本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种炉管控压阀的安装治具。
背景技术：
炉管装置是半导体制程中的基本设备，主要用于晶圆的氧化、掺杂及热处理等程序。使用过程中，晶圆放置在炉管装置的内部，对炉管装置进行加热、并向炉管装置通入工艺气体，以实现对晶圆的氧化、掺杂和热处理。
炉管装置具有炉管控压阀，炉管控压阀设置在工艺气体的流道上，用于控制工艺气体的流量。当炉管装置发生故障或需要保养时，可能需要拆卸炉管控压阀，以对炉管装置、炉管控压阀进行维修或检查。
但是，炉管控压阀具有较大的质量(约25Kg)，且现有炉管装置中炉管控压阀的安装空间比较小，导致炉管控压阀的安装、拆卸较为困难，甚至可能会砸伤或夹伤工作人员，对正常维修或保养造成极大的不便。
技术实现要素：
本实用新型解决的问题是现有炉管装置中炉管控压阀的安装、拆卸较为困难，对正常维修或保养造成极大的不便。
为解决上述问题，本实用新型提供一种炉管控压阀的安装治具，包括：支撑平台，用于支撑炉管控压阀；升降平台，包括底座和设置于所述底座的立柱；所述立柱上设有沿所述高度方向延伸的滑槽，所述支撑平台具有滑块，所述滑块固定设置于所述滑槽，且适于沿所述滑槽滑移。
可选的，所述支撑平台包括：旋转座，具有用于支撑炉管控压阀的支撑面；基台，所述滑块固定设置于所述基台；所述旋转座设置于所述基台，且适于在竖直平面内相对所述基台旋转，以改变所述支撑面的朝向。
可选的，所述旋转座具有与所述支撑面背对设置的第一圆弧面，所述基台具有背向所述立柱的第二圆弧面；所述第一圆弧面贴合设置于所述第二圆弧面，且适于相对所述第二圆弧面滑动，以使所述旋转座发生旋转；其中，所述第一圆弧面、第二圆弧面分别为一段圆弧沿水平方向延伸所形成的面。
可选的，所述第一圆弧面上设有沿周向设置的多个第一限位孔，所述第二圆弧面上设有与所述第一限位孔相配合的第二限位孔；所述支撑平台还包括限位件，所述限位件适于插设在所述第一限位孔和第二限位孔，以固定所述旋转座和基台。
可选的，所述第二限位孔贯穿基台背向所述第二圆弧面的一端，所述第二限位孔具有内螺纹；所述限位件具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。
可选的，所述滑槽内设有沿高度方向延伸的螺纹杆，所述滑块具有与所述螺纹杆相配合的螺纹孔，通过旋转所述螺纹杆实现所述滑块沿所述滑槽滑移。
可选的，所述升降平台还包括配合设置的涡轮和蜗杆，所述蜗杆固定设置在所述螺纹杆的轴向一端，且与所述螺纹杆位于同一直线上。
可选的，所述升降平台还包括设置于所述底座的导轨装置，所述导轨装置具有沿第一水平方向延伸的第一导轨，所述立柱设置于所述第一导轨上，适于沿所述第一导轨滑移。
可选的，所述底座上固定设有沿第二水平方向延伸的第二导轨，所述导轨装置设置在所述第二导轨上，适于沿所述第二导轨滑移；其中，所述第一水平方向垂直于所述第二水平方向。
可选的，所述导轨装置具有多个所述第一导轨，多个所述第一导轨沿所述第二水平方向依次设置；和/或，所述底座上固定设有多个第二导轨，多个所述第二导轨沿所述第一水平方向依次设置。
与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：
所述的炉管控压阀的安装治具，包括支撑平台和升降平台，通过在升降平台上设置滑槽，在支撑平台上设置滑块，且使滑块能够配合滑槽滑移，从而能够通过控制滑块滑移，调整支撑平台的高度，即调整了炉管控压阀的高度。在炉管控压阀安装或拆卸的过程中，安装治具能够支撑炉管控压阀，无需工作人员人工对炉管控压阀施加作用力，从而能够有效防止炉管控压阀砸伤或夹伤工作人员，使炉管控压阀的安装和拆卸变得更为容易，方便对炉管装置进行维修和保养。
进一步的，所述支撑平台包括基台和旋转座，滑块设置在基台上，旋转座适于放置炉管控压阀，通过使旋转座在竖直平面内可旋转的设置在基台上，从而能够调整炉管控压阀的安装角度。由于炉管装置中进气管、出气管的管口朝向是倾斜的，通过控制旋转座旋转，能够方便炉管控压阀对准进气管和出气管，方便炉管控压阀的安装。相较于手动调整炉管控压阀安装角度的情形，能够大幅提升安装效率，更好的保护工作人员，降低工作人员被炉管控压阀砸伤或夹伤的风险。
进一步的，所述升降平台包括沿第一水平方向的第一导轨、沿第二水平方向的第二导轨，其中，第一水平方向垂直于第二水平方向，且升降平台的立柱能够分别沿第一导轨或第二导轨滑移。从而能够改变设置于立柱的支撑平台在水平面上的位置，而通过滑块和滑槽，还能够改变支撑平台在高度方向上的位置，也就是升降平台能够改变支撑平台在三个方向上的具体位置。通过升降平台，能够完全实现支撑平台位置的精确控制，实现炉管控压阀位置的精确控制，以使炉管控压阀的进气端、出气端能够分别更好的对准炉管装置的进气管、出气管，更好的实现对炉管控压阀进行安装和拆卸。
附图说明
图1是本实用新型现有技术炉管控压阀的安装示意图；
图2是本实用新型具体实施例炉管控压阀的安装治具的结构示意图；
图3是图2所示安装治具中支撑平台的结构示意图；
图4是图2所示安装治具中涡轮、蜗杆和螺纹杆的结构示意图；
图5是图2所示安装治具中升降平台沿A方向上的示意图。
具体实施方式
参照图1，炉管装置具有进气管1和出气管2，炉管控压阀3包括进气端3a和出气端3b，在将炉管控压阀3安装至炉管装置的过程中，需要使进气端3a对准进气管1，以固定连接进气管1和炉管控压阀3；同时，使出气端3b对准出气管2，以固定连接出气管2和炉管控压阀3。
一般情况下，炉管装置的进气管1的管口朝向并不是水平的或竖直的，炉管装置的出气管2的管口朝向也不是水平的或竖直的。在安装炉管控压阀3的过程中，还需要控制炉管控压阀3的角度，使进气端3a对准进气管1，同时使出气端3b对准出气管2，导致炉管控压阀3的安装变得更为困难。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。
参照图2，一种炉管控压阀的安装治具100，包括支撑平台10和升降平台20，所述支撑平台10上适于放置炉管控压阀3，所述升降平台20上设有所述支撑平台10，能够驱动支撑平台10沿高度方向x运动，调整支撑平台10的高度，从而调整所述炉管控压阀3的高度。
具体的，所述升降平台20包括底座21和立柱22，所述立柱22设置于所述底座21，且沿高度方向x延伸。其中，所述立柱22具有沿所述高度方向x延伸的滑槽22a，所述支撑平台10具有滑块11a，所述滑块11a固定设置在所述滑槽22a内，且适于沿滑槽22a滑移。
因此，当需要安装炉管控压阀3时，可以将待安装的炉管控压阀3放置在支撑平台10上，驱动滑块11a沿滑槽22a向上滑移，提升支撑平台10的高度，即提升炉管控压阀3的高度。当炉管控压阀3上升至安装位置的高度时，调整安装治具100的位置，使炉管控压阀3的进气端3a和出气端3b分别对准进气管1和出气管2。此时，利用工具将进气端3a、出气端3b分别与进气管1、出气管2固定(图1所示)。
当需要拆卸炉管控压阀3时，可以先调整安装治具100的位置，并控制滑块11a沿滑槽22a向上滑移，使所述支撑平台10刚好能够承托所述炉管控压阀3。利用工具将炉管控压阀3从炉管装置上拆下，并控制滑块11a沿滑槽22a向下滑移，实现炉管控压阀3的拆卸。
在安装或拆卸的过程中，所述安装治具100能够支撑炉管控压阀3，无需工作人员用双手对炉管控压阀3施加作用力。从而能够有效防止炉管控压阀3砸伤或夹伤工作人员，使炉管控压阀3的安装和拆卸变得更为容易，方便对炉管装置、炉管控压阀3进行维修和保养。
参照图2、图3，所述支撑平台10包括基台11和旋转座12，所述基台11上设有所述滑块11a，所述旋转座12具有适于支撑炉管控压阀3的支撑面12a。当滑块11a在滑槽22a内滑移时，能够带动基台11和旋转座12上升或者下降。其中，所述旋转座12设置于所述基台11，且能够在竖直平面内相对所述基台11旋转，以改变所述支撑面12a的朝向。
所述旋转座12在竖直平面内旋转，也就是说，所述旋转座12的旋转轴是沿水平方向(垂直于高度方向x)延伸的。
通过改变支撑面12a的朝向，即能够改变位于支撑面12a上的炉管控压阀3的安装角度。如前所述，炉管装置中进气管、出气管的管口朝向是倾斜的；且不同的炉管装置中，进气管、出气管的管口朝向的倾斜程度不尽相同。
在安装炉管控压阀3的过程中，通过控制旋转座12旋转，调整炉管控压阀3的安装角度，从而使进气端3a、出气端3b能够方便的对准进气管和出气管，方便炉管控压阀3的安装。相较于手动调整炉管控压阀3安装角度的情形，能够大幅提升安装效率；并且，能够更好的保护工作人员，降低工作人员被炉管控压阀3砸伤或夹伤的风险。
其中，使所述旋转座12可旋转的设置在基台11上的方式有很多种，例如，在基台11上设置水平延伸的转轴，使所述旋转座12通过转轴连接所述基台11，以实现旋转。或者，通过控制旋转座12的一端不动，通过推动旋转座12的另一端运动，以实现旋转。
具体在本实施例中，所述旋转座12具有第一圆弧面12b，所述第一圆弧面12b与所述支撑面12a背对设置；所述基台11具有第二圆弧面11b，所述第二圆弧面11b背对所述立柱22。所述第一圆弧面12b、第二圆弧面11b贴合设置，通过使所述第一圆弧面12b相对第二圆弧面11b滑动，从而实现所述旋转座12相对基台10的旋转。
其中，所述第一圆弧面12b为一段圆弧沿水平方向延伸所形成的面，即第一圆弧面12b与竖直平面相交形成圆弧；所述第二圆弧面11b为一段圆弧沿水平方向延伸所形成的面，即第二圆弧面11b与竖直平面相交形成圆弧。
因此，当所述旋转座12在基台10上滑动的过程中，如图中旋转座12从虚线至实线的变化过程，能够保证旋转座12是在竖直平面内发生旋转的。
通过第一圆弧面12b、第二圆弧面11b的配合，实现旋转座12的旋转。从而使所述支撑平台10具有更少的零件，简化支撑平台10结构，使得支撑平台10容易被加工制造。同时，所述旋转座12只需相对基台11滑动，便可实现旋转座12的旋转，使得控制旋转座12发生旋转变得十分方便。
需要说明的是，为避免第一圆弧面12b、第二圆弧面11b滑动过程中，第一圆弧面12b相对第二圆弧面11b沿水平方向(图3中垂直于纸面的方向)运动，可以在所述基台11的两侧设置挡块(图中未示出)，以防止第一圆弧面12b相对第二圆弧面11b沿水平方向运动。
参照图3，所述第一圆弧面12b上设有沿周向设置的多个第一限位孔aa，所述第二圆弧面11b上设有与所述第一限位孔aa相配合的第二限位孔bb。所述支撑平台10还包括限位件13，所述限位件13适于插设在所述第一限位孔aa、第二限位孔bb中。
设置所述第一限位孔aa、第二限位孔bb和限位件13的原因在于：当所述旋转座12旋转至适当的位置，使所述炉管控压阀具有合适的角度被安装至炉管装置上时，通过控制限位件13插入至第一限位孔aa和第二限位孔bb中，能够使所述旋转座12和基台11保持相对固定，避免旋转座12因其他原因发生旋转，导致炉管控压阀的角度发生变化，难以安装。
其中，在所述第一圆弧面12b上设置多个沿周向分布的第一限位孔aa，以使得所述旋转座12能够在多个旋转位置被固定，即，支撑面12a能够在多个不同的朝向位置被固定，使炉管控压阀3具有不同的安装角度，从而使安装治具100能够适用于不同的炉管控压阀3和炉管装置。
本实施例中，所述第二圆弧面11b上仅设有一个第二限位孔bb，且所述第二限位孔bb贯穿与第二圆弧面11b相背的另一端。第二限位孔bb具有内螺纹，所述限位件13具有与所述内螺纹相配合的外螺纹。
因此，通过旋转所述限位件13，能够调整限位件13与第二限位孔bb的相对位置。当需要固定所述旋转座12时，旋转限位件13，使限位件13伸出第二限位孔bb、伸入至第一限位孔aa，以完成旋转座12和基台11的相对固定(图2所示)。当需要控制旋转座12旋转时，旋转限位件13，使限位件13从所述第一限位孔aa中移出，此时，解除旋转座12和基台11的相对固定，而从能够控制旋转座12相对基台11旋转(图3所示)。
需要说明的是，在其他变形例中，可以在所述第二圆弧面11b上设置多个第二限位孔bb，通过设置多个限位件13，使多个限位件13分别插设在对应的第二限位孔bb和第一限位孔aa中，以更好的实现旋转座12的固定。
参照图2至图4，所述立柱的滑槽22a内设有沿高度方向x延伸的螺纹杆23，所述滑块11a具有与所述螺纹杆23相配合的螺纹孔cc。螺纹杆23插设在螺纹孔cc内，通过控制螺纹杆23的旋转，以使滑块11a沿滑槽22a滑移，实现支撑平台10沿高度方向x上升或下降。
由于炉管控压阀3一般具有较大的质量(约25Kg)，若直接通过旋转螺纹杆23以实现支撑平台10的上升或下降，则需要非常大的旋转作用力，难以通过手动旋拧的方式实现。
本实施例中，所述升降平台20还包括相配合的涡轮23a和蜗杆23b。如图4所示，所述蜗杆23b固定设置在所述螺纹杆23的轴向一端，与所述螺纹杆23位于同一直线上，所述蜗杆23b啮合于所述涡轮23a。
当需要控制螺纹杆23旋转时，通过旋转涡轮23a，能够带动蜗杆23b旋转，从而使得螺纹杆23发生旋转，使滑块11a沿滑槽22a滑移。并且，采用涡轮23a、蜗杆23b相配合的结构，能够获得较大的传动比，因此，对所述涡轮23a施加较小的旋转作用力，既能够实现蜗杆23b的旋转。此时，工作人员可以手动旋转涡轮23a，以控制支撑平台10上升或下降。
参照图2、图5，所述升降平台20还包括导轨装置24，所述导轨装置24设置于所述底座21，具有沿第一水平方向y延伸的第一导轨24a。其中，所述立柱22设置于所述第一导轨24a上，适于沿所述第一导轨24a滑移；即，所述立柱22能够沿第一水平方向y滑移。
进一步的，所述底座21上固定设有沿第二水平方向z延伸的第二导轨21a。其中，所述导轨装置24设置在所述第二导轨21a上，适于沿所述第一导轨21a滑移；即，所述导轨装置24能够沿第二水平方向z滑移。
本实施例中，所述第一水平方向y垂直于所述第二水平方向z。
也就是说，通过所述第一导轨24a、第二导轨21a，能够改变所述立柱22在水平面上的位置，即能够改变所述支撑平台10在水平面上的位置。配合使用设置于立柱22上的滑槽22a，还能够改变支撑平台10在高度方向x上的位置。即所述升降平台20能够改变支撑平台10在三个方向上的具体位置。
因此，通过升降平台20，能够完全实现支撑平台10位置的精确控制，实现炉管控压阀3位置的精确控制，以使炉管控压阀3的进气端3a、出气端3b能够分别更好的对准炉管装置的进气管、出气管，更好的实现对炉管控压阀3进行安装和拆卸。
具体的，所述导轨装置24具有多个第一导轨24a，多个第一导轨24a沿第二水平方向z依次设置。因此，能够更稳定的支撑所述立柱22，防止立柱22发生倾斜。所述底座21上固定设有多个第二导轨21a，多个第二导轨21a沿第一水平方向y依次设置。因此，能够更稳定的支撑所述导轨装置24，防止导轨装置24发生倾斜。
需要说明的是，本实施例中，使第一水平方向y垂直第二水平方向z，是为了更好的调节支撑平台10在水平面上的位置。在其他变形例中，也可以使第一水平方向y、第二水平方向z具有一定的夹角，只要不平行即可。
参照图2，所述升降平台20的底部还设有滚轮21b，滚轮21b能够使安装治具100更好的在地面上移动，方便在安装或拆卸炉管控压阀3的过程中，将安装治具100移动至特定位置。
其中，所述滚轮21b上设有锁定装置，适于锁定滚轮21b，以防止炉管控压阀3安装或拆卸的过程中，安装治具100的位置发生变化。
虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。