储液槽的液体导入管的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备中的液体输送技术，更具体地说，涉及一种储液槽的液体导入管。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺中，需要使用到很多种的液体，因此半导体设备中的液体输送技术是半导体工艺中重要的一环。图1a和图1b揭示了现有技术中使用的储液槽和液体导入管的结构。图1a揭示了储液槽和液体导入管的外观结构图，图1b揭示了储液槽和液体导入管的剖面结构图。如图1a和图1b所示，现有技术中的结构如下:储液槽和液体导入管的连接主要通过导管102和转接口 104实现。导管102呈弯折型，通常包括一水平部分121、一竖直部分122以及连接水平部分和竖直部分弧形部分123。转接口 104包括两个部分，一上端结构141和一下端结构142。下端结构142用于与储液槽106连接。储液槽106上开有接口 161，下端结构142的底部形成连接管，连接管具有外螺纹，接口 161具有内螺纹，内螺纹和外螺纹匹配，下端结构142被固定到储液槽106上。连接管和接口的螺纹都是符合NPT标准的螺纹。NPT (Nat1nal Pipe Thread)是一种密封螺纹,通过NPT连接,下端结构142与接口 161之间同时实现了密封。下端结构142的中心开有通孔144。上端结构141与下端结构142是一体的，上端结构141用于与导管102连接。上端结构141的中心开有连接孔143，连接孔143的内径与导管102的竖直部分122的外径匹配，由于导管102通常具有统一的直径，因此实际上也可以认为连接孔143的内径与导管102的直径匹配。上端结构141是一个旋转紧固结构，通过旋转可以使得上端结构141夹紧导管102。参考图1b所示，现有技术中，通孔144的直径是小于导管102的直径(竖直部分122的直径)，因此，导管102的竖直部分122只能够延伸到通孔144的顶端，即上端结构141和下端结构142的交界处，这个位置距离储液槽内的液面108还有相当长的距离。在进行液体导入时,液体在离开导管102之后会冲入液面108，从而形成大量的气泡110。众所周知的是，气泡110在半导体处理工艺中是十分不利的，为了减小气泡的影响，就必须将液体流量减小，或者在导入液体后等待足够的时间等气泡消除。但这些做法无疑都是会影响处理效率的。
【发明内容】
[0003]本发明旨在提出一种储液槽的液体导入管，能在不影响处理效率的情况下减少导入液体时产生的气泡。
[0004]根据本发明的一实施例，提出一种储液槽的液体导入管，包括:基座、导管和紧固件。基座的中心开有通孔，基座顶部外周形成法兰环，基座的底部安装在储液槽的接口上。导管呈弯折型，导管包括竖直部分，竖直部分的外径与通孔的内径匹配，竖直部分插入到通孔中，竖直部分延伸至储液槽中的液面以下。紧固件与导管的竖直部分以及法兰环紧固连接，紧固件固定导管的位置并密封导管的竖直部分与基座。
[0005]在一个实施例中，接口上具有内螺纹，基座的底部具有外螺纹，内螺纹和外螺纹匹配，基座的底部固定于接口上且密封。
[0006]在一个实施例中，内螺纹和外螺纹符合NPT标准。
[0007]在一个实施例中，紧固件由两个半圆环型部件构成，两个半圆环型部件从两侧抱紧导管的竖直部分并连接在一起，两个半圆环型部件的底部固定在所述法兰环上。
[0008]在一个实施例中，两个半圆环型部件上开有横向的螺栓孔且互相对齐，两个半圆环形部件由螺栓连接。两个半圆环型部件和法兰环上开有纵向的螺栓孔且互相对齐，两个半圆环形部件由螺栓连接至法兰环。
[0009]在一个实施例中，导管的竖直部分的外径为I英寸，通孔的内径为I英寸，导管的竖直部分的外壁和通孔的内壁均光滑。
[0010]在一个实施例中，导管还包括水平部分，水平部分与竖直部分呈垂直角度并通过弧形部分连接。
[0011]在一个实施例中，导管的竖直部分、弧形部分和水平部分为等直径。
[0012]本发明的储液槽的液体导入管将导管延伸至储液槽的液面之下，在进行液体导入时可以避免液体直接冲击液面，从而减少气泡的产生。本发明的储液槽的液体导入管能在维持一定的液体流量和保持较高的生产效率的情况下减少气泡生成。
【附图说明】
[0013]本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中:
[0014]图1a和图1b揭示了现有技术中使用的储液槽和液体导入管的结构。
[0015]图2a、图2b和图2c揭示了根据本发明的一实施例的储液槽和液体导入管的结构。
[0016]图3a、图3b和图3c揭示了根据本发明的一实施例的基座和紧固件的结构。
【具体实施方式】
[0017]本发明提出一种储液槽的液体导入管，将导管延伸到储液槽的液面以下，这样在导入液体时液体直接进入到液面之下，避免液体从高处下落冲入液面而产生气泡的情况。
[0018]参考图2a、图2b和图2c，该储液槽的液体导入管包括基座204、导管202和紧固件206。图2a是该储液槽的液体导入管的剖面图，图2b是该储液槽的液体导入管的零件分解立体图，图2c是该储液槽的液体导入管的组装立体图。
[0019]基座204的中心开有通孔241，基座204顶部外周形成法兰环242，基座204的底部243安装在储液槽208的接口 281上。储液槽208的接口 281与现有技术中的接口 161是相同的，没有变化。接口 281上具有内螺纹，基座的底部243具有外螺纹，内螺纹和外螺纹匹配，基座的底部243固定于接口 281上且密封。在一个实施例中，接口 281的内螺纹和基座的底部243上的外螺纹符合NPT标准。NPT是密封螺纹，因此通过螺纹咬合，基座被固定并且密封地连接到储液槽208的接口 281上。
[0020]导管202呈弯折型，导管202包括竖直部分222。在图示的实施例中，导管202还包括水平部分221，水平部分221与竖直部分222呈垂直角度并通过弧形部分223连接。在不同的应用中，也可以用呈其它角度的倾斜部分来替代水平部分221，以适应不同的液体导入需求。如果采用其它角度的倾斜部分，可以相应调节弧形部分2