1.一种电动致动器(10,10A),其特征在于,包含滑动螺杆轴(18,102),和螺母(52,138);所述螺母(52,138)与所述滑动螺杆轴(18,102)螺纹接合,所述滑动螺杆轴(18,102)被构造成在马达(12)的操作下旋转,从而使得所述螺母(52,138)在所述滑动螺杆轴(18,102)的轴向方向上移位;
其中,所述滑动螺杆轴(18,102)由轻金属或轻金属合金制成;并且
类金刚石碳薄膜(50,60,130,170)形成在所述滑动螺杆轴(18,102)的螺纹部(48,128)上,和所述螺母(52,138)的螺纹部(58,168)的至少一个区域上,所述区域位于从所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)在其轴向方向上的起始端至所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的至少第三螺纹的范围内。
2.如权利要求1所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(60,170)形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于从所述起始端至至少所述第三螺纹的范围内的区域上,及其位于从所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)在所述轴向方向上的终止端至所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的至少第三螺纹的范围内的区域上。
3.如权利要求2所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于自所述起始端起的第一螺纹的第一起始端部分(58d,168d)上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度大于在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于自所述起始端起的第二螺纹的第二起始端部分(58b,168b)上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度。
4.如权利要求3所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于自所述终止端起的第一螺纹的第一终止端部分(58d,168d)上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度大于在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于自所述终止端起的第二螺纹的第二终止端部分(58e,168e)上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度。
5.如权利要求2至4的任一项所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(60,170)形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于从所述起始端至所述终止端的范围内的区域上。
6.如权利要求5所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的所述起始端至所述第三螺纹的范围内的所述区域上及其所述终止端至所述第三螺纹的范围内的所述区域上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度等于或者大于在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的中间区域(58g,168g)上的所述类金刚石碳薄膜(60,170)的厚度,所述中间区域(58g,168g)位于自所述起始端起的第四螺纹至自所述终止端起的第四螺纹的范围内。
7.如权利要求2所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(60,170)不形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于自所述起始端起的第四螺纹至自所述终止端起的第四螺纹的范围内的中间区域(58g,168g)的至少部分上。
8.如权利要求1所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的位于从所述起始端至至少所述第三螺纹的范围内的所述区域上,和所述滑动螺杆轴(18,102)的所述螺纹部(48,128)上都形成所述类金刚石碳薄膜(50,60,130,170)。
9.如权利要求1所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述滑动螺杆轴(18,102)由铝或铝合金制成;
耐热铝薄膜形成在所述滑动螺杆轴(18,102)的所述螺纹部(48,128)上;并且
所述类金刚石碳薄膜(60,170)形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)的所述区域上,所述区域位于从所述起始端至至少所述第三螺纹的所述范围内。
10.如权利要求8或9所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述螺母(52,138)由轻金属或者轻金属合金制成。
11.如权利要求1所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(50,130)形成在所述滑动螺杆轴(18,102)的所述螺纹部(48,128)上;
所述螺母(52,138)由铝或铝合金制成;并且
耐热铝薄膜形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)上。
12.如权利要求1所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(50,130)形成在所述滑动螺杆轴(18,102)的所述螺纹部(48,128)上;
所述螺母(52,138)由铁或者铁合金制成;并且
铬薄膜或镍薄膜形成在所述螺母(52,138)的所述螺纹部(58,168)上。
13.如权利要求1至12的任一项所述的电动致动器(10,10A),其特征在于,其中所述类金刚石碳薄膜(50,60,130,170)的厚度为大于等于0.1μm并且小于等于6.0μm。
14.如权利要求1至13的任一项所述的电动致动器(10A),其特征在于,其中所述滑动螺杆轴(102)包括游隙(172),并且所述螺母(138)的所述螺纹部(168)的顶部(171)被置于所述游隙(172)中,处在所述顶部(171)和所述滑动螺杆轴(102)彼此不接触的状态下。
15.如权利要求14所述的电动致动器(10A),其中所述游隙(172)被构造成存储滑润剂。