用于干法镀膜真空腔体的放置支架的制作方法

1.本实用新型涉及支架技术领域，特别涉及一种用于干法镀膜真空腔体的放置支架。


背景技术：

2.干法镀膜用真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，现有的真空镀膜机在对一些小型的工件进行镀膜时，一般都是将工件挂在挂杆上，然后将挂杆放置在真空腔体内进行镀膜。
3.真空腔体一般需要放置在支架上，现有许多真空腔体底端会留出积液槽，因此就需要相应的机架来固定真空腔体，现有腔体与支架固定时，需要先行在支架上开设若干通孔，腔体连接处也开设若干螺纹孔，最后经螺柱进行固定。
4.但是现有技术中，真空腔体的放置无需很精确到位，支架仅仅起到支撑作用即可，但是通过螺柱连接的方式，需要要每个孔位都很精确，从而导致在安装过程中，需要先行进行对孔，此过程较为繁琐，安装效率低下。
5.因此，发明一种用于干法镀膜真空腔体的放置支架来解决上述问题很有必要。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种用于干法镀膜真空腔体的放置支架，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于干法镀膜真空腔体的放置支架，包括支架本体，所述支架本体包括底架、活动板、对称设置的支撑板及夹持件，所述底架包括多个竖直支腿、工字型固定架及多个支撑柱，多个所述竖直支腿固定设置在所述工字型固定架侧部，多个所述支撑柱对称设置在工字型固定架顶端，所述支撑板固定设置在支撑柱和支腿顶端，两侧所述支撑板之间形成放置槽，所述活动板匹配设置在放置槽内，所述活动板顶端四角固定设置有连接柱，所述连接柱顶端固定连接有调节杆，所述支撑板表面具有凹槽，所述凹槽内部开设有贯穿孔，所述调节杆穿插在贯穿孔内部，且顶端固定连接有限位块，所述限位块设置在凹槽内部，所述连接柱一侧设置有弹簧，所述弹簧底端与活动板固定连接，所述弹簧顶端与支撑板底端固定连接；
8.所述支撑板表面还开设有贯穿槽，所述夹持件包括夹持块及连接杆，所述连接杆插设在贯穿槽内部，所述连接杆底端表面开设有通孔，所述活动板侧壁开设有连接槽，所述连接杆底端插设有销轴，所述销轴一端与连接槽相适配。
9.优选的，所述夹持块表面开设有若干螺纹孔，所述支撑板表面开设有若干闷孔，所述闷孔所在位置与螺纹孔相对应。
10.优选的，所述凹槽的深度大于限位块的厚度。
11.优选的，所述放置槽与真空腔体相适配。
12.优选的，所述夹持块中夹持部位包裹有橡胶垫。
13.优选的，所述活动板顶端表面固定设置有橡胶垫。
14.本实用新型的技术效果和优点：结构简便，安装效率高，在安装时，只需要将真空腔体吊装到支架本体顶端，并沿着放置槽放入，当真空腔体快接触到活动板时，将夹持件沿着贯穿槽插入，将夹持件中夹持块抵在真空腔体侧壁的凸起部表面，并将销轴穿过通孔插入连接槽内，此时缓慢放下真空腔体，在真空腔体自身的重力作用下推动活动板往下运动，活动板经销轴带动夹持件往下运动，从而可以使夹持件牢牢地压在真空腔体侧壁的凸起部表面，便可轻松地将真空腔体固定。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图。
16.图2为本实用新型未插入夹持件整体结构示意图。
17.图3为本实用新型的夹持件整体结构示意图。
18.图4为本实用新型图1中a部放大图。
19.图中：1活动板、2竖直支腿、3工字型固定架、4支撑柱、5放置槽、6连接柱、7调节杆、8凹槽、9限位块、10弹簧、11贯穿槽、12夹持块、13连接杆、14通孔、15连接槽、16销轴、17支撑板。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.本实用新型提供了如图1
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4所示的一种用于干法镀膜真空腔体的放置支架，包括支架本体，所述支架本体包括底架、活动板1、对称设置的支撑板17及夹持件，所述底架包括多个竖直支腿2、工字型固定架3及多个支撑柱4，多个所述竖直支腿2固定设置在所述工字型固定架3侧部，多个所述支撑柱4对称设置在工字型固定架3顶端，所述支撑板17固定设置在支撑柱4和支腿顶端，两侧所述支撑板17之间形成放置槽5，所述活动板1匹配设置在放置槽5内，所述活动板1顶端四角固定设置有连接柱6，所述连接柱6顶端固定连接有调节杆7，所述支撑板17表面具有凹槽8，所述凹槽8内部开设有贯穿孔，所述调节杆7穿插在贯穿孔内部，且顶端固定连接有限位块9，所述限位块9设置在凹槽8内部，所述连接柱6一侧设置有弹簧10，所述弹簧10底端与活动板1固定连接，所述弹簧10顶端与支撑板17底端固定连接；
22.所述支撑板17表面还开设有贯穿槽11，所述夹持件包括夹持块12及连接杆13，所述连接杆13插设在贯穿槽11内部，所述连接杆13底端表面开设有通孔14，所述活动板1侧壁开设有连接槽15，所述连接杆13底端插设有销轴16，所述销轴16一端与连接槽15相适配。
23.进一步的，在上述技术方案中，所述夹持块12表面开设有若干螺纹孔，所述支撑板17表面开设有若干闷孔，所述闷孔所在位置与螺纹孔相对应，通过螺柱穿过螺纹孔固定在闷孔内部，可以提高固定效果；
24.进一步的，在上述技术方案中，所述凹槽8的深度大于限位块9的厚度，未放腔体
时，在弹簧10的弹力作用下限位块9浮在凹槽8顶端；
25.进一步的，在上述技术方案中，所述放置槽5与真空腔体相适配；
26.进一步的，在上述技术方案中，所述夹持块12中夹持部位包裹有橡胶垫；
27.进一步的，在上述技术方案中，所述活动板1顶端表面固定设置有橡胶垫，橡胶垫的设置可以提高腔体的固定效果，避免在使用过程中，发生错位的现象。
28.本实用工作原理：安装时，只需要将真空腔体吊装到支架本体顶端，并沿着放置槽5放入，当真空腔体快接触到活动板1时，将夹持件沿着贯穿槽11插入，将夹持件中夹持块12抵在真空腔体侧壁的凸起部表面，并将销轴16穿过通孔14插入连接槽15内，此时缓慢放下真空腔体即可完成安装，在真空腔体自身的重力作用下推动活动板1往下运动，活动板1经销轴16带动夹持件往下运动，从而可以使夹持件牢牢地压在真空腔体侧壁的凸起部表面。
29.在本实用实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
30.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。