胶带夹取装置，其应用于晶圆贴胶机上，所述晶圆贴胶机包括机台主体以及分别架设于所述机台主体上的工件承载台、滚压机构、切刀组以及该胶带夹取装置，该胶带夹取装置包括一导轨、两组夹头组件以及锁紧机构，两组所述夹头组件分别固设于所述导轨的滑块上，并依附所述导轨的滑块移动，所述锁紧机构设于所述导轨上并用于锁止所述夹头组件，其特征在于， 该胶带夹取装置还包括至少一对接触式传感器，每对所述接触式传感器沿导轨的中心对称设置，经一固定件固定于所述导轨的轨道上，且所述接触式传感器的感应头部朝向所述夹头组件，所述接触式传感器电性连接于一控制器。
2.根据权利要求1所述的一种具有自检功能的胶带夹取装置，其特征在于，所述固定件上设置有腰型孔，所述接触式传感器通过所述腰型孔可微调其在所述导轨的轨道上位置，并通过插设于腰型孔内的螺丝固定于所述导轨的轨道上。
3.根据权利要求1所述的一种具有自检功能的胶带夹取装置，其特征在于，所述夹头组件包括气缸一，所述气缸一的一侧固设第一夹片，所述气缸的伸缩杆上固设第二夹片，所述第一夹片和第二夹片上下夹合胶带。
4.根据权利要求3所述的一种具有自检功能的胶带夹取装置，其特征在于，所述夹头组件还包括气缸二和气缸三，所述气缸一经第一固定块固定于所述气缸二的一侧，所述气缸二带动所述气缸一上下运动，所述气缸二经第二固定块固定于所述气缸三上，所述气缸三带动所述气缸二水平运动，且所述气缸三固定于所述导轨的滑块上。
5.根据权利要求1所述的一种具有自检功能的胶带夹取装置，其特征在于，所述锁紧机构包括一调节螺丝，所述调节螺丝穿设于所述导轨的滑块上，其螺纹部于锁止时抵住所述导轨的轨道。
【文档编号】F16B11/00GK203962611SQ201420434282
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年8月4日 优先权日:2014年8月4日
【发明者】陈学平 申请人:京隆科技(苏州)有限公司