一种微动平台的制作方法

文档序号:14921570发布日期:2018-07-11 04:13

本实用新型涉及一种微位移机构,尤其涉及一种微动平台。



背景技术:

近年来,随着科学技术和工业技术的不断进步,微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展,迫切需要能够在纳米及精度上进行定位和操作的系统和装备。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是提供一种微动平台,其能够实现较小的精密位移输出,结构优化,精准度高。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种微动平台,包括基座、所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽,所述通槽将所述基座分为运动体和固定体,所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽,所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽和第二凹槽,所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽和第四凹槽,所述第一凹槽和第三凹槽内设有压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器的两端设置有推力半球,所述第二凹槽和所述第四凹槽内设有微调螺纹副驱动组件,所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体上的微调螺纹副、与所述运动体铰接的柔性铰链机构、分别作用于所述微调螺纹副和柔性铰链机构的折叠弹片及用于导向所述折叠弹片的导向机构,所述导向机构包括设置在所述固定体上的导向槽、滚动设置在所述导向槽内的导向块,所述导向块上设置有嵌设所述折叠弹片的定位槽。

进一步地,各所述凹槽内还设置有用于检测运动体产生位移的直线光栅。

进一步地,所述X向通槽与所述Y向通槽间隔设置,所述X向通槽包括一组开口相对设置的第一U型槽和第二U型槽,所述Y向通槽包括开口相对设置的第三U型槽和第四U型槽。

进一步地,各所述U型槽均包括一横部和竖部,所述竖部垂直设置于所述横部的两端,且所述横部的长度大于所述竖部的长度。

进一步地,所述第一凹槽长度方向的延长线和所述第三凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心,所述第二凹槽长度方向的延长线和所述第四凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心。

进一步地,所述微调螺纹副的安装中心与折叠弹片的受力中心在同一轴线上。

进一步地,所述基座的侧壁上开设有多个电线保护套。

借由上述技术方案,本实用新型至少具有以下优点:

1、通过设置有通槽,包括X向通槽和Y向通槽,能够较好地实现运动体沿X或Y向移动,结构优化,较好地节约了现有的X向与Y相的运动耦合的问题;

2、通过设置有压电陶瓷驱动器和微调螺纹副组件,两个分别能够实现运动体的微动,且两者相互配合,能够较精准控制移动距离,结构优化;且整体装置结构简便优化、体积较小。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图2是图1中A处结构放大图。

以上附图中:1、运动体;2、固定体;3、第一凹槽;4、第二凹槽;5、第三凹槽;6、第四凹槽;7、压电陶瓷驱动器;8、推力半球;9、微调螺纹副;10、柔性铰链机构;11、折叠弹片;12、导向槽;13、导向块;14、定位槽;15、第一U型槽;16、第二U型槽;17、第三U型槽;18、第四U型槽;19、电线保护套。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

结合图1和图2所示,本实用新型公开了一种微动平台,包括基座、所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽。所述通槽将所述基座分为运动体1和固定体2,所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽。所述X向通槽与所述Y向通槽间隔设置,所述X向通槽包括一组开口相对设置的第一U型槽15和第二U型槽16,所述Y向通槽包括开口相对设置的第三U型槽17和第四U型槽18。各所述U型槽均包括一横部和竖部,所述竖部垂直设置于所述横部的两端,且所述横部的长度大于所述竖部的长度。通过设置有通槽,包括X向通槽和Y向通槽,能够较好地实现运动体1沿X或Y向移动,结构优化,较好地节约了现有的X向与Y相的运动耦合的问题。

所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽3和第二凹槽4,所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽5和第四凹槽6。所述第一凹槽3和第三凹槽5内设有压电陶瓷驱动器7,所述压电陶瓷驱动器7的两端设置有推力半球8。本实用新型中,优选地所述第一凹槽3长度方向的延长线和所述第三凹槽5长度方向的延长线交于所述基座的中心。通过上述的设置方式,通过较好地将所述压电陶瓷驱动器7的运动传递给所述运动体1。所述第二凹槽4和所述第四凹槽6内设有微调螺纹副驱动组件,本实用新型中,优选地所述第二凹槽4长度方向的延长线和所述第四凹槽6长度方向的延长线交于所述基座的中心。所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体2上的微调螺纹副9、与所述运动体1铰接的柔性铰链机构10、分别作用于所述微调螺纹副9和柔性铰链机构10的折叠弹片11及用于导向所述折叠弹片11的导向机构。本实用新型中,优选地,所述微调螺纹副9的安装中心与折叠弹片11的受力中心在同一轴线上。通过上述的设置方式,所述折叠弹片11受力处具有位移缩小的作用,通过位移缩小的作用,可以实现宏观的输入获取微观的输出,从而保证微动平台的精度。通过对微调螺纹副9施加不同的作用力,实现微位移的精密输出,实现了较小位移精密输出的功能。通过设置有压电陶瓷驱动器7和微调螺纹副组件,两个分别能够实现运动体1的微动,且两者相互配合,能够较精准控制移动距离,结构优化;且整体装置结构简便优化、体积较小。

所述导向机构包括设置在所述固定体2上的导向槽12、滚动设置在所述导向槽12内的导向块13,所述导向块13上设置有嵌设所述折叠弹片11的定位槽14。通过上述的设置方式,能够较好地减小外力误差对运动体的影响,结构优化、输出精准。各所述凹槽内还设置有用于检测运动体产生位移的直线光栅,通过设置有直线光栅,能够直接测量出所述运动体1的微位移量,功能优化。所述基座的侧壁上开设有多个电线保护套19,结构优化。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

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