单轴电动执行器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种应用在与半导体/液晶、汽车制造相关联设备等的工业机械设备上的单轴电动执行器。
【背景技术】
[0002]以往，通过电机来进行动作控制。其具有对滑块原点和越程(overrun)的检测精度不够准确的课题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型通过如下的构造来解决所述课题。
[0004](I)提供一种单轴电动执行器，具有:与长度方向垂直的截面为U字状的导轨；配置于所述导轨的呈U字状凹部内的滑块；配置于由所述导轨滚道和所述滑块滚道之间所形成的滚道腔室里的多个滚珠；与所述导轨平行地形成在所述滑块内的螺母；贯穿所述螺母的丝杠轴；和配置于由所述螺母的螺旋槽与所述丝杠轴的螺旋槽所形成的滚道腔室里的多个滚珠，其特征在于，所述导轨通过与所述滑块的各侧面相对应的各内侧面而与所述滑块抵接，所述滑块具有将所述滚珠从所述滚道的终点返回至起点的返回通道、和所述滚道与所述返回通道相连接的方向转换道，并在所述滑块的上部配置有使所述滚珠从所述滚道的终点返回至起点的循环部件，通过对所述丝杠轴的旋转，而使所述丝杠轴的旋转力借助着所述滚珠向所述螺母传递，而所述滚动体一边在所述滚道内以承载状态滚动，一边在所述循环通道内循环，由此，就能够使所述滑块沿着所述导轨进行移动，
[0005]在所述滑块的侧面上，具有与其呈平行的传感器安装轨，并在所述传感器安装轨的外侧，设有分别至少各为一个的传感器和传感器检测部件。
[0006]按照所述构造，因在单轴电动执行器上设有传感器、传感器安装轨、传感器检测部件，所以就能够高精度地检测出滑块的位置，检测原点、防止越程，以避免碰撞。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的实施方式的单轴电动执行器的概略图。
[0008]附图标记说明
[0009]1.导轨
[0010]3.滑块
[0011]5.滚珠丝杠
[0012]7.传感器安装轨
[0013]9.传感器
[0014]11.传感器检测部件
【具体实施方式】
[0015]图1是本实施方式的单轴电动执行器的侧视图。如图1所示，带传感器的单轴电动执行器以滚珠丝杠机构和直线导轨机构的组合为其基本构造，具有与长度方向垂直的截面上，呈U字状的导轨1，并在导轨I的U字状的凹部内设有滑块3。在滑块3的内部配置有滚珠丝杠5。并在滑块3的侧面上，通过传感器安装轨7配置有传感器9以及传感器检测部件11。
[0016]如此这般，因在单轴电动执行器上设有传感器、传感器安装轨、传感器检测部件，所以就能够高精度地检测出滑块的位置，达到检测原点、防止越程，避免碰撞之目的。
【主权项】
1.一种单轴电动执行器，具有: 与长度方向垂直的截面为U字状的导轨； 配置于所述导轨的U字状的凹部内的滑块； 配置于由所述导轨滚道和所述滑块滚道之间所形成的滚道腔室里的多个滚珠； 与所述导轨平行地形成在所述滑块内的螺母； 贯穿所述螺母的丝杠轴；和 配置于由所述螺母的螺旋槽与所述丝杠轴的螺旋槽形成的滚道腔室里的多个滚珠， 所述导轨通过与所述滑块的各侧面相对应的各内侧面而与所述滑块抵接， 所述滑块具有将所述滚珠从所述滚道的终点返回至起点的返回通道、和所述滚道与所述返回通道相连接的方向转换道， 并在所述滑块的上部配置有使所述滚珠从所述滚道的终点返回至起点的循环部件，通过对所述丝杠轴的旋转，而使所述丝杠轴的旋转力借助着所述滚珠向所述螺母传递，而所述滚珠一边在所述滚道内以承载状态滚动，一边在所述循环通道内循环，由此，就能够使所述滑块沿着所述导轨进行移动，其特征在于， 在所述滑块的侧面上，具有与其呈平行的传感器安装轨，并在所述传感器安装轨的外侦牝设有分别至少各为一个的传感器和传感器检测部件。
【专利摘要】本实用新型提供一种单轴电动执行器，通过在U字型截面形状的导轨的内侧，配设有使滑块与滚珠丝杠为一体构造的内置模块，而使结构更为小型化，且高刚性化。单轴电动执行器以滚珠丝杠机构和直线导轨机构的组合为其基本结构，还具有与长度方向垂直的截面上，呈U字状的导轨(1)，并在导轨(1)的U字状的凹部内配设有滑块(3)。在滑块(3)的内部配设有滚珠丝杠(5)。在滑块(3)的侧面通过传感器安装轨(7)，配设有传感器(9)以及传感器检测部件(11)。在本单轴电动执行器上，因具有传感器、传感器安装轨、传感器检测部件，便能够及时地检测出滑块的位置，达到检测原点、防止越程，避免碰撞的目的。
【IPC分类】F16H25/22
【公开号】CN204828525
【申请号】CN201520160801
【发明人】松原大辅
【申请人】日本精工株式会社
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年3月20日