一种工艺设备及其工艺设备管道穿板装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种工艺设备管道穿板装置。此夕卜，本实用新型还涉及一种包括上述工艺设备管道穿板装置的工艺设备。
【背景技术】
[0002]在半导体微电子行业，在工艺生产过程中会使用到大量特气等工艺介质，这就会有大量小直径管道穿过工艺设备的柜体。
[0003]正常运行时，由于工艺设备的工作腔内会通入有毒有害气体反应，为了保证环境和人员的安全，工艺设备柜体内需要保持负压状态。为了让管道穿板后柜体内、外环境隔离开，就需要有一种很好的管道穿板用密封件来实现。
[0004]目前，对于工艺设备柜体管道穿板的设计，主要采用直接在柜体上开通孔让管道穿孔而过，然后，在孔隙处放置橡胶密封圈，用橡胶密封圈填补柜体和管道之间的缝隙进行密封。然而，这种方法管道固定不稳定，容易产生晃动；由于上述的晃动现象导致管道与柜体连接处密封性差，易造成泄露；而且，管道与柜体穿板间尺寸不配合，由于管道的尺寸具有多样性，为保证管道与柜体的配合，需要对柜体进行再加工；另外，橡胶材质的防火性能差，且密封部分不美观。
[0005]因此，如何保证柜体与管道的连接稳定性，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0006]有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种工艺设备管道穿板装置，该工艺设备管道穿板装置可以保证工艺管道与设备柜体的可靠固定，并有助于批量安装。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述工艺设备管道穿板装置的工艺设备，该工艺设备连接性好，且安装方便。
[0007]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0008]一种工艺设备管道穿板装置，包括:
[0009]穿板套管，所述穿板套管包括大外径部和小外径部，所述大外径部用于卡接在设备柜体的安装孔上，所述小外径部的外侧周向面上设置有第一螺纹，工艺管道套设于所述穿板套管上设置的轴向通孔中，且所述工艺管道与所述轴向通孔在径向上间隙贴合；
[0010]用于与所述小外径部锁紧定位的锁紧环，所述锁紧环的内壁上设置有与所述第一螺纹配合的第二螺纹，以实现所述锁紧环与伸入于所述安装孔的小外径部紧密配合以夹紧所述设备柜体。
[0011]优选地，所述轴向通孔的端口处设置有密封装置，用于对所述工艺管道与所述穿板套管之间的缝隙进行密封。
[0012]优选地，所述大外径部与所述小外径部的连接面上设置有密封装置，用于对所述穿板套管与所述设备柜体之间的缝隙进行密封。
[0013]优选地，所述密封装置为硅胶密封件。
[0014]优选地，所述大外径部的端部设置有六角盲孔，或者所述大外径部的外壁设置有夹持面。
[0015]优选地，所述穿板套管为不锈钢套管，所述锁紧环为不锈钢锁紧环。
[0016]优选地，所述穿板套管为SS304套管，所述锁紧环为SS304锁紧环。
[0017]优选地，所述大外径部的轴向长度为5mm，所述小外径部的轴向长度为9mm，所述锁紧环的轴向长度为5mm。
[0018]—种工艺设备，包括工艺设备管道穿板装置，所述工艺设备管道穿板装置为如上述任意一项所述的工艺设备管道穿板装置。
[0019]本实用新型提供的一种工艺设备管道穿板装置，用于工艺管道与设备柜体的固定，主要包括穿板套管和锁紧环，穿板套管包括大外径部和小外径部，小外径部的外侧周向面上设置有第一螺纹，穿板套管上设置有用于与工艺管道套接的轴向通孔；锁紧环的内壁上设置有与第一螺纹配合的第二螺纹，以实现锁紧环与大外径部在轴向上对设备柜体的夹紧。本实用新型所提供的管道穿板装置中，穿板套管上设置有用于与工艺管道进行套接的轴向通孔，穿板套管通过大外径部与设备柜体卡接，并通过锁紧环在设备柜体的另一侧与小径部锁紧，实现了装置与设备柜体的固定和装置与工艺管道的连接。上述装置安装简单、固定可靠，且易于标准化，可以降低工艺管道的安装成本。本实用新型还提供了一种包括上述工艺设备管道穿板装置的工艺设备，该工艺设备连接性好，且安装方便。
【附图说明】
[0020]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0021]图1为本实用新型所提供一种工艺设备管道穿板装置具体实施例的结构图；
[0022]图2为本实用新型所提供具体实施例中穿板套管的上视图；
[0023]图3为本实用新型所提供具体实施例中穿板套管的正视图；
[0024]图4为本实用新型所提供具体实施例中锁紧环的上视图。
[0025]其中，I为穿板套管，2为锁紧环，3为工艺管道，4为设备柜体。
【具体实施方式】
[0026]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0027]本实用新型的核心是提供一种工艺设备管道穿板装置，该工艺设备管道穿板装置可以保证工艺管道与设备柜体的可靠固定，并有助于批量安装。本实用新型的另一核心是提供一种包括上述管道穿板装置的工艺设备，该工艺设备连接性好，且安装方便。
[0028]请参考图1至图4，图1为本实用新型所提供一种管道穿板装置具体实施例的结构图；图2为本实用新型所提供具体实施例中穿板套管的上视图；图3为本实用新型所提供具体实施例中穿板套管的正视图；图4为本实用新型所提供具体实施例中锁紧环的上视图。
[0029]本申请提供的一种管道穿板装置，主要用于工艺管道3与设备柜体4的固定，在结构上主要包括穿板套管1、锁紧环2和工艺管道3。
[0030]穿板套管I为普通的管件，该管件的具有阶梯状的外径，包括大外径部和小外径部，大外径部用于卡接在设备柜体4的安装孔上，小外径部的外侧周向面上设置有第一螺纹，穿板套管I上设置有与工艺管道3套接的轴向通孔，工艺管道3套设于穿板套管I上设置的轴向通孔中，且工艺管道3与轴向通孔径向上间隙贴合；
[0031]锁紧环2主要用于与小外径部锁紧定位，在锁紧环2的内壁上设置有与第一螺纹配合的第二螺纹，用于实现锁紧环2与