一种非接触吸盘装置的制造方法

文档序号:10930812阅读:267来源:国知局
一种非接触吸盘装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种非接触吸盘装置,包括非接触吸盘本体,所述非接触吸盘本体下端设有缓冲垫固定盘,缓冲垫固定盘下端设有缓冲垫。所述缓冲垫固定盘上设有U型槽,用于排出多余放射状气流。所述缓冲垫固定盘与缓冲垫通过3M胶带连接。所述非接触吸盘本体上固定连接一固定圆盘。所述固定圆盘上套接一传感器,用于检测是否吸附到硅片。所述固定圆盘上设有固定座,用于将非接触吸盘装置本体与外部装置相固定。所述非接触吸盘本体顶部设有气管接头,用于引入压缩空气。
【专利说明】
一种非接触吸盘装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种吸盘装置,特别是一种用于吸取硅片的非接触吸盘装置。
【背景技术】
[0002]非接触吸盘在太阳能硅片中运用较广泛,硅片通常已100片的形式堆叠,通过吹气将硅片分离后单片取出。
[0003]现有非接触吸盘吸取面积较小,无吸取减震功能,气流排除易发出较大噪音,吸取硅片气压小则吸取不牢固,吸取气压大则容易碎片,调节难度大。
【实用新型内容】
[0004]实用新型目的:本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种非接触吸盘装置。
[0005]为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种非接触吸盘装置,包括非接触吸盘本体,所述非接触吸盘本体下端设有缓冲垫固定盘,缓冲垫固定盘下端设有缓冲垫。
[0006]本实用新型中,所述缓冲垫固定盘上设有U型槽,用于排出多余放射状气流。
[0007]本实用新型中,所述缓冲垫固定盘与缓冲垫通过3M胶带连接。
[0008]本实用新型中,所述非接触吸盘本体上固定连接一固定圆盘。
[0009]本实用新型中,所述缓冲垫固定盘上连接一传感器,传感器上端穿过固定圆盘,用于检测所述缓冲垫是否吸附到硅片。
[0010]本实用新型中,所述固定圆盘上设有固定座,用于将非接触吸盘装置本体与外部装置相固定。
[0011]本实用新型中,所述非接触吸盘本体顶部设有气管接头,用于引入压缩空气。
[0012]有益效果:本实用新型所提供的非接触吸盘装置是将非接触吸盘包裹后加大接触面积,并在吸取处粘贴特殊材质的缓冲垫(不会造成硅片划伤及污染),使得吸取硅片牢固,并且不易造成娃片划伤、污染、碎片等冋题,从而提尚生广效率。
[0013]改进后碎片率降低到0.2%,设备效率提升了 10 %以上,机台稼动率提升到98 %以上。
[0014]缓冲垫固定盘中间设有的U型槽将多余放射状气流排出,因U型槽开孔尺寸在5mm?15mm,孔口尺寸大,气流产生排出时振动小,噪音小。
【附图说明】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型做更进一步的具体说明,本实用新型的上述或其他方面的优点将会变得更加清楚。
[0016]图1是实施例的结构示意图;
[0017]图2是该装置的剖视图;
[0018]图3是该装置的左视图;
[0019]图4是该装置的底视图。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合附图对本实用新型作详细说明。
[0021 ] 实施例:
[0022]如图1-图4,本实施例包括硅片1、缓冲垫2、缓冲垫固定盘3、非接触吸盘本体4、气管接头5、固定圆盘6、传感器7、辅助固定零件8和固定座9,非接触吸盘本体4下端连接一个缓冲垫固定盘3,缓冲垫固定盘3下表面设有一个缓冲垫2,缓冲垫固定盘3—侧设有一 U型槽,用于排出多余放射状气流,非接触吸盘本体4上端为一气管接头5,用于引入压缩空气,非接触吸盘本体4上还设有一固定圆盘6,所述缓冲垫固定盘上连接一传感器7,传感器7上端穿过固定圆盘6,用于检测所述缓冲垫2是否吸附到硅片I,非接触吸盘本体4还设有辅助固定零件8和固定座9,用于与外部机器或者装置进行连接与固定。
[0023]气管接头5引入压缩空气,通过非接触吸盘后,在非接触吸盘本体底部产生负压吸力,并可将硅片I吸附住,硅片依托在缓冲垫固定盘3上的缓冲垫,缓冲垫表面柔软且表面摩擦大,吸附牢固、噪音小、冲击不易碎片。
[0024]气管接头5与非接触吸盘本体4固定,非接触吸盘本体4与缓冲垫固定盘3通过螺丝固定牢固,缓冲垫2背面有3M胶带,裁切成缓冲垫固定盘外形即可粘贴牢固,传感器7检测有无吸附到料片,其他零件均为非接触吸盘辅助固定。
[0025]大气压力接入设备压力在0.4?0.6Mpa,气管接头5引入压缩空气调整压力到0.1?0.3Mpa,压缩空气进入非接触吸盘本体4后,喷射出放射状气流,由于离心力在非接触吸盘本体4底部产生负压吸力,并可将硅片I吸附住,硅片I吸附并撞击在缓冲垫固定盘3上的缓冲垫2,缓冲垫2表面材质柔软并且表面粗糙产生大摩擦力,使硅片I不会滑动,从而吸附牢固、冲击不易碎片。缓冲垫固定盘3中间U型槽将多余放射状气流排出,因U型槽尺寸在5_?15mm,槽口尺寸大,气流产生排出时振动小,噪音小。气管接头5与非接触吸盘本体4通过管螺纹安装固定,非接触吸盘本体4与缓冲垫固定盘3通过螺丝固定牢固,缓冲垫2背面有3M胶带,裁切成缓冲垫固定盘外形3即可粘贴牢固,传感器7检测有无吸附到硅片I,固定圆盘
6、辅助固定零件8和固定座9为非接触吸盘本体4的辅助固定零件。
[0026]经多次调试和改进还没有别的替代方案能够解决【背景技术】所指出的问题。
[0027]本实用新型提供了一种非接触吸盘装置,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
【主权项】
1.一种非接触吸盘装置,其特征在于,包括非接触吸盘本体(4),所述非接触吸盘本体(4)下端设有缓冲垫固定盘(3),缓冲垫固定盘(3)下端设有缓冲垫(2)。2.根据权利要求1所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述缓冲垫固定盘(3)上设有U型槽。3.根据权利要求1所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述缓冲垫固定盘(3)与缓冲垫(2)通过3M胶带连接。4.根据权利要求1所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述非接触吸盘本体(4)上方固定连接一固定圆盘(6)。5.根据权利要求4所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述缓冲垫固定盘上连接一传感器(7),传感器(7)上端穿过固定圆盘(6),用于检测所述缓冲垫(2)是否吸附到硅片。6.根据权利要求4所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述固定圆盘(6)上设有固定座(9)。7.根据权利要求4所述的一种非接触吸盘装置,其特征在于,所述非接触吸盘本体(4)顶部设有气管接头(5)。
【文档编号】F16B47/00GK205618523SQ201620384957
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年4月29日
【发明人】张弛, 王志刚, 孙小俊, 王四海
【申请人】南京卓胜自动化设备有限公司
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