一种真空镀膜机的旋转密封结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种真空镀膜机的旋转密封结构。


背景技术：

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，也是真空应用领域的一个重要方面。
3.真空镀膜机的原理是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积。
4.真空镀膜机在工作过程中需要用到外部驱动机构控制内部镀件旋转，但内部工作环境需要保持密封，这就要用到旋转密封机构在保证内部密封的情况下，为镀件提供旋转动力，而一般的真空镀膜机旋转密封机构的密封效果不是很好，工作时会有一定的泄漏，使用效果不佳。


技术实现要素：

5.基于此，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的旋转密封结构，以解决一般真空镀膜机旋转密封机构密封效果不是很好的技术问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的旋转密封结构，包括外壳，所述外壳的内部设置有传动轴，所述传动轴的外壁对称设置有一组磁流体密封机构，所述传动轴的外壁设置有一组轴承，所述外壳的顶面与地面皆开设有阶梯槽，且阶梯槽的内部设置有密封圈，所述外壳的顶部与底部皆设置有端盖。
7.通过采用上述技术方案，在不影响传动轴转动的情况下，保证传动轴的密封性。
8.本实用新型进一步设置为，所述磁流体密封机构之间与外壳的内壁形成密封槽。
9.通过采用上述技术方案，密封槽可以充入惰性气体增强磁流体密封机构之间的密封效果。
10.本实用新型进一步设置为，所述磁流体密封机构的外壁设置有补充管，且补充管的一端贯穿延伸至外壳的外侧。
11.通过采用上述技术方案，补充管可以为磁流体密封机构补充磁流体液。
12.本实用新型进一步设置为，所述轴承的底端与磁流体密封机构的顶部相接触，所述密封圈为双层结构，所述密封圈的底面与轴承的顶端相接触，且密封圈为全氟橡胶材质。
13.通过采用上述技术方案，可以保证结构之间的密封效果。
14.本实用新型进一步设置为，所述外壳的外壁设置有固定座，所述固定座的顶部开设有多个安装孔。
15.通过采用上述技术方案，固定座与安装孔形成的法兰结构方便了结构整体的安装。
16.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：本实用新型通过在传动轴外部设
置外壳，传动轴的两端分别和驱动机构、镀件架相连接，传动轴的外壁对称设置有磁流体密封机构，相较于传统的密封结构，无磨损，具有极佳的工作可靠性，适用性强，从低速到高速，从低压到高压，从室温到高温，均能满足各种设备的要求，配合轴承，在不影响传动轴转动的情况下，保证传动轴的密封性，同时磁流体密封机构由双层密封圈进行密封隔热，减少热量侵入，使磁流体的工作环境保持恒定，密封圈处于阶梯槽的内部，配合端盖，进一步提升了密封圈的密封效果，使整体真空镀膜机得到更好的使用效果。
附图说明
17.图1为本实用新型外部结构连接示意图；
18.图2为本实用新型内部结构连接示意图；
19.图3为本实用新型端盖内部结构示意图。
20.图中：1、外壳；2、固定座；3、安装孔；4、传动轴；5、磁流体密封机构；6、轴承；7、密封槽；8、密封圈；9、阶梯槽；10、端盖；11、补充管。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
22.下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
23.一种真空镀膜机的旋转密封结构，如图1-3所示，包括外壳1，外壳1的内部设置有传动轴4，传动轴4的外壁对称设置有一组磁流体密封机构5，传动轴4的外壁设置有一组轴承6，外壳1的顶面与地面皆开设有阶梯槽9，且阶梯槽9的内部设置有密封圈8，外壳1的顶部与底部皆设置有端盖10，通过在传动轴4外部设置外壳1，传动轴4的两端分别和驱动机构、镀件架相连接，传动轴4的外壁对称设置有磁流体密封机构5，相较于传统的密封结构，无磨损，具有极佳的工作可靠性，适用性强，从低速到高速，从低压到高压，从室温到高温，均能满足各种设备的要求，配合轴承6，在不影响传动轴4转动的情况下，保证传动轴4的密封性，同时磁流体密封机构5由双层密封圈8进行密封隔热，减少热量侵入，使磁流体的工作环境保持恒定，密封圈8处于阶梯槽9的内部，配合端盖10，进一步提升了密封圈8的密封效果，使整体真空镀膜机得到更好的使用效果。
24.请参阅图2，磁流体密封机构5之间配合外壳1的内壁形成密封槽7，密封槽7可以充入惰性气体增强磁流体密封机构5之间的密封效果，轴承6的底端与磁流体密封机构5的顶部相接触，密封圈8为双层结构，密封圈8的底面与轴承6的顶端相接触，且密封圈8为全氟橡胶材质，可以保证结构之间的密封效果。
25.请参阅图1与图3，磁流体密封机构5的外壁设置有补充管11，且补充管11的一端贯穿延伸至外壳1的外侧，补充管11可以为磁流体密封机构5补充磁流体液，外壳1的外壁设置有固定座2，固定座2的顶部开设有多个安装孔3，固定座2与安装孔3形成的法兰结构方便了结构整体的安装。
26.本实用新型的工作原理为通过在传动轴4外部设置外壳1，传动轴4的两端分别和驱动机构、镀件架相连接，传动轴4的外壁对称设置有磁流体密封机构5，相较于传统的密封
结构，无磨损，具有极佳的工作可靠性，适用性强，从低速到高速，从低压到高压，从室温到高温，均能满足各种设备的要求，配合轴承6，在不影响传动轴4转动的情况下，保证传动轴4的密封性，同时磁流体密封机构5由双层密封圈8进行密封隔热，减少热量侵入，使磁流体的工作环境保持恒定，密封圈8处于阶梯槽9的内部，配合端盖10，进一步提升了密封圈8的密封效果，使整体真空镀膜机得到更好的使用效果。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，但本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对实用新型的限制，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合，本领域技术人员在阅读完本说明书后可在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。


技术特征：
1.一种真空镀膜机的旋转密封结构，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部设置有传动轴(4)，所述传动轴(4)的外壁对称设置有一组磁流体密封机构(5)，所述传动轴(4)的外壁设置有一组轴承(6)，所述外壳(1)的顶面与地面皆开设有阶梯槽(9)，且阶梯槽(9)的内部设置有密封圈(8)，所述外壳(1)的顶部与底部皆设置有端盖(10)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转密封结构，其特征在于：所述磁流体密封机构(5)之间与外壳(1)的内壁形成密封槽(7)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转密封结构，其特征在于：所述磁流体密封机构(5)的外壁设置有补充管(11)，且补充管(11)的一端贯穿延伸至外壳(1)的外侧。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转密封结构，其特征在于：所述轴承(6)的底端与磁流体密封机构(5)的顶部相接触，所述密封圈(8)为双层结构，所述密封圈(8)的底面与轴承(6)的顶端相接触，且密封圈(8)为全氟橡胶材质。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转密封结构，其特征在于：所述外壳(1)的外壁设置有固定座(2)，所述固定座(2)的顶部开设有多个安装孔(3)。

技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜机的旋转密封结构，涉及真空镀膜领域，包括外壳，所述外壳的内部设置有传动轴，所述传动轴的外壁对称设置有一组磁流体密封机构，所述传动轴的外壁设置有一组轴承。本实用新型通过在传动轴外部设置外壳，传动轴的两端分别和驱动机构、镀件架相连接，传动轴的外壁对称设置有磁流体密封机构，相较于传统的密封结构，无磨损，具有极佳的工作可靠性，适用性强，从低速到高速，从低压到高压，从室温到高温，均能满足各种设备的要求，配合轴承，在不影响传动轴转动的情况下，保证传动轴的密封性，同时磁流体密封机构由双层密封圈进行密封隔热，减少热量侵入，使磁流体的工作环境保持恒定。的工作环境保持恒定。的工作环境保持恒定。


技术研发人员：王盛基 程永祥 王建忠 陈笑双
受保护的技术使用者：桐庐华亚钛金技术有限公司
技术研发日：2022.03.14
技术公布日：2022/7/12