一种高精度干涉仪气体静压减振基座的制作方法

本发明涉及一种高精度干涉仪气体静压减振基座。

背景技术：

随着科学技术发展，精密及超精密机械制造越来越重要，因此超精密测量技术也越来越重要，干涉仪则是其中一种重要的精密测量方法的仪器，在各个领域尤其是在光学测量领域应用越来越重要。与此同时，气体静压气浮导轨具有摩擦功耗低、运动精度高、低速时不出现爬行和蠕动、运动平稳、寿命长、无污染等一系列优点，广泛应用于三坐标测量机、超精密机床、电子加工、医疗器械领域。但是目前机床领域一般采用的双气体静压气浮导轨运动设计，两个导轨之间存在气压差导致气隙不均的缺点，没有充分发挥气浮精度高、平稳性好优点。与此同时，目前多数减振基座采用四柱气体弹簧支撑设计，同样存在着没有充分发挥气浮精度高、平稳性好优点。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决现有技术提出的问题，提供一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其可以实现变频干涉仪使用过程中振动的减弱及隔振的作用，保证变频干涉仪平稳工作。

为解决现有技术存在的问题，本发明的技术方案是：一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱和右立柱，所述的左立柱和右立柱设置于气浮结构的底部，所述的气浮结构包括减振基座台面、左连接板、右连接板、支撑基座、左侧底座、右侧底座、前侧挡板和后侧挡板，所述的减振基座台面、左侧底座和右侧底座的外侧分别设置有若干进气孔，所述的减振基座台面底部两侧分别设置有左连接板和右连接板，左连接板和右连接板的底部设置有左侧底座和右侧底座，左侧底座和右侧底座的宽度大于左连接板和右连接板的宽度，所述的支撑基座设置于的减振基座台面、左连接板、右连接板、左侧底座和右侧底座围成的腔体内，所述的减振基座台面底部设置有侧多孔制材料块、中间多孔制材料块和中心多孔制材料，中间多孔制材料块有4块组成环状，中心多孔制材料设置于4块中间多孔制材料块内，侧多孔制材料块设置有4块，围绕环状的中间多孔制材料块的圆周设置；所述的左侧底座、右侧底座与支撑基座接触的上表面处设置有多孔制材料块，所述的左侧底座、右侧底座内部分布着与多孔制材料块内部相连通的气孔通道，减振基座台面内部分布着与侧多孔制材料块、中间多孔制材料块和中心多孔制材料内部相互连通的气孔通道，左右连接板与支撑基座之间填充有软性材料，前侧挡板和后侧挡板分别设置于减振基座台面、左连接板、右连接板、左侧底座、右侧底座的两侧通过螺钉连接。

所述的侧多孔制材料块、中间多孔制材料块和中心多孔制材料凸出减振基座台面底部1-2mm。

所述的左侧底座和右侧底座上多孔制材料块高出于左侧底座和右侧底座1-2mm。

所述的左连接板通过螺钉与减振基座台面和左侧底座连接，右连接板通过螺钉与减振基座台面和右侧底座连接，

所述的左立柱和右立柱采用天然花岗岩材料制成。

所述的软性材料为树脂。

与现有技术相比，本发明的优点如下：

1）本发明相对于传统的气体静压减振基座，采用中心环形与五点气浮布局的多质孔材料块与内部相互连通的气体通道来保证气浮过程气隙的均匀性及稳定性，实现优良的减振及隔振效果；

2）本发明整体布局与气浮导轨的类似，但没有纵向运动设计，只有气动浮起作用，不仅实现气浮隔振效果，同时避免常见气浮结构设计中双导轨设计；

3）本发明气体静压减振基座左右侧连接板与前后挡板之间填充相应的树脂材料组成气体静压减振基座的阻挡稳定结构。

附图说明

图1为本发明气体静压减振基座主视图；

图2为本发明气体静压减振基座侧视图；

图3为本发明减振基座台面视图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参见图1—图3：一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构、左立柱11和右立柱13，所述的左立柱11和右立柱13设置于气浮结构的底部，本发明气浮结构可以实现减振基座台面的减振及隔振作用，左立柱11和右立柱13采用天然花岗岩材料制成。

所述的气浮结构包括减振基座台面1、左连接板2、右连接板5、支撑基座3、左侧底座4、右侧底座6、前侧挡板10和后侧挡板12，所述的减振基座台面1、左侧底座4和右侧底座6的外侧分别设置有若干进气孔15，所述的减振基座台面1底部两侧分别通过螺钉设置有左连接板2和右连接板3，左连接板2和右连接板5的底部分别通过螺钉设置有左侧底座4和右侧底座6，左侧底座4和右侧底座6的宽度大于左连接板2和右连接板3的宽度，所述的支撑基座3设置于的减振基座台面1、左连接板2、右连接板3、左侧底座4和右侧底座6围成的腔体内，所述的减振基座台面1底部设置有侧多孔制材料块7、中间多孔制材料块8和中心多孔制材料9，中间多孔制材料块8有4块组成环状，中心多孔制材料9设置于4块中间多孔制材料块8内，侧多孔制材料块7设置有4块，围绕环状的中间多孔制材料块8的圆周设置；所述的左侧底座4、右侧底座6与支撑基座3接触的上表面处设置有多孔制材料块14，所述的侧多孔制材料块7、中间多孔制材料块8和中心多孔制材料9凸出减振基座台面1底部1-2mm，左侧底座4和右侧底座6上多孔制材料块14高出于左侧底座4和右侧底座1-2mm。

所述的左侧底座4、右侧底座6内部分布着与多孔制材料块14内部相连通的气孔通道，气孔与进气孔15相通，减振基座台面1内部分布着与侧多孔制材料块7、中间多孔制材料块8和中心多孔制材料9内部相互连通的气孔通道，气孔与进气孔15相通，以实现气浮过程中气隙的均匀性及稳定不变性；

侧多孔制材料块7、中间多孔制材料块8、中心多孔制材料9和多孔制材料块14周围分布着若干气压传感器配合相应反馈系统进一步保证气隙的稳定性及均匀性。

左右连接板与支撑基座3之间填充有树脂软性材料，组成气体静压减振基座的阻挡稳定结构，保证气浮过程工作台面移动及微运行。

前侧挡板10和后侧挡板12分别设置于减振基座台面1、左连接板2、右连接板5、左侧底座4、右侧底座6的两侧通过螺钉连接。

本发明的工作原理：通过在减振基座台面1、左侧底座4、右侧底座6上的由软管相互串通的进气孔15进气以保证进气气压均衡，气体在减振基座台面1、左侧底座4、右侧底座6内部孔道流通，并与采用中心环形与五点浮布局的多质孔材料块通过其内部相互连通的孔道配合实现气浮过程，气体通过已密封在减振基座台面1、左侧底座4、右侧底座6上的多孔质材料块内部微小气孔流出，与支撑基座3之间形成气流间隙进而实现气浮过程。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

技术特征：

技术总结
本发明目的在于提供一种应用于高精度变频干涉仪的气体静压减振基座，主要包括减振基座支撑基体、减振基座台面、左右侧连接板、左右底面压板、立柱和以及多孔质材料块等结构和部件组成；减振基座四个圆柱形立柱和采用天然花岗岩材料，有助于保证工作台的稳定性；减振基座台面、左右侧连接板和、左右底面压板和及对应的多孔质材料块等组成气浮结构，可以实现减振基座的减振及隔振作用，左右侧连接板、前后挡板及软质材料保证气浮过程减振基座台面稳固，左右底板及减振基座台面分布有特殊设计布局的多孔质材料块及气体通道实现气浮过程中气隙的均匀性及稳定不变性。

技术研发人员：朱学亮;王红军;刘丙才;田爱玲;董龙超;裴宁
受保护的技术使用者：西安工业大学
技术研发日：2017.04.19
技术公布日：2017.08.18