真空镀膜设备用安全阀的制作方法

文档序号:8577075
真空镀膜设备用安全阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空设备技术领域,具体涉及真空镀膜设备用安全阀。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术中,往往将材料高温加热,然后冷却到基片形成薄膜,在镀膜过程中,由于材料会形成气体,气体具有不稳定性,并且由于真空镀膜的腔体的腔体较大,这样会使薄膜形成的不均匀;另外,由于真空腔体内存在多个蒸发源,当使用其中一个蒸发源时,会对其他的蒸发源造成污染,影响镀膜的质量,真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中,真空室内有压力、并通过加热器加热到200 - 500°C不等,同时按工艺要求充入不同含量的气体,其中含有氧气等易燃气体。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供真空镀膜设备用安全阀,从而解决上述问题。
[0004]与此相应,本实用新型提供如下技术方案:真空镀膜设备用安全阀,包括阀体、阀盖、阀板、螺母压套和阀芯且关于阀芯左右对称,所述阀体顶部与阀盖通过螺钉固定连接并构成腔室,所述阀盖与螺母压套固定连接,所述阀体底部与阀板之间设有O形密封圈,所述阀板顶部与螺母压套底之间固定有圆柱螺旋弹簧,所述阀芯一端固定在阀体顶部,另一端置于螺母压套之间。
[0005]进一步的,所述螺母压套通过螺钉对阀芯施加压力。
[0006]进一步的,所述阀体下方设有八个圆形放气孔。
[0007]进一步的,所述螺钉为开槽平端紧定螺钉。
[0008]本实用新型的有益效果是:该真空镀膜设备用安全阀由阀体、阀盖、阀板和螺母压套组成且,体积小,整体结构简单左右对称、外观简洁;当真空室内的压强大于圆柱螺旋弹簧最大的安全工作压力时,压力将圆柱螺旋弹簧压缩阀板升起,即打开阀板,压力减小?’反之,圆柱螺旋弹簧依靠本身的弹性复位,关闭阀板,便于自动控制,通用性好,使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型结构示意图;
[0010]图中:1、阀体;2、阀盖;3、阀板;4、螺母压套;5、螺钉;6、圆柱螺旋弹簧;7、O形密封圈和8、阀芯。
【具体实施方式】
[0011 ] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0012]请参阅图1,本实用新型提供了一种技术方案:真空镀膜设备用安全阀,包括阀体
1、阀盖2、阀板3、螺母压套4和阀芯8且关于阀芯8左右对称,阀体I顶部与阀盖2通过螺钉5固定连接构成腔室,阀盖2与螺母压套4固定连接,阀体I底部与阀板3之间设有O形密封圈7,阀板3顶部与螺母压套4底部固定有圆柱螺旋弹簧6,阀芯8 一端固定在阀体I顶部,另一端置于螺母压套4之间。
[0013]该方案的优选的真空镀膜设备用安全阀体积小,整体结构简单对称、外观简洁、便于自动控制,通用性好,使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。
[0014]进一步的,阀体I下方有八个圆形放气孔,镀膜机内部压强过大时,气压从放气孔对阀板3施加压力,放气孔能够有效稳定的控制气压流量,螺钉5为开槽平端紧定螺钉,开槽平端紧定螺钉是固定相对位置的一种螺钉5,压紧力小且固定相对位置较好,螺母压套4通过螺钉5对阀芯8施加压力,从而控制镀膜机内膜的气压大小。
[0015]具体工作原理及其过程:镀膜机在镀膜的过程中产生较大的气压,此时气压通过阀体I下部的放气孔对阀板3施加压力,当压力大于圆柱螺旋弹簧6的最大安全工作压力时圆柱螺旋弹簧6收缩,阀板3与阀体I底部脱离,镀膜机内部的压力释放,此时镀膜机内部气压逐渐变小,当通过放气孔的气压对阀板3的压力小于圆柱螺旋弹簧6的弹力时,圆柱螺旋弹簧6推动阀板3复位。
[0016]螺母压套4通过螺钉5对阀芯8施加压力调整镀膜机内部气压:旋紧螺钉5,螺母压套4对阀芯8的压力增大,之间的摩擦力也增大,放气孔需要更大的气压对阀板3施加压力,这样圆柱螺旋弹簧6收缩,阀板3与阀芯8才能向上移动,将气压释放到外部,即打开阀板;旋松螺钉5,螺母压套4对阀芯8的压力减小,之间的摩擦力也减小,放气孔需要较小的气压对阀板3施加压力,这样圆柱螺旋弹簧6复位,阀板3与阀芯8向下移动并复位,即关闭阀板。通过这种方式,安全阀可实现自动控制镀膜机内部的压力。
[0017]最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.真空镀膜设备用安全阀,包括阀体(I)、阀盖(2)、阀板(3)、螺母压套(4)和阀芯(8),且关于阀芯(8)左右对称,其特征在于:所述阀体(I)顶部与阀盖(2)通过螺钉(5)固定连接并构成腔室,所述阀盖(2)与螺母压套(4)固定连接,所述阀体(I)底部与阀板(3)之间设有O形密封圈(7),所述阀板(3)顶部与螺母压套(4)底之间固定有圆柱螺旋弹簧(6),所述阀芯(8 ) —端固定在阀体(I)顶部,另一端置于螺母压套(4 )之间。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用安全阀,其特征在于:所述螺母压套(4)通过螺钉(5 )对阀芯(8 )施加压力。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用安全阀,其特征在于:所述阀体(I)下方设有八个圆形放气孔。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用安全阀,其特征在于:所述螺钉(5)为开槽平端紧定螺钉。
【专利摘要】本实用新型公开了真空镀膜设备用安全阀,包括阀体、阀盖、阀板、螺母压套和阀芯且关于阀芯左右对称,所述阀体顶部与阀盖通过螺钉固定连接并构成腔室,所述阀盖与螺母压套固定连接,所述阀体底部与阀板之间设有O形密封圈,所述阀板顶部与螺母压套底之间固定有圆柱螺旋弹簧,所述阀芯一端固定在阀体顶部,另一端置于螺母压套之间,所述阀体下方有八个放气孔,当真空室内的压强大于圆柱螺旋弹簧最大的安全工作压力时,压力将圆柱螺旋弹簧压缩阀板升起,即打开阀板,压力减小;反之,圆柱螺旋弹簧依靠本身的弹性复位,关闭阀板,通过这样的方式,实现自动控制压力的目的,并具有通用性好,使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。
【IPC分类】F16K17-06
【公开号】CN204284567
【申请号】CN201420755184
【发明人】刘晓华, 陈鹏
【申请人】大连维钛克科技股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月5日
再多了解一些
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