一种高效率组装的流体控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型为涉及一种流体控制装置，尤其涉及一种用于半导体工艺且具有高组装效率的流体控制装置。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺中需要将流体输送至特定的机器中，该流体必须在特定的情况下被输送至反应器中，其中，该流体可藉由流体控制装置来完成输送任务。
[0003]如中国台湾专利公告第591184号中，提出一种流体控制装置，其基部元件上并列地配置有多个线，每一个线是由配置在上段的流体控制机器及配置在下段的多个块状接头所形成，特征为至少在一条线的两侧上的线长度方向，长且连续地配置有左右带状加热器，该些左右带状加热器被多个夹件固定在对应的接头元件上，各夹件是由以预定间隔而成对向的一对侧壁，以及连接各侧壁的上下的中间部的连接壁所形成，在两侧壁的上部施加使其接近的方向的力时，使各侧壁的下部隔离，并且在力量被去除的时候，使两侧壁可复归到原来位置。
[0004]然而，上述传统的流体控制装置，其组装结构复杂，导致使用者组装上的不便，而需耗费大量的时间来拆解与组装，影响半导体制造的产能。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的主要目的，在于解决现有流体控制装置的组装结构过于复杂，而造成维护上耗时及不便的问题。
[0006]为达上述目的，本实用新型提供一种高效率组装的流体控制装置，该装置包含有:
[0007]一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；
[0008]—第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关；
[0009]—流量控制组件，该流量控制组件与该第一开关组件相邻设置并包括一第三基座、一设置于该第三基座上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第三基座的第二耦接件；以及
[0010]一第二开关组件，该第二开关组件与该流量控制组件相邻设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关。
[0011]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件。
[0012]上述的高效率组装的流体控制装置，其中更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座及一设置于该第六基座上并和该第三基座一体成型的第三开关。
[0013]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。
[0014]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元、该第二压力监控单元和该流量控制器分别具有一上流体通道，该第一基座、该第三基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。
[0015]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座、该第二基座、该第三基座、该第四基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地彼此耦接。
[0016]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第三基座包括一入口承载部及一出口承载部，该入口承载部及该出口承载部相隔设置且用于支撑该流量控制器。
[0017]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。
[0018]为达上述目的，本实用新型还提供一种高效率组装的流体控制装置，该装置包含有:
[0019]一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；
[0020]—第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关，该第二基座包括一第一本体以及一自该第一本体横向突出的第一延伸部；
[0021]—第二开关组件，该第二开关组件与该第一开关组件相隔设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关，该第四基座包括一第二本体以及一自该第二本体横向突出并和该第一延伸部相隔的第二延伸部；以及
[0022]—流量控制组件，该流量控制组件设置于该第一开关和该第二开关之间，包括一设置于该第一延伸部和该第二延伸部上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第一延伸部和该第二延伸部上的第二耦接件。
[0023]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件，该第五基座包括一第三本体以及一自该第三本体横向突出的第三延伸部，该第一压力监控单元通过该第一耦接件能够拆卸地耦接于该第三延伸部。
[0024]上述的高效率组装的流体控制装置，其中更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座、一设置于该第六基座上并和该第六基座一体成型的第三开关，该第六基座包括一第四本体以及一自该第四本体横向突出的第四延伸部，该第二压力监控单元通过该第三耦接件能够拆卸地耦接于该第四延伸部。
[0025]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。
[0026]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元及该第二压力监控单元分别具有一上流体通道，该第一基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。
[0027]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座、该第二基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地耦接彼此。
[0028]上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。
[0029]由以上可知，本实用新型相较于现有技术可达到的功效在于，利用本实用新型得到的该流体控制装置，其中该压力监控组件、该开关组件及该流量控制组件所相对应的该基座为单一层设置，当较容易损坏的该压力监控单元及该流量控制器需要更换时，只需将由上方设置的该耦接件取出即可单独更换，而较不容易损坏的该开关只需在维护或更换该压力监控单元及该流量控制器时一并维护或更换即可，综合前述的组装结构，在维护时可减少维护时间及简单化组装方式。
[0030]以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
【附图说明】
[0031]图1，为本实用新型第一实施例的剖视示意图。
[0032]图2，为本实用新型第一实施例的俯视示意图；
[0033]图3，为本实用新型第二实施例的剖视示意图。
【具体实施方式】
[0034]涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合【附图说明】如下:
[0035]请搭配参阅图1及图2所示，分别为本实用新型第一实施例的剖视示意图以及俯视示意图，本实用新型为一种高效率组装的流体控制装置1，包含一压力监控组件10、一第一开关组件20、一流量控制组件30及一第二开关组件40，该压力监控组件10包括一第一基座
11、一第一压力监控单元12及一第一耦接