手动开闭阀的制作方法

文档序号:9562176阅读:810来源:国知局
手动开闭阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及通过使手动把手旋转,使阀芯移动而与阀座抵接,从而将输入口和输出口隔断的手动开闭阀。
【背景技术】
[0002]在半导体制造工序中,供给工艺气体等的设备广泛地使用操作者通过手动能够将气体供给可靠地隔断的手动开闭阀。例如,在通常运转时想要停止工艺气体的供给的情况下,或在维修时将配管等拆下而作业时避免使工艺气体流动的情况下,使用手动开闭阀。
[0003]在专利文献1中公开了一种通过手动把手的旋转,利用螺纹结构使阀芯向阀座方向移动的机构、将阀芯向与阀座抵接的方向施力的施力弹簧等的结构。
[0004]在此,工艺气体由于腐蚀性高,因此阀座的材质使用三氟化乙烯等树脂。因此,为了即使作业者过度地转动手动把手时也能防止阀座的大的变形,而仅利用施力弹簧的力使阀芯与阀座抵接。
[0005]而且,在专利文献2中公开了如下内容:为了保证在维修时维持关闭手动开闭阀的状态,而确保作业者的安全,将用于固定手动把手的挂锁上锁。
[0006]【在先技术文献】
[0007]【专利文献】
[0008]【专利文献1】日本特开平09-264451号公报
[0009]【专利文献2】日本特开2005-291380号公报

【发明内容】

[0010]【发明要解决的课题】
[0011 ] 以往的手动开闭阀存在如下的问题。
[0012]S卩,贮存工艺气体且作为供给源的储气瓶的原压有时成为20MPa以上的高压力。因此,为了确保作业者的安全,在维修时,即使在储气瓶的下游的调节器发生故障而其最高压直接作用于手动开闭阀的情况下,也需要在手动开闭阀中避免气体泄漏。
[0013]然而,在专利文献1的手动开闭阀中,在储气瓶的下游的调节器发生故障而储气瓶的工艺气体向手动开闭阀直接流入时,仅通过施力单元,对阀芯向阀座施力,因此可能会发生气体泄漏。
[0014]而且,在通常作业时,在某人触碰到手动把手的情况下,手动把手稍旋转而可能会发生少量的气体泄漏。
[0015]本发明为了解决上述问题点而作出,目的在于提供一种在维修时即使储气瓶的最大气体压直接作用于手动开闭阀的情况下,也不会发生气体泄漏的手动开闭阀。
[0016]【用于解决课题的方案】
[0017]本发明的手动开闭阀具有如下的结构。
[0018](1) 一种手动开闭阀,通过使手动把手旋转,使阀芯移动而与阀座抵接,从而将输入口与输出口的连通隔断,其特征在于,所述抵接产生的隔断状态包括:所述手动把手旋转至第一角度时的第一隔断状态;在所述手动把手旋转至第二角度时,将向所述手动把手的旋转操作力转换成使所述阀芯移动而与所述阀座抵接的力进行施加的第二隔断状态。
[0019](2)在(1)记载的手动开闭阀中,其特征在于,具有:通过旋转所述手动把手而在开闭阀的轴向上移动的移动构件;对所述阀芯向与所述阀座抵接的方向施力的施力构件;及与所述移动构件卡合且一体地形成或抵接于所述阀芯的卡合构件,所述手动把手旋转至所述第一角度时,所述移动构件与所述卡合构件的在所述轴向的抵接被解除,所述手动把手旋转至所述第二角度时,所述移动构件从所述轴向上方与所述卡合构件抵接。
[0020](3)在⑵记载的手动开闭阀中,其特征在于,具有在内周形成有内螺纹部的阀主体,所述移动构件与所述阀主体的内螺纹部结合,所述阀芯经由阀芯薄板而相对于阀座抵接或分离,所述阀芯薄板是金属膜片,向阀芯从阀座分离的方向施力。
[0021](4)在(1)至(3)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,所述第二隔断状态能够将与该开闭阀所连接的流体供给源的压力相同的压力的流体隔断。
[0022](5)在(1)至(4)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,用于锁定所述手动把手的旋转的锁定机构将所述第二隔断状态锁定。
[0023](6)在(1)至(5)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,所述第一角度是70度,所述第二角度是90度。
[0024]【发明效果】
[0025]本发明的手动开闭阀通过具有上述结构而具有如下的作用及效果。
[0026](1) 一种手动开闭阀,通过使手动把手旋转,使阀芯移动而与阀座抵接,从而将输入口与输出口的连通隔断,其特征在于,所述抵接产生的隔断状态包括:所述手动把手旋转至第一角度时的第一隔断状态;在所述手动把手旋转至第二角度时,将向所述手动把手的旋转操作力转换成使所述阀芯移动而与所述阀座抵接的力进行施加的第二隔断状态,因此通过使手动把手旋转至第一角度而阀已经成为隔断状态,通过使手动把手旋转至第二角度而将施加给手动把手的旋转操作力转换成向阀座的隔断载荷来施加,因此能够在成为隔断状态的旋转角度设置幅度,并能够选择更高的载荷产生的隔断状态。由此,能够可靠地将流体隔断。
[0027](2)在(1)记载的手动开闭阀中,其特征在于,具有:通过旋转所述手动把手而在开闭阀的轴向上移动的移动构件;对所述阀芯向与所述阀座抵接的方向施力的施力构件;及与所述移动构件卡合且一体地形成或抵接于所述阀芯的卡合构件,所述手动把手旋转至所述第一角度时,解除所述移动构件与所述卡合构件的所述轴向上的抵接,所述手动把手旋转至所述第二角度时,所述移动构件从所述轴向上方与所述卡合构件抵接,因此,在第一隔断状态下,以第一角度与第二角度之间的角度通过施力构件的作用力来设定抵接载荷,从而得到稳定的抵接载荷,因此即使作业者错误地触碰手动把手而手动把手稍稍旋转,也不会给通常的密封力造成影响。在维修以外的通常作业中,作业者若使手动把手位置对合于第一角度至第二角度之间,则仅通过施力构件的作用力,就能使阀芯与阀座抵接,因此能够得到充分的密封力,并且不会使阀座变形。
[0028]而且,在第二隔断状态下,除了作用力之外,移动构件直接经由卡合构件将阀芯按压于阀座,因此即使在流体的压力异常升高等情况下,也能够将流体可靠地隔断。在维修时,作业者若使手动把手对合于第二角度,则阀芯与阀座抵接的力由规定的螺纹力产生,因此即使大的气体压力作用于阀芯,也不会发生气体泄漏。
[0029](3)在⑵记载的手动开闭阀中,其特征在于,具有在内周形成有内螺纹部的阀主体,所述移动构件与所述阀主体的内螺纹部结合,所述阀芯经由阀芯薄板而相对于阀座抵接或分离,所述阀芯薄板是金属膜片,向阀芯从阀座分离的方向施力,因此,通过螺纹的咬合而将手动把手的旋转移动改变为上下的移动。而且,阀芯薄板通过利用金属膜片的复原力而无需设置复位结构。由此,能够削减阀1的部件个数。
[0030](4)在⑴至(3)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,所述第二隔断状态能够将与该开闭阀所连接的流体供给源的压力相同的压力的流体隔断,因此,即使在例如由于压力控制设备等的不良情况而高压储气瓶的压力未减压地到达本发明的手动开闭阀的情况下、或为了保养而将配管拆下的状态下储气瓶的调节器发生破损等而储气瓶的最大气体压力直接作用于手动开闭阀的情况下,通过设为第二隔断状态也能够将流体可靠地隔断,在手动开闭阀处不会发生气体泄漏,能够可靠地确保作业者的安全。
[0031](5)在(1)至(4)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,用于锁定所述手动把手的旋转的锁定机构将所述第二隔断状态锁定,因此,通过锁定机构能够防止作业者误触碰手动把手而手动把手旋转的情况。而且,通过锁定能够使人注意到不能粗心地操作手动把手的情况。
[0032]而且,在维修时,规定作业者必须关闭手动阀进行锁定,但是若未使手动把手转动第二角度以上,则无法使锁定机构移动而锁定,因此能够确保作业者可靠地将手动把手形成为第二角度的情况。
[0033]在此,在手动开闭阀的组装时,通过移动构件的旋转转矩确认阀芯以规定的力与阀座抵接的情况,在此状态下将手动把手的位置固定,因此能够可靠地保证锁定机构发挥功能时的规定的螺纹力。
[0034](6)在(1)至(5)的任一项记载的手动开闭阀中,其特征在于,所述第一角度是70度,所述第二角度是90度,因此在通常的作业中,作业者若将手动把手设定为70度至90度至间、例如80度的位置,则即使某人误触碰手动把手而手动把手稍稍旋转,也不会给通常的密封力造成影响。
【附图说明】
[0035]图1是表示开阀状态的手动开闭阀的状态的剖视图。
[0036]图2是开阀状态的手动开闭阀的主视图。
[0037]图3是开阀状态的手动开闭阀的俯视图。
[0038]图4是表示把手处于第一角度时的手动开闭阀的状态的剖视图。
[0039]图5是把手处于第一角度时的手动开闭阀的主视图。
[0040]图6是把手处于第一角度时的手动开闭阀的俯视图。
[0041]图7是表示把手处于第二角度时的手动开闭阀的状态的剖视图。
[0042]图8是把手处于第二角度时的手动开闭阀的主视图。
[0043]图9是将把手处于第二角度时的手动开闭阀的把手拆下的俯视图。
[0044]图10是把手处于第二角度时的手动开闭阀的俯视图。
[0045]图11是另一实施方式的手动开闭阀的剖视图。
[0046]【标号说明】
[0047]1手动开闭阀
[0048]11把手
[0049]16螺纹构件
[0050]16a外螺纹部
[0051]16bT 插槽
[0052]16d突出部
[0053]17第二主体<
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