一种内置薄膜式静压导轨的制作方法

文档序号:10012222
一种内置薄膜式静压导轨的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及精密与超精密加工技术领域,特别是涉及一种内置薄膜式静压导轨。
【背景技术】
[0002]液体静压导轨具有刚度大、承载能力强、精度高、摩擦系数小、工作稳定等优点,因此液体静压导轨在航空航天技术、民用制造技术、精密和超精密加工技术领域应用广泛。
[0003]为了使静压导轨有一定的刚度以适应载荷的变化,必须通过补偿元件来调整静压导轨承载油腔内的压力,使之随负载变化。现有的补偿元件一般为节流器,静压导轨中的液压油通过节流器的节流作用后流入导轨油腔中,当作用于导轨上的负载变化时,通过调节节流器的液阻或流量,从而对油腔中的压力进行调节,使得导轨之间的油膜厚度保证不变。但此类节流器的出口和油腔的入口之间由一段敏感油路连通,由于敏感油路中的液压油的可压缩性和惯性作用,节流器对于油腔中的压力调节存在一定的滞后,影响了静压导轨油膜厚度对负载变化响应的准确性和快速性。
【实用新型内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]本实用新型的目的是提供内置薄膜式静压导轨,解决敏感油路影响静压导轨油膜厚度对负载响应的准确性和快速性的问题。
[0006]( 二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种内置薄膜式静压导轨,包括进油装置、运动导轨、弹性阻流结构和固定导轨,所述运动导轨由底部向上开设有油腔,所述进油装置与所述油腔顶部连通,所述弹性阻流结构一端与油腔固定连接,另一端为自由端,所述固定导轨位于所述运动导轨下方,油依次穿过所述自由端与油腔之间的间隙、所述自由端与固定导轨之间的间隙,并在固定导轨和运动导轨之间形成油膜层。
[0008]其中,所述弹性阻流结构包括两块弹性膜,两块弹性膜横设在所述油腔内,且两块弹性膜位于同一平面,两块弹性膜相互远离的两端分别与油腔固定连接,相互靠近的两端为自由端,油依次穿过两个自由端之间的间隙、每个自由端与固定导轨之间的间隙,并在固定导轨和运动导轨之间形成油膜层。
[0009]其中,所述内置薄膜式静压导轨还包括压框,两块弹性膜贴合在所述油腔底端面上,所述压框压合在两块弹性膜的下表面,所述压框用于固定两块弹性膜。
[0010]其中,所述弹性膜为弹簧钢片。
[0011]其中,所述内置薄膜式静压导轨还包括固定件,所述固定件依次穿过压框、弹性膜,且与油腔的底端面固定连接。
[0012]其中,所述固定件为紧固螺栓。
[0013]其中,所述压框上设置有沉头孔,所述沉头孔用于容纳所述紧固螺栓。
[0014]其中,所述油腔顶部开设有进油通道,所述进油装置与所述进油通道连通,且所述进油通道与所述油腔连通。
[0015]其中,所述进油装置包括油栗、固定节流器和溢流阀,所述油栗、固定节流阀与进油通道顺次连通,所述溢流阀设置在油栗的支路上。
[0016](三)有益效果
[0017]本实用新型的目的是提供的内置薄膜式静压导轨,当运动导轨上有负载作用时,使得油膜层处的压力变大,降低油膜层厚度的同时,促使弹性阻流结构的自由端与固定导轨之间的间隙变大,从而减小弹性阻流结构对油的节流液阻,进而促使油从进油装置加快流至油膜层处,快速准确地恢复原有的油膜层厚度;弹性阻流结构直接安装在内置薄膜式静压导轨内部,可根据负载的变化快速而准确地做出反应而恢复原有的油膜层厚度。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型实施例的内置薄膜式静压导轨结构示意。
[0019]图中,1:进油装置;
[0020]11:油栗;12:固定节流器;13:溢流阀;
[0021]14:进油通道;
[0022]2:运动导轨;
[0023]3:油腔;
[0024]4:弹性阻流结构;
[0025]5:压框;
[0026]6:固定件;
[0027]7:固定导轨。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图和实施例,对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
[0029]如图1所示,本实用新型实施例提供一种内置薄膜式静压导轨,包括进油装置1、运动导轨2、弹性阻流结构4和固定导轨7,所述运动导轨2由底部向上开设有油腔3,所述进油装置I与所述油腔3顶部连通,所述弹性阻流结构4 一端与油腔3固定连接,另一端为自由端,所述固定导轨7位于所述运动导轨2下方,油依次穿过所述自由端与油腔3之间的间隙、所述自由端与固定导轨7之间的间隙,并在固定导轨7和运动导轨2之间形成油膜层。
[0030]本实用新型实施例中,在进油装置I未向运动导轨2油腔3内供油时,弹性阻流结构4处于平直的状态;进油装置I向油腔3供油时,进油装置I向液压油提供的压力是保持不变的,在液压油的压力作用下,弹性阻流结构4的自由端向下弯曲变形,并逐渐靠近固定导轨7,液压油依次穿过自由端与油腔3之间的间隙、自由端与固定导轨7之间的间隙,从而进入到固定导轨7和运动导轨2之间形成油膜层,由于油膜层的润滑作用,便于固定导轨7和运动导轨2之间相对滑动;其中,液压油在经过自由端与固定导轨7之间的间隙时,会受到来自弹性阻流结构4自由端一定的阻力,而单位时间液压油从本实用新型流出的量也是固定的,另外,进油装置I向液压油提供的压力是保持不变的,因此,液压油会以固定的速度流入固定导轨7和运动导轨2之间,形成具有一定厚度的油膜层;
[0031]当运动导轨2上有负载作用时,运动导轨2具有向固定导轨7运动的趋势,势必对目前的油膜层形成挤压,使得油膜层处的压力变大,会进一步加大对液压油的阻力,因此,油膜层厚度会在一定程度上降低;而同时,油膜层处变大的压力也会施加在弹性阻流结构4自由端上,从而使得弹性阻流结构4自由端变形量减小,即向上运动,如此,即促使弹性阻流结构4的自由端与固定导轨7之间的间隙变大,从而减小弹性阻流结构4对液压油的节流液阻,此时,液压油受到的合力反而增大,即会促使液压油从进油装置I加快流至油膜层处,以上的过程几乎在同时完成,这个变化过程均发生在油腔3内部,因此这种内置薄膜式静压导轨对负载的变化较为敏感,能够
再多了解一些
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