一种用于高温炉气体流量阀的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于高温炉气体流量阀，包括有阀杆，阀盖，阀体，所述阀体上端通过螺母安装有阀盖，阀盖上端设有弹簧组件；所述阀体内安装有球芯，球芯且与所述的阀杆相连接，所述阀体底端通过螺栓安装有村套。本发明具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点。
【专利说明】
一种用于高温炉气体流量阀
技术领域
[0001]本发明涉及一种球阀，具体是一种用于高温炉气体流量阀。
【背景技术】
[0002]真空气氛管式炉专门设计用于低温CVD工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，加热元件选用进口 KTL电阻丝，优质石英管炉膛，系统可预抽真空，气体采用质量流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制、高低温区设计隔板结构，有效的实现温度梯度的控制。但是现有的金属硬密封球阀在高温情况下容易出现阀杆抱死卡涩等现象。
【发明内容】
[0003]为解决上述技术问题，本发明提供了一种适合在高温环境下使用的高温炉气体流量阀。
[0004]本发明采取的技术方案是:
[0005]—种用于高温炉气体流量阀，包括有阀杆，阀盖，阀体，其特征在于:所述阀体上端通过螺母安装有阀盖，阀盖上端设有弹簧组件；所述阀体内安装有球芯，球芯且与所述的阀杆相连接，所述阀体底端通过螺栓安装有村套，所述村套与球芯处设有密封件。
[0006]本发明的有益效果是:
[0007]本发明具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，在高温情况下阀杆不会出现抱死卡涩等现象。
【附图说明】
[0008]图1是本发明的结构示意图
【具体实施方式】
[0009]如图1所示，一种用于高温炉气体流量阀，包括有阀杆I，阀盖3，阀体6，所述阀体6上端通过螺母安装有阀盖3，阀盖3上端设有弹簧组件2 ;所述阀体6内安装有球芯5，球芯5且与所述的阀杆I相连接，所述阀体6底端通过螺栓安装有村套7，所述村套7与球芯处设有密封件8。
【主权项】
1.一种用于高温炉气体流量阀，包括有阀杆，阀盖，阀体，其特征在于:所述阀体上端通过螺母安装有阀盖，阀盖上端设有弹簧组件；所述阀体内安装有球芯，球芯且与所述的阀杆相连接，所述阀体底端通过螺栓安装有村套，所述村套与球芯处设有密封件。
【文档编号】F16K5/06GK105889544SQ201410586385
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年10月27日
【发明人】张时利, 王建跃, 王皓静
【申请人】合肥日新高温技术有限公司